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3-7 3 3 초음파 세 척기로 노즐 을 세정합니다 . 1 . 초음 파 세척 기 내의 용기 ( 비커 등 ) 에 노즐을 넣습 니다 . 2. 용 기에 노즐이 충분히 잠길때 까 지 IP A 를 넣 습 니다 . 3. 초음 파 세척 기에 물 을 넣 습니 다 . 4. 초음 파 세척 을 1 0 분정도 실행 합니 다 . 5 73 6 5-L4 -00 4 에어 블 로우 를 합 니다 . 1 . 초음 파 세척 기…

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3-6
3
1.3 그리퍼 노즐 ( ) 청소와
사용으로 , 요가 .
n
요점
퍼 노즐은 특수 형상 부품의 흡장착에 사 . 부의 형상에 맞서 선 , 특주로 제.
1.3.1 그리퍼 노즐의 점검
부를 으로 눌러 .
동작 , 복원쁘거 , 부품흡착
. 술을 급유주십 .
, 확인. 부에 모가 우에 ,
즐을 주십 .
그리퍼 노즐의 점검
Type30ALD 노즐의 예
그리퍼부가 마모되어 있지 않을 것
더러움이나 먼지 등이 없을 것
원활하게 동작할 것
57363-L4-00
1.3.2 그리퍼 노즐의 청소
e
1
노즐합니다 .
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전
오픈합니다 .
2. 드로 부터 청소노즐을 탈착합니 .
스테이션우는 ,
[ 노즐 STN 셔터 ] 으로 스테이션
셔터열어서 노즐을 탈착해 .
2
노즐의 작부청소합니다 .
그리노즐동작부에 움이먼지쌓여
우는 , ( ) 으로 제거
니다 .
57364-L4-00
에어 블로우
Step2
에어 블로우 툴
3-7
3
3
초음파 척기로 노즐세정합니다 .
1. 초음세척내의 용기 ( 비커 등 ) 노즐을
넣습니다 .
2. 기에 노즐이 충분히 잠길때 IPA
니다 .
3. 초음세척기에 물습니 .
4. 초음세척10 분정도 실행합니 .
57365-L4-00
4
에어 로우니다 .
1. 초음세척에서 즐을 .
2. 전체우해서 IPA 제거
. 노즐스프링부와 경로점적
주십시 .
57366-L4-00
5
그리퍼 노즐유합니다 .
1. 면봉 드라이버단에 량의
터빈유 묻힙니다 .
2. 즐의 동부에 터빈유를 합니 .
3. 즐을 수차례 동작시켜서 , 동작부에
스며들게 합니다 .
57367-L4-00
n
요점
는 얇은 막의 유분이 생길 정면 충분.
6
거합니다 .
1. 에어 동작부를 에어 우해서 ,
유분을 제거합니 .
2. 봉이지가 나지 와이퍼 등으로
동작부 주유분을 아냅니 .
7
노즐의 태를 확인합니다 .
1. 탈착한 헤드의 치에 노즐을 장착합니 .
스테이션에서 즐을 탈착했우는 ,
즐을 노즐 스테이되돌후에
[ 노즐변 ] 버튼으로 노즐을 장착합니
다.
2. [ 장치 ]-「헤에서 , 하는 헤드의
[ ] 버튼눌러서 , 그리퍼 즐이 원활하
닫히는합니
3. [ 진공 ] 버튼눌러서 , 상태를
합니 . 그리노즐이 원활하게 열리는
확인해 주십시 .
n
요점
즐 스서 노즐을 탈한 경우에는 노즐 스
납 위에 되돌려 주십 .
초음파 세척기
Step3
초음파 세척기
비커
물을 넣는다
IPA를 넣는다
Step4
에어 블로우
에어 블로우
그리퍼 노즐의 급유
Step 5
면봉 또는 정밀 드라이버에
터빈유를 소량 묻히다
터빈유를 스며들게 한다
3-8
3
1.4 컨베이센서의 상태와 작확인
로서 파이사용. , - 수광
므로 , 수광.
수광자동으로 값이
「컨」기.
, 으로 으로서, 작이
.
컨베이어 센서의 상태, 동작확인
투광
수광
57305 -L 4 -10
1
「장치」-「컨베이어」선택합니다 .
2
컨베이어 경합니다 .
[ 컨베 ] 버튼르고 , 변경
폭을 , [OK] 튼을 눌주십시 .
컨베이어지정으로 변경 .
3
에러발생 확인합니다 .
컨베이어폭을 변경을때 , 에러 지가 표시되
않으 , 컨베센서상적으로 동작
으므로 , 다른 조정불필요합니 .
메시표시되었 , Step4
순서따라서 이어 센서 실시
십시오 .
58300-L4-00
4
컨베이어 튜닝을 실시합니다 .
1. [ 장치 ]-「I/O화면을 표시합니 .
2. 출력모니 (Output) 드롭스트에
컨베이어」 선택합니다 .
3. 「컨베센서 」(T01000E-1)
니다 .
n
요점
얼 레의 경,
레인 1: 「T01000E-1
2 :T01000E-3에 대고 있 .
4. [ON/OFF] 버튼0(OFF) 1(ON)
0(OFF) 로 전환해서, 동튜합니 .
58301-L4-00
5
서의 상태인합니다 .
폭을 변경해서 , 에러 표시되지 않음을 주십 .
6
서의 주변을 확인합니다 .
조정여전 , 메시표시될 경우는 , 센서 주변수광상쁘거 , 센서 ( )
, 파이버가능성습니 . 우선 , 센서움이먼지제거후에 ,
컨베주십시 .
컨베이어 센서의 확인
Step 1-3
컨베이어 센서의 튜닝
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