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3-5 3 5 노즐 선단 을 클 리닝 합 니다 . 노 즐선 단 클리 닝 테 이 프의 점착면 에 노즐 의 선 단 을 수직 으로 수차례 부착시 켜서 더 러 움을 제거 합 니다 . 5 73 6 2- L4-00 c c 주의 노 즐을 테 이 프에 부착 시 킨 상 태 에서 , 노즐을 돌리 거 나 기 울 리 면 테 이 프의 점착면 이 노 즐에 부 착될 우려가 있 습니 다 . 6 노즐 스 프링부에 급유합니…

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3-4
3
1.2.2 노즐 단부청소
다소움은, 동봉클리.
( ) 우에 , 즐을 , 사용
.
다음사용부를 하는
니다 .
c
주의
클리닝 테이 , 폐사가 권장하는 클리닝 테이 (TAPE, CLEANER-KGT-M8895-00X) 만 사용하 .
다른 테는 점착 부분이 노즐에 부착되어서 실장불량을 일킬 우려가 있습 .
n
요점
클리닝 테의 사용 방에 관한 상한 내용은, 테에 동봉어 있는 설를 참해 주십 .
e
1
노즐합니다 .
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전
오픈합니다 .
2. 드로 부터 청소노즐을 탈착합니 .
스테이션우는 ,
[ 노즐 STN 셔터 ] 으로 스테이션
셔터열어서 노즐을 탈착해 .
2
노즐청소합니다 .
어블로우 툴 ( ) 노즐스프링부와
로내등을 제거합니 .
57360-L4-00
3
초음파 척기로 노즐세정합니다 .
1. 초음세척내의 용기 ( 비커 등 ) 노즐을
넣습니다 .
2. 기에 노즐이 충분히 잠길때 IPA
넣습니다 .
3. 초음세척기에 물습니 .
4. 초음세척10 분정도 실행합니 .
57361-L4-00
n
요점
Type304A 노나 Type307A 노즐 등을 초파 세
할 때 , O 을 분리고 노즐 자만 세해 주십
오.
4
에어 로우니다 .
1. 초음세척에서 즐을 .
2. 전체우해서 IPA 제거
. 노즐스프링부와 경로점적
주십시 .
에어 블로우
Step 2, 4
에어블로우 툴 (옵션)
노즐 에어경로의 블로우
노즐 스프링부의 블로우
초음파 세척기
Step 3
초음파 세척기
비커
물을 넣는다
IPA를 넣는다
3-5
3
5
노즐 선단리닝니다 .
즐선클리프의 점착면노즐
수직으로 수차례 부착시켜서 움을 제거
니다 .
57362-L4-00
c
c
주의
즐을 테프에 부착킨 상에서 , 노즐을 돌리나 기
면 테프의 점착면이 노즐에 부착될 우려가 있습니 .
6
노즐 프링부에 급유합니다 .
전술의「1.2.1 스프링소와 급유
조해즐의 스프부에 급유해 주십 .
7
노즐드에 되돌립니다 .
탈착한 즐을 드의 원위되돌려 주 .
n
요점
즐 스서 노즐을 탈한 경우에 , 노즐 스
납 위에 되돌려 주십 .
노즐선단 클리닝 테이프
Step 5
노즐선단 클리닝 테이프
점착면
노즐을 수직으로 부착시킨다
3-6
3
1.3 그리퍼 노즐 ( ) 청소와
사용으로 , 요가 .
n
요점
퍼 노즐은 특수 형상 부품의 흡장착에 사 . 부의 형상에 맞서 선 , 특주로 제.
1.3.1 그리퍼 노즐의 점검
부를 으로 눌러 .
동작 , 복원쁘거 , 부품흡착
. 술을 급유주십 .
, 확인. 부에 모가 우에 ,
즐을 주십 .
그리퍼 노즐의 점검
Type30ALD 노즐의 예
그리퍼부가 마모되어 있지 않을 것
더러움이나 먼지 등이 없을 것
원활하게 동작할 것
57363-L4-00
1.3.2 그리퍼 노즐의 청소
e
1
노즐합니다 .
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전
오픈합니다 .
2. 드로 부터 청소노즐을 탈착합니 .
스테이션우는 ,
[ 노즐 STN 셔터 ] 으로 스테이션
셔터열어서 노즐을 탈착해 .
2
노즐의 작부청소합니다 .
그리노즐동작부에 움이먼지쌓여
우는 , ( ) 으로 제거
니다 .
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에어 블로우
Step2
에어 블로우 툴