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4.4 스 플라인 샤프 트 3- 32 4. 4 . 1 스플 라인 샤프트 내 부 의 세 정 3- 32 4. 4 .2 부 압 상태 의 확인 3- 35 4. 4 .3 스플 라인 샤프트의 Z 축 동작확인 3 - 36 4. 4 . 4 스플 라인 샤프트 주변 의 확인과 청 소 3- 36 4. 4 .5 스플 라인 샤프트의 급유 ( 필 요시에 만 ) 3- 37 4.5 에어 / 미스 트 필터의 점검과 교환 …
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
목차
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검 3-1
1.1.1 노즐 탄성력의 확인 3-1
1.1.2 노즐 판스프링의 상태확인 3-2
1.2 노즐의 청소 3-3
1.2.1 노즐 스프링의 청소와 급유 3-3
1.2.2 노즐 선단부의 청소 3-4
1.3 그리퍼 노즐 ( 옵션 ) 의 청소와 급유 3-6
1.3.1 그리퍼 노즐의 점검 3-6
1.3.2 그리퍼 노즐의 청소와 급유 3-6
1.4 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 3-8
1.5 기판 클램프의 상태와 동작확인 3-9
1.5.1 기판 클램프의 상태 확인 3-9
1.5.2 기판 클램프의 동작 확인 3-9
1.6 Y 축 리니어 스케일부의 청소 3-10
1.7 멀티 카메라 보호글래스의 청소 3-11
2. 매월 3-12
2.1 노즐 에어경로의 청소 3-12
2.2 각 축의 점검 3-13
3. 2 개월 3-14
3.1 X 축 , Y 축의 청소와 급유 3-14
3.1.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 3-14
3.1.2 X 축 가이드의 청소와 급유 3-18
3.1.3 Y 축 가이드의 청소와 급유 3-19
3.2 PU 축의 청소와 급유 3-20
3.3 컨베이어 벨트의 점검과 청소 3-22
4. 3 개월 3-28
4.1 이젝터 필터의 청소와 교환 3-28
4.2 이젝터 진공압력의 점검 3-29
4.3
각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로우 밸브의 동작확인 3-30
4.4 스플라인 샤프트 3-32
4.4.1 스플라인 샤프트 내부의 세정 3-32
4.4.2 부압 상태의 확인 3-35
4.4.3 스플라인 샤프트의 Z 축 동작확인 3-36
4.4.4 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-36
4.4.5 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-37
4.5 에어 / 미스트 필터의 점검과 교환 3-38
4.6 U 축 (W2 축 ) 의 청소와 급유 ( 듀얼 스테이지 ) 3-40
5. 6 개월 3-42
5.1 피듀셜 카메라의 청소 3-42
5.2 W 축의 청소와 급유 3-43
6. 1 년 3-45
6.1 R 축 스플라인 벨트의 상태확인 (1 년 ) 3-45
3-1
3
1. 매주
여기에서는 매주 실행하는 점검과 청소 방법을 중심으로 설명합니다 .
1.1 노즐의 점검
노즐의 탄성력(복원력 ) 불량이나 노즐 판스프링의 불량은 흡착에러의 원인이 됩닏가. 이를 방지하기 위해
각 노즐의 점검과 청소를 실시해 주십시오 .
1.1.1 노즐 탄성력의 확인
다음과 같이 노즐 선단의 탄성력을 확인합니다. 노즐의 선단을 눌러봐서 정상으로 돌아오면 문제가 없습니다만 ,
복귀 동작이 나쁘면 흡착에러와 인식에러 등이 발생합니다.
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주의
노즐의 선단을 눌러서 확인할 때에는 , 너무 세게 누르지 마십시오 . 1mm 정도 눌러서 원상태로 돌아오면 문제없습니다 .
노즐의 탄성력 확인
Type302A 노즐의 예
노즐 선단을 손가락으로 누른다
제자리로 돌아온다 복귀동작이 나쁘다
복귀되지 않는다
OK NG
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