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- 139 - 70. SYSTEM DIAGRAM (SERVO MOTOR) SYSTEM DIAGRAM (SERVO MOTOR) SCALE HEAD YL(RF) 4-2C 4-1C 4-1C 4-4C 4-4C 4-3C 1-4C 2-1B 4-1A 4-1A 4-2B 4-4A 4-4A 4-3A 1-4C 2-1D 1-5A XL R SSCNET 1CH POSI TION BOAR D(1) SSCN ET 2CH…

100%1 / 172
- 138 -
NOTE( 注記 ) #01....FOR EN EN
#02....WHEN REPLACE FROM OLD PWB 40047514 TO NEW PWB 40047558,
PLEASE CHANGE WITH ETHER-SLAVE PCB ASM 40047557.
旧40047514から40047558に交換するときは、
ETHER SLAVE PCB ASM 40047557を
一緒に交換してください。
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-82363 NFB OUTPUT CABLE ASM
NFB 出力ケーブル組
1
2 400-82372 NF FG CABLE ASM
NF FG ケーブル組
1
3 400-82365 POWER ON LAMP RELAY CABLE ASM
パワーオンランプ中継ケーブル組
1
4 L800E-821-0A0 POWER ON LAMP 200V CABLE ASM
パワーオンランプ200 束線組
1
5 400-91902 NF OUTPUT CABLE(TB1)ASM
NF 出力ケーブル(TB 1)組
1
6 400-91857 AC PWR IN UNIT OUTPUT CABLE ASM
AC 入力ユニットアウトケーブル組
1
7 400-91464 AC PWR IN UNIT FG CABLE ASM
AC 入力ユニット FG ケーブル組
1
8 400-93152 AC POWER INPUT UNIT
AC 入力ユニット
1
9 400-48085 TRANSFORMER
トランス
2
10 400-82163 TF FG CABLE ASM
TF FG ケーブル組
1
11 400-89963 MAIN SW CABLE ASM
メイン SW ケーブル組
1
12 400-94021 TFL 220VOUT CABLE ASM
TFL トランス 220 出力ケーブル組
1
13 400-91880 XY DRIVER U(L) INPUT CABLE ASM
XY ドライバユニット 入力ケーブル組
1
14 400-91882 XY DRV PWR CABLE(L)ASM
XY DRV 電源ケーブル(L)組
1
15 400-91901 TF 100V OUTPUT CABLE L ASM
TF 100 出力ケーブル
1
16 400-65391 COVER TOP FAN XL ASM
カバートップファン(XL)組
1
17 400-89881 COVER TOP FAN L RELAY CABLE ASM
カバートップファン 中継ケーブル組
1
18 400-65392 COVER TOP FAN XL RELAY CABLE ASM
カバートップファン XL 中継ケーブル組
1
19 400-47702 CTRL UNIT FAN ASM
コントロールユニットファンモータ組
1
20 400-47758 CONTROL UNIT TOP FAN RELAY CABLE ASM
コントロールユニットトップファン中継ケーブル組
1
21 400-47760 BASE FAN L RELAY CABLE ASM
ベースファン 中継ケーブル組
1
22 400-65393 BASE FAN SL ASM
ベースファン SL
1
23 400-65394 BASE FAN SL RELAY CABLE ASM
ベースファン SL 中継ケーブル組
1
24 400-89900 COVER TOP FAN YL CABLE ASM XL
カバートップファン YL ケーブル組 XL
1
25 400-48238 COVER TOP FAN LF/LR RELAY CABLE ASM
カバートップファン LF LR 中継ケーブル組
1
26 400-65396 COVER TOP FAN YL RELAY CABLE ASM
カバートップファン YL 中継ケーブル組
1
27 400-47964 VACUUM PUMP TERMINAL CABLE ASM
バキュームポンプ ターミナルケーブル組
1
28 400-47992 VACUUM PUMP TH-MC CABLE ASM
バキュームポンプ TH MC ケーブル組
1
29 400-47965 VACUUM PUMP POWER CABLE ASM
バキュームポンプ電源ケーブル組
1
30 400-48244 VACUUM PUMP FG CABLE ASM
バキュームポンプ FG ケーブル組
1
31 400-63490 VACUUM_PUMP
真空ポンプ
1
32 400-82362 VACUUM I/O CABLE ASM
バキューム I O ケーブル組
1
33 400-94032 XY_DRIVER_UNIT
XY ドライバ組
2
34
#01
400-94055 XY_DRIVER_UNIT(EN)
XY ドライバ組(EN)
2
35 400-91920 XY DRV I/O CABLE ASM
XY DRV I ケーブル組
2
36 400-91918 XY-RELAY I/O CABLE ASM
XY RELAY I O ケーブル組
2
37
#02
400-47558 XY-RELAY PCB ASM
XY RELAY 基板組
2
38 400-92738 XY DRIVER U (R) INPUT CABLE ASM
XY ドライバ 入力ケーブル組
1
39
#01
400-48248 XY DRV PWR CABLE (L) ASM (EN)
XY DRV 電源ケーブル(L)組(EN)
1
40 400-47885 XY-RELAY PWR CABLE (L) ASM
XY RELAY 電源ケーブル(L)組
1
41 400-98974 POWER_SUPPLY_ASSY_L(ST)
電源供給組(左)ST
1
42
#01
400-93149 POWER SUPPLY ASSY L(EN)
電源供給組(左)EN
1
43 400-89907 AWC DRV PWR CABLE (L) ASM
AWC ドライバ電源ケーブル(L)組
1
44
#01
400-89946 AWC DRV PWR CABLE (L) ASM (EN)
AWC ドライバ電源ケーブル(L)組(EN)
1
45 400-47853 AWC DRV FG CABLE (L) ASM
AWC ドライバ FG ケーブル(L)組
1
46
#01
400-47854 AWC DRV FG CABLE (L) ASM (EN)
AWC ドライバ FG ケーブル(L)組(EN)
1
47 400-89908 BU DRV PWR CABLE (L) ASM
BU ドライバ電源ケーブル(L)組
1
48
#01
400-89947 BU DRV PWR CABLE (L) ASM (EN)
BU ドライバ電源ケーブル (L) 組(EN)
1
49 400-47855 BU DRV FG CABLE (L) ASM
BU ドライバ FG ケーブル(L)組
1
50
#01
400-48756 TRAY GUIDE L
トレイガイド
1
51 400-91466 ATX PWR RLY CABLE ASM
ATX 電源中継ケーブル組
1
52 400-47893 ATX PWR CABLE ASM
ATX 電源ケーブル組
1
53 400-47892 HOURMETER ASM
アワーメータ組
1
54 400-47701 CPCI POWER CABLE ASM
CPCI パワーケーブル組
1
55 400-47703 ATX CTRL CABLE ASM
ATX コントロールケーブル組
1
56 400-91904 POWER UNIT GND CONECTION CABLE ASM
電源ユニット GND 接続ケーブル組
1
57 400-65397 COVER TOP FAN XR ASM
カバートップファン(XR)組
1
58 400-91883 XY DRV PWR CABLE (R) ASM
XY DRV 電源ケーブル(R)組
1
59 400-92734 TF 100V OUTPUT CABLE R ASM
TF 100 出力ケーブル
1
60 400-98950 POWER_SUPPLY_ASSY_R(ST)
電源供給組(右)ST
1
61
#01
400-93150 POWER SUPPLY ASSY R(EN)
電源供給組(右)EN
1
62 400-65399 BASE FAN SR ASM
ベースファン SR
1
63 400-89882 COVER TOP FAN R RELAY CABLE ASM
カバートップファン 中継ケーブル組
1
64 400-65398 COVER TOP FAN XR RELAY CABLE ASM
カバートップファン XR 中継ケーブル組
1
65 400-47762 BASE FAN R RELAY CABLE ASM
ベースファン 中継ケーブル組
1
66 400-65400 BASE FAN SR RELAY CABLE ASM
ベースファン SR 中継ケーブル組
1
67 400-47765 BASE FAN CR ASM
ベースファン CR
1
68 400-47766 BASE FAN CR RELAY CABLE ASM
ベースファン CR 中継ケーブル組
1
69 400-48239 COVER TOP FAN FR/RR RELAY CABLE ASM
カバートップファン FR RR 中継ケーブル組
1
70 400-89901 COVER TOP FAN YR CABLE ASM XL
カバートップファン YR ケーブル組 XL
1
71 400-65402 COVER TOP FAN YR RELAY CABLE ASM
カバートップファン YR 中継ケーブル組
1
72
#01
400-91467 XY DRV PWR CABLE (R) ASM (EN)
XY DRV 電源ケーブル(R)組 (EN)
1
73 400-89909 AWC DRV PWR CABLE (R) ASM
AWC ドライバ電源ケーブル(L)組
1
74
#01
400-89948 AWC DRV PWR CABLE (R) ASM (EN)
AWC ドライバ電源ケーブル(L)組(EN)
1
75 400-47857 AWC DRV FG CABLE (R) ASM
AWC ドライバ FG ケーブル(R)組
1
76
#01
400-47858 AWC DRV FG CABLE (R) ASM (EN)
AWC ドライバ FG ケーブル(R)組(EN)
1
77 400-89910 BU DRV PWR CABLE (R) ASM
BU ドライバ電源ケーブル(R)組
1
78
#01
400-89949 BU DRV PWR CABLE (R) ASM (EN)
BU ドライバ電源ケーブル(R)組(EN)
1
79 400-47859 BU DRV FG CABLE (R) ASM
BU ドライバ FG ケーブル(R)組
1
80
#01
400-47860 BU DRV FG CABLE (R) ASM (EN)
BU ドライバ FG ケーブル(R)組(EN)
1
81 400-47763 BASE FAN CL ASM
ベースファン CL
1
82 400-91465 BASE FAN CL RELAY CABLE ASM
ベースファン CL 中継ケーブル組
1
- 139 -
70.SYSTEM DIAGRAM (SERVO MOTOR)
SYSTEM DIAGRAM(SERVO MOTOR)
SCALE
HEAD
YL(RF)
4-2C4-1C4-1C
4-4C
4-4C4-3C
1-4C
2-1B
4-1A4-1A
4-2B
4-4A
4-4A4-3A
1-4C
2-1D
1-5A
XLR
SSCNET
1CH
POSI TION
BOAR D(1)
SSCN ET
2CH
DI
1CH
DI
2CH
SSCN ET
1CH
POSITION
BOARD(2)
SSCNET
2CH
DI
1CH
DI
2CH
POS2
2CH
XY
CN8
POS2
1CH
XY
CN13
CN8
CN13
3-1A
XY-RELAY PCB
CN2L
CN2
CNP3
CN1A
CN1B
LINEAR
SERVO
AMP YL(RF)
CN2L
CN2
CNP3
CN1A
CN1B
LINEA R
SERVO
AMP X(RF)
POS1
2CH
XY
CN10
POS1 XY
1CH
CN11
CN11
CN10
XY-RELAY PCB
CN2L
CN2
CNP3
CN1B
CN1A
LINE AR
SERVO
AMP YL(LF)
CN2L
CN2
CNP3
CN1A
CN1B
LINE AR
SERVO
AMP X(LF)
CNP3
CN2
CN2L
XLF
CN812
CN811
FG-TAP
(LF)
CN247
LM-X
LM G
LM G
X
SCALE
HEAD
X(LF)
CN175
(X)
CN176(X)
CNP3
YL-LF
CN803
CN804
LM-Y
CN154
FG-TAP
(LF)
CN151
CN2
CN2L
YL-LF
CN133
(YL)
CN141
(YL)
Y
LM-G
SCALE
HEAD
YL(LF)
LINEAR
SERVO
MOTOR
YL(LF)
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(RF)
CNP3
CN2
CN2L
CN175
(X)
CN176
(X)
X-RF
X
LM G
CN247
LM-X
CN812
FG-TAP
(RF)
XRF
CN811
LM G
SCALE
HEAD
X(RF)
LINEAR
SERVO
MOTOR
YL(RF)
CNP3
CN2
CN2L
CN134
(YL)
CN142
(YL)
YL-RF
Y
LM-G
CN152
CN151
LM-G
LM-Y
CN806YL-RF
CN805
FG-TAP (RF)
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(LF)
LINEAR
SERVO
AMP X(LR)
CN1A
CN1B
Cable Bear
CNP3
CN2
CN2L
X
LRCNP3
CN2L
CN2L
LR-X
FG-TAP
(LR)
CN247
X-LR
CN175
(X)
CN176
(X)
SCALE
HEAD
X(LR)
X
LM G
LM X
CN812
CN811
LM G
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(LR )
SERVO AMP
Z
(LF-3 )
CN1A
CN1B
SERVO AMP
Z
(LF-2)
CN1A
CN1B
SERVO AMP
Z
(LF-1)
CN1A
CN1B
LINEA R
SERVO
AMP YR(LF)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
CNP3
CN2
CN2L
CN134
(YR)
CN142
(YR)
SCALE
HEAD
YR(LF)
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(LF)
YR-LF
CN801
CN802
LM-Y
FG-TAP (LF)
CN151 CN152
LM-G
YL-LF
Y
LINEAR
SERVO
AMP YL(LR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
CNP3
CN2
CN2L
CN134
(YL)
CN142
(YL)
YL-LF
Y
SCALE
HEAD
YL(LR)
LM-G
CN154
CN152
CN151
(LR)
FG-TAP
YL-LR
CN805
CN806 LM-Y
LINEAR
SERVO
MOTOR
YL(LR)
LINEAR
SERVO
AMP YR(LR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
Cable Bear
CNP3
CN2
CN2L
YR-LR
CN807
CN808
LM-Y
FG-TAP
(LR)
CN151
CN154
LM-G
YR-LR
Y
CN133
(YR)
CN141
(YR)
SCALE
HEAD
YR(LR)
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(LR)
SERVO AMP
Z
(LR-1 )
CN1A
CN1B
SERVO AMP
Z
(LR-2 )
CN1A
CN1B
SERVO AMP
Z
(LR-3)
CN1A
CN1B
LINEAR
SERVO
AMP X(RR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
Cable Bear
X
RRCNP3
XRR
CN812CN811
RR-X
CN2L
FG-TAP
(RR)
CN247
LM X
LM G LM G
SCALE
HEAD
X(RR)
CN176
(X)
CN175
(X)
X
X-RR
CN2L
LINEA R
SERVO
MOTOR
X(RR)
SERVO AMP
Z
(RF-1)
CN1A
CN1B
SERVO AMP
Z (R F-2)
CN1A
CN1B
Z
(RF-3 )
SERVO AMP
CN1A
CN1B
LINEAR
SERVO
AMP YR(RF)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
CNP3
YR-RF
CN807
CN808
FG-TAP
(RF)
CN2 CN151 CN154
LM-Y
LM-G
CN2L YR-RF
CN133
(YR)
CN141
(YR)
Y
LM-G
SCALE
HEAD
YR(RF)
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(RF)
LINEAR
SERVO
AMP YL(RR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
CNP3
CN2
CN2L
YL-RR
CN80 3
CN804
FG-TAP
(RR)
LM-Y
CN151
CN154 LM-G
YL-RR
CN133
(YL)
CN141
(YL)
Y
LM-G
SCALE
HEAD
YL(RR)
LINEAR
SERVO
MOTOR
YL(RR)
LINEAR
SERVO
AMP YR(RR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
Cable Bear
CNP3
YR-RR
CN801
FG-TAP
(RR)
CN2
CN151
CN15 2 LM-G
CN802
LM-Y
SCALE
HEAD
YR(RR)
CN2L
YR-RR
CN134
(YR)
CN142
(YR)
Y
LM-G
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(RR)
SERVO AMP
Z
(RR-1)
CN1A
CN1B
SERVO A MP
Z
(RR-2)
CN1A
CN1B
SERVO A MP
Z
(RR-3)
CN1A
CN1B
1
5
234
27
28
7
8
9
10
11
12
17
15
16
18
6
7
19
20
21
26
9
10
23
22
5
27
7
31
32
33
34
12
11
15
16
17
21
36
7
37
38
41
26
33
34
6
39
13
14
X-LF
35
66
29 30
11
12
9
10
53
7
56
21
17
15
16
5
7
37
38
57
26
33
34
39
55
54
6
52
6
7
59
59
59
7
7
59
59
59
45
46
33
34
12
15
16
5
47
48
44
49
7
19
20
50
26
9
10
22
6
11
17
21
51
58
40
6
61
62
40
7
37
38
28
26
33
34
65
21
58
7
43
37
38
58
21
26
33
34
6
65
42
44
7
59
59
59
60
7
19
20
67
26
9
10
64
58
21
7
24
25
19
20
51
21
26
9
10
6
64
63
44
7
59
59
59
1
2
22
- 140 -
NOTE( 注記 ) #01....FOR XL XL
#02....WHEN REPLACE FROM OLD PWB 40047514 TO NEW PWB 40047558,
PLEASE CHANGE WITH ETHER-SLAVE PCB ASM 40047557.
旧40047514から40047558に交換するときは、
ETHER SLAVE PCB ASM 40047557を
一緒に交換してください。
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-44540 16AXIS 2CH SERVO CONTROLLER
16軸 2 CH ポジションボード
2
2 400-48069 OPTICAL FIBER CABLE 1.2M
光ファイバケーブル1.2
4
3 400-91987 POS BOARD1 1CH CABLE ASM
ポジションボード1 1 CH ケーブル組
1
4 400-91988 POS BOARD1 2CH CABLE ASM
ポジションボード1 2 CH ケーブル組
1
5 400-48019 SERVO AMP 2KW
AMP
4
6 400-48020 SERVO AMP 3.5KW
AMP
8
7 400-44541 OPTICAL FIBER CABLE 0.15M
光ファイバケーブル0.15
16
8 400-91512 X LF MTR CABLE ASM
X LF モータケーブル組
1
9 400-47810 Y BEAR A CABLES ASM
ベア ケーブル組
6
10
#01
400-89838 Y BEAR A CABLES ASM XL
ベアケーブル A XL
6
11 400-47983 X LINEAR MOTOR ASM
リニアモータ組
4
12 400-65181 X THERMISTOR RELAY CABLE ASM
サーミスタ中継ケーブル組
4
13 400-48267 X-LF THERMISTOR CABLE ASM
LF サーミスタケーブル組
1
14 400-47705 X LF LINEAR SENSOR CABLE ASM
X LF リニアセンサケーブル組
1
15 400-47500 XY BEAR CABLES D ASM
XY ベアケーブル D
4
16
#01
400-89837 XY BEAR CABLES D ASM XL
XY ベアケーブル D 組 XL
4
17 400-44531 MAGNETIC SCALE X SENSOR UNIT
マグネチックスケール センサユニット
4
18 400-91516 YL LF MTR CABLE ASM
YL LF モータケーブル
1
19 400-47813 Y LINER BEAR A CABLES ASM
リニアベア ケーブル組
4
20
#01
400-89840 Y LINER BEAR A CABLES ASM XL
リニアベアケーブル XL
4
21 400-47984 Y LINEAR MOTOR ASM
リニアモータ組
8
22 400-91885 Y-LF THERMISTOR CABLE ASM
LF サーミスタケーブル組
2
23 400-91480 YL LF LINEAR SENSOR CABLE ASM
YL LF リニアセンサケーブル組
1
24 400-47728 YR RR MTR CABLE ASM
YR RR モータケーブル
1
25
#01
400-91524 YR RR MTR CABLE ASM
YR RR モータケーブル
1
26 400-44532 MAGNETIC SCALE Y SENSOR UNIT
マグネチックスケール センサユニット
8
27
#02
400-47558 XY-RELAY PCB ASM
XY RELAY 基板組
1
28 400-91504 YL LR LINEAR SENSOR CABLE ASM
YL LR リニアセンサケーブル組
1
29 400-91989 POS BOARD2 1CH CABLE ASM
ポジションボード2 1 CH ケーブル組
1
30 400-91990 POS BOARD2 2CH CABLE ASM
ポジションボード2 2 CH ケーブル組
1
31 400-47719 X RF MTR CABLE ASM
X RF モータケーブル組
1
32
#01
400-91514 X RF MTR CABLE ASM
X RF モータケーブル組
1
33 400-47811 Y BEAR B CABLES ASM
ベア ケーブル組
6
34
#01
400-89839 Y BEAR B CABLES ASM XL
ベアケーブル B XL
6
35 400-48269 X-RF THERMISTOR CABLE ASM
RF サーミスタケーブル組
1
36 400-91518 YL RF MTR CABLE ASM
YL RF モータケーブル
1
37 400-47814 Y LINER BEAR B CABLES ASM
リニアベア ケーブル組
4
38
#01
400-89841 Y LINER BEAR B CABLES ASM XL
リニアベアケーブル 組 XL
4
39 400-91889 Y-RF THERMISTOR CABLE ASM
RF サーミスタケーブル組
2
40 400-47881 X POS LIMIT RELAY CABLE ASM
プラスリミット中継ケーブル組
2
41 400-91505 YL RF LINEAR SENSOR CABLE ASM
YL RF リニアセンサケーブル組
1
42 400-91508 YR LR LINEAR SENSOR CABLE ASM
YR LR リニアセンサケーブル組
1
43 400-91522 YR LR MTR CABLE ASM
YR LR モータケーブル
1
44 400-48070 OPTICAL FIBER CABLE 7M
光ファイバケーブル7
3
45 400-47718 X LR MTR CABLE ASM
X LR モータケーブル組
1
46
#01
400-91513 X LR MTR CABLE ASM
X LR モータケーブル組
1
47 400-48268 X-LR THERMISTOR CABLE ASM
LR サーミスタケーブル組
1
48 400-47706 X LR LINEAR SENSOR CABLE ASM
X LR リニアセンサケーブル組
1
49 400-91521 YR LF MTR CABLE ASM
YR LF モータケーブル
1
50 400-91507 YR LF LINEAR SENSOR CABLE ASM
YR LF リニアセンサケーブル組
1
51 400-48242 X PLUS LIMIT RELAY CABLE ASM
プラスリミット中継ケーブル組
2
52 400-48071 OPTICAL FIBER CABLE 8M
光ファイバケーブル8
1
53 400-91515 X RR MTR CABLE ASM
X RR モータケーブル組
1
54 400-47708 X RR LINEAR SENSOR CABLE ASM
X RR リニアセンサケーブル組
1
55 400-48270 X-RR THERMISTOR CABLE ASM
RR サーミスタケーブル組
1
56 400-91523 YR RF MTR CABLE ASM
YR RF モータケーブル
1
57 400-91510 YR RF LINEAR SENSOR CABLE ASM
YR RF リニアセンサケーブル組
1
58 400-65200 RF(YR) THERMISTOR RELAY CABLE ASM
RF(YR)サーミスタ中継ケーブル組
4
59 400-44535 4AXIS SERVO AMP
4軸一体型サーボアンプ
12
60 400-91520 YL RR MTR CABLE ASM
YL RR モータケーブル
1
61 400-47722 YL LR MTR CABLE ASM
YL LR モータケーブル
1
62
#01
400-91517 YL LR MTR CABLE ASM
YL LR モータケーブル
1
63 400-91511 YR RR LINEAR SENSOR CABLE ASM
YR RR リニアセンサケーブル組
1
64 400-91900 Y-RR THERMISTOR CABLE ASM
RR サーミスタケーブル組
2
65 400-91886 Y-LR THERMISTOR CABLE ASM
LR サーミスタケーブル組
2
66 400-47707 X RF LINEAR SENSOR CABLE ASM
X RF リニアセンサケーブル組
1
67 400-91506 YL RR LINEAR SENSOR CABLE ASM
YL RR リニアセンサケーブル組
1