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2-6 2 2. 피 더 플 레이 트 의 청소 피 더 플레 이 트 상에 칩 과 이 물질이 떨어 져 있 으 면 , 피 더 세 팅을 할 때 이 물질 이 끼여 서 흡착위 치 의 이 탈을 발생 시 키 는 원 인 이 됩니 다 . 이것 을 막기 위 해 정 기 적 으로 점검 • 청 소 할 것 을 권장 합니 다 . ■ 부 속 브 러시로 청 소 부속 브러 시를 사 용해서 다 음과 같 이 청 소해 주십시 오 .…
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1.2 육안으로 확인하기
육안으로 확인하는 방법으로서 하기의 2 종류가 있습니다.
■ 노즐을 빼내어 확대경으로 확대해서 본다
노즐 선단부
노즐 구멍에 솔더가
부착되어 있다
노즐 선단(평면)에
솔더가 부착되어 있다
노즐 구멍
노즐상태의 확인 포인트
◆ 정상인 상태
NG 개구부가 막혀 있는 상태 NG 선단이 빛나고 있는 상태
57200-L4-00
c
주의
상기의 확인을 한 상태에서 NG 라고 판단된 경우는 , 노즐의 개구부 및 선단부를 청소해 주십시오 .
청소방법에 관해서는 제 3 장「1.2 노즐의 청소」및「2.1 노즐 에어경로의 청소」를 참조해 주십시오 .
■ 헤드로부터 각 노즐을 빼서 확인하는 방법
1. 노즐을 빼기 쉬운 위치에 헤드를 이동시켜서 , 손으로 노즐을 빼 주십시오 .
2. 확인 및 노즐청소가 완료되면 , 노즐의 방향에 주의해서 원위치에 세팅합니다 .
n
요점
좀더 간편한 방법은 , 헤드에 장착되어 있는 노즐을 거울 등으로 확인할 수 있습니다 .
■ 노즐 스테이션에서 노즐을 빼서 확인하는 방법
1. 모든 노즐을 노즐 스테이션에 수납합니다 .
2. 「장치」화면의 [ 노즐 STN 셔터 ] 버튼을 눌러서 , 노즐을 탈착 가능한 상태로 합니다 .
3. 확인 및 노즐청소가 완료되면 , 노즐을 원위치에 되돌린 후에 [ 노즐 STN 셔터 ] 버튼을 누릅니다 .
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2
2. 피더 플레이트의 청소
피더 플레이트상에 칩과 이물질이 떨어져 있으면 , 피더세팅을 할 때 이물질이 끼여서 흡착위치의 이탈을 발생시
키는 원인이 됩니다 . 이것을 막기 위해 정기적으로 점검
•
청소할 것을 권장합니다 .
■ 부속 브러시로 청소
부속 브러시를 사용해서 다음과 같이 청소해 주십시오 .
청소용 브러시
피더 플레이트의 청소
쓰레받기
브러시를 사용
57202-L4-00
■ 청소기 또는 버큠 ASSY( 옵션 ) 로 청소
가정용 청소기 또는 옵션인 버큠 ASSY(KHY-M88V0-A0X) 를 장비 정면의 에어 커넥터에 접속해서 , 미세한 이물질 등
을 빨아 들이듯이 청소해 주십시오 .
피더 플레이트의 청소
버큠 ASSY
버큠 ASSY를 사용
57203-L4-00
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
목차
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검 3-1
1.1.1 노즐 탄성력의 확인 3-1
1.1.2 노즐 판스프링의 상태확인 3-2
1.2 노즐의 청소 3-3
1.2.1 노즐 스프링의 청소와 급유 3-3
1.2.2 노즐 선단부의 청소 3-4
1.3 그리퍼 노즐 ( 옵션 ) 의 청소와 급유 3-6
1.3.1 그리퍼 노즐의 점검 3-6
1.3.2 그리퍼 노즐의 청소와 급유 3-6
1.4 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 3-8
1.5 기판 클램프의 상태와 동작확인 3-9
1.5.1 기판 클램프의 상태 확인 3-9
1.5.2 기판 클램프의 동작 확인 3-9
1.6 Y 축 리니어 스케일부의 청소 3-10
1.7 멀티 카메라 보호글래스의 청소 3-11
2. 매월 3-12
2.1 노즐 에어경로의 청소 3-12
2.2 각 축의 점검 3-13
3. 2 개월 3-14
3.1 X 축 , Y 축의 청소와 급유 3-14
3.1.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 3-14
3.1.2 X 축 가이드의 청소와 급유 3-18
3.1.3 Y 축 가이드의 청소와 급유 3-19
3.2 PU 축의 청소와 급유 3-20
3.3 컨베이어 벨트의 점검과 청소 3-22
4. 3 개월 3-28
4.1 이젝터 필터의 청소와 교환 3-28
4.2 이젝터 진공압력의 점검 3-29
4.3
각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로우 밸브의 동작확인 3-30