FX-3-Rev13(-J) - 第142页

- 137 - 69. SYSTEM DIAGRAM (SERVO MOTOR) SYSTEM DIAGRAM (SERVO MOTOR) LM G 4-2C 4-1C 4-1C 3-2D 3-2D 4-4C 4-4C 4-3C 3-2D 1-4C 3-1A 2-1B 3-2C 4-1A 4-1A 4-2B 3-2C 3-2C 4-4A 4-4A 4-3A 3-2C 1-4C 1-5A 3-2B CN1A CN1B Z (LR -3) …

100%1 / 170
- 136 -
NOTE( 注記 ) #01....M/C REV.F マシン REV.F
#02....M/C REV. E マシン REV.∼
#03....FOR EN EN
#04....WHEN REPLACE FROM OLD PWB 40047514 TO NEW PWB 40047558,
PLEASE CHANGE WITH ETHER-SLAVE PCB ASM 40047557.
旧40047514から40047558に交換するときは、
ETHER SLAVE PCB ASM 40047557を
一緒に交換してください。
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
Qty
1 400-82363 NFB OUTPUT CABLE ASM
NFB 出力ケーブル組
1
2 400-82372 NF FG CABLE ASM
NF FG ケーブル組
1
3 400-82365 POWER ON LAMP RELAY CABLE ASM
パワーオンランプ中継ケーブル組
1
4 400-82334 NF OUTPUT CABLE(TB1)ASM
NF 出力ケーブル(TB )組
1
5 L800E-821-0A0 POWER ON LAMP 200V CABLE ASM
パワーオンランプ 200 V 束線
1
6 400-82364 TB1-L INPUT CABLE(TB1-R) ASM
TB 1− 入力ケーブル(TB 1− R)組
1
7 400-47864 AC PWR IN UNIT OUTPUT CABLE ASM
AC 入力ユニットアウトプットケーブル組
1
8 400-47863 AC PWR IN UNIT FG CABLE ASM
AC 入力ユニット FG ケーブル組
1
9 400-47572 AC POWER INPUT UNIT(L)
AC 入力ユニット(L)
1
10 400-47883 MAIN SW CABLE ASM
メイン SW ケーブル組
1
11
#01
400-47936 XY DRIVER U INPUT CABLE ASM
XY ドライバユニット入力ケーブル組
1
12
#01
400-82156 TFL 220VOUT CABLE ASM
トランス 220 力ケーブル組
1
13
#01
400-47964 VACUUM PUMP TERMINAL CABLE ASM
バキュームポンプ ターミナルケーブル組
1
14
#01
400-47992 VACUUM PUMP TH-MC CABLE ASM
バキュームポンプ TH − MC ケーブル組
1
15
#01
400-47965 VACUUM PUMP POWER CABLE ASM
バキュームポンプ電源ケーブル組
1
16
#01
400-48244 VACUUM PUMP FG CABLE ASM
バキュームポンプ FG ケーブル組
1
17
#01
400-63490 VACUUM_PUMP
真空ポンプ
1
18
#01
400-82362 VACUUM I/O CABLE ASM
バキューム I O ケーブル組
1
19 400-48062 TRANSFORMER
トランス
2
20 400-47859 BU DRV FG CABLE (R) ASM
BU ドライバ FG ケーブル(R)組
1
21 400-82163 TF FG CABLE ASM
TF FG ケーブル組
1
22 400-47961 XY DRV PWR CABLE (L) ASM
XY DRV 電源ケーブル(L)組
1
23 400-82153 TF1 OUTPUT CABLE (100V) ASM
TF 1出力ケーブル(10 V)組
1
24 400-47060 XY_DRIVER_UNIT
XY ドライバ組
2
25
#03
400-47136 XY DRV UNIT (EN) ASM
XY ドライバ組(EN)
2
26 400-47963 XY DRV I/O CABLE ASM
XY DRV I ーブル組
2
27 400-47957 XY-RELAY I/O CABLE ASM
XY RELAY I / O ケーブル組
2
28
#04
400-47558 XY-RELAY PCB ASM
XY RELAY 基板組
2
29
#03
400-47860 BU DRV FG CABLE (R) ASM (EN)
BU ドライバ FG ケーブル(R)組(EN)
1
30 400-48248 XY DRV PWR CABLE (L) ASM (EN)
XY DRV 電源ケーブル(L)組(EN)
1
31 400-47885 XY-RELAY PWR CABLE (L) ASM
XY RELAY 電源ケーブル(L)組
1
32 400-47079 POWER_SUPPRY_ASSY
電源供給組
2
33
#03
400-47139 POWER SUPPRY ASSY L(EN)
電源供給組(左)EN
1
34
#03
400-47140 POWER SUPPRY ASSY R(EN)
電源供給組(右)EN
1
35 400-47754 COVER TOP FAN L RELAY CABLE ASM
カバートップファン 中継ケーブル組
1
36 400-65392 COVER TOP FAN XL RELAY CABLE ASM
カバートップファン XL 継ケーブル組
1
37 400-65391 COVER TOP FAN XL ASM
カバートップファン(XL)組
1
38 400-47758 CONTROL UNIT TOP FAN RELAY CABLE ASM
コントロールユニットトップファン中継ケーブル組
1
39 400-47702 CTRL UNIT FAN ASM
コントロールユニットファンモータ組
1
40 400-47760 BASE FAN L RELAY CABLE ASM
ベースファン 中継ケーブル組
1
41 400-65394 BASE FAN SL RELAY CABLE ASM
ベースファン SL 中継ケーブル組
1
42 400-65393 BASE FAN SL ASM
ベースファン SL
1
43 400-47764 BASE FAN CL RELAY CABLE ASM
ベースファン CL 中継ケーブル組
1
44 400-47763 BASE FAN CL ASM
ベースファン CL
1
45 400-48238 COVER TOP FAN LF/LR RELAY CABL ASM
カバートップファン LF / LR 中継ケーブル組
1
46 400-65396 COVER TOP FAN YL RELAY CABLE ASM
カバートップファン YL 継ケーブル組
1
47 400-65395 COVER TOP FAN YL CABLE ASM
カバートップファン YL ーブル組
1
48 400-47956 VACUUM PUMP FAN RELAY CABLE ASM
バキュームポンプファン中継ケーブル組
1
49 400-47757 VACUUM PUMP FAN CABLE ASM
バキュームポンプファンケーブル
1
50 400-47797 AWC DRV PWR CABLE (L) ASM
AWC ドライバ電源ケーブル(L)組
1
51
#03
400-47798 AWC DRV PWR CABLE (L) ASM (EN)
AWC ドライバ電源ケーブル(L)組(EN)
1
52 400-47853 AWC DRV FG CABLE (L) ASM
AWC ドライバ FG ケーブル(L)組
1
53
#03
400-47854 AWC DRV FG CABLE (L) ASM (EN)
AWC ドライバ FG ケーブル(L)組(EN)
1
54 400-47799 BU DRV PWR CABLE (L) ASM
BU ドライバ電源ケーブル(L)組
1
55
#03
400-47800 BU DRV PWR CABLE (L) ASM (EN)
BU ドライバ電源ケーブル(L)組(EN)
1
56 400-47855 BU DRV FG CABLE (L) ASM
BU ドライバ FG ケーブル(L)組
1
57
#03
400-47856 BU DRV FG CABLE (L) ASM (EN)
BU ドライバ FG ケーブル(L)組(EN)
1
58 400-47894 ATX PWR RLY CABLE ASM
ATX 電源中継ケーブル組
1
59 400-47893 ATX PWR CABLE ASM
ATX 電源ケーブル組
1
60 400-47892 HOURMETER ASM
アワーメータ組
1
61 400-47884 AC PWR INPT UNT R-L CABLE ASM
AC 入力ユニットケーブル
1
62 400-47571 AC POWER INPUT UNIT(R)
AC 入力ニット(R)
1
63 400-47864 AC PWR IN UNIT OUTPUT CABLE ASM
AC 入力ユニットアウトプットケーブル組
1
64 400-47863 AC PWR IN UNIT FG CABLE ASM
AC 入力ユニット FG ケーブル組
1
65 400-82163 TF FG CABLE ASM
TF FG ケーブル組
1
66
#02
400-63490 VACUUM_PUMP
真空ポンプ
1
67
#02
400-47935 TFL 220VOUT CABLE ASM
トランス 220 力ケーブル組
2
68
#02
400-48244 VACUUM PUMP FG CABLE ASM
バキュームポンプ FG ケーブル組
1
69
#02
400-47968 VACUUM I/O CABLE ASM
バキューム I O ケーブル組
1
70
#02
400-47964 VACUUM PUMP TERMINAL CABLE ASM
バキュームポンプ ターミナルケーブル組
1
71
#02
400-47992 VACUUM PUMP TH-MC CABLE ASM
バキュームポンプ TH − MC カンケーブル組
1
72
#02
400-47966 VACUUM PUMP RELAY CABLE ASM
バキュームポンプ リレーケーブ
1
73
#02
400-47967 VACUUM PUMP RELAY(S) CABLE ASM
バキュームポンプ リレー S ケーブル組
1
74
#02
400-47985 VACUUM PUMP RELAY ON CABLE ASM
バキュームポンプ リレー ON ーブル組
1
75
#02
400-47936 XY DRIVER U INPUT CABLE ASM
XY ドライバユニット入力ケーブル組
1
76 400-82155 TFR 220VOUT CABLE ASM
トランス 220 力ケーブル組
1
77 400-47962 XY DRV PWR CABLE (R) ASM
XY DRV 電源ケーブル(R)組
1
78 400-82154 TF2 OUTPUT CABLE (100V) ASM
TF 2出力ケーブル(10 V)組
1
79 400-47756 COVER TOP FAN R RELAY CABLE ASM
カバートップファン 中継ケーブル組
1
80 400-65398 COVER TOP FAN XR RELAY CABLE ASM
カバートップファン XR 継ケーブル組
1
81 400-65397 COVER TOP FAN XR ASM
カバートップファン(XR)組
1
82 400-47762 BASE FAN R RELAY CABLE ASM
ベースファン 中継ケーブル組
1
83 400-65400 BASE FAN SR RELAY CABLE ASM
ベースファン SR 中継ケーブル組
1
84 400-65399 BASE FAN SR ASM
ベースファン SR
1
85 400-47766 BASE FAN CR RELAY CABLE ASM
ベースファン CR 中継ケーブル組
1
86 400-47765 BASE FAN CR ASM
ベースファン CR
1
87 400-48239 COVER TOP FAN FR/RR RELAY CABLE ASM
カバートップファン FR / RR 中継ケーブル組
1
88 400-65402 COVER TOP FAN YR RELAY CABLE ASM
カバートップファン YR 継ケーブル組
1
89 400-65401 COVER TOP FAN YR CABLE ASM
カバートップファン YR ーブル組
1
90 400-48243 POWER UNIT GND CONECTION CABLE ASM
電源ユニット GND 接続ケーブル組
1
91 400-47701 CPCI POWER CABLE ASM
CPCI パワーケーブル組
1
92 400-47703 ATX CTRL CABLE ASM
ATX コントロールケーブル組
1
93 400-48245 LNC60 I/F CABLE ASM
LNC 60 I / F ケーブル組
1
94 400-47801 AWC DRV PWR CABLE (R) ASM
AWC ドライバ電源ケーブル(L)組
1
95
#03
400-47802 AWC DRV PWR CABLE (R) ASM (EN)
AWC ドライバ電源ケーブル(L)組(EN)
1
96 400-47857 AWC DRV FG CABLE (R) ASM
AWC ドライバ FG ケーブル(R)組
1
97
#03
400-47858 AWC DRV FG CABLE (R) ASM (EN)
AWC ドライバ FG ケーブル(R)組(EN)
1
98 400-47803 BU DRV PWR CABLE (R) ASM
BU ドライバ電源ケーブル(R)組
1
99
#03
400-47804 BU DRV PWR CABLE (R) ASM (EN)
BU ドライバ電源ケーブル(R)組(EN)
1
- 137 -
69.SYSTEM DIAGRAM (SERVO MOTOR)
SYSTEM DIAGRAM(SERVO MOTOR)
LM G
4-2C
4-1C4-1C
3-2D
3-2D
4-4C
4-4C4-3C
3-2D
1-4C
3-1A
2-1B
3-2C
4-1A4-1A
4-2B
3-2C
3-2C
4-4A
4-4A
4-3A
3-2C
1-4C
1-5A
3-2B
CN1A CN1B
Z
(LR -3)
SERVO AMP
SSCNET
1CH
POSITION
BOARD(1)
SSCNET
2CH
DI
1CH
DI
2CH
POS1
1CH
POS1
2CH
XY
CN10
XY
CN11
XY-RELAY P CB
CN11
CN10
2-1D
CN2
CNP3
CN1A CN1B
AMP YL( LF)
LINE AR SERVO
CN2L
CN2
CNP3
CN1BCN1A
AMP X(LF)
LINE AR SERVO
CNP3
CN2
CN2L X-LF
CN247
FG-TAP
(LF)
X LF CN8 11
CN812
CN175(X)
CN176 (X)
X
LM G
LM-X
LM G
SCALE
HEAD
X(LF)
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(LF)
Cable B ear
LINEAR SERVO
AMP X(LR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
X
LRCNP 3
XLR
CN811
CN812
LM X
FG-TAP
(LR)
LR-X
CN2L
CN2L
LM G
X
CN17 5(X) CN176(X)
SCALE
HEAD
X(LR)
LM G
SERVO AMP
Z
(LF-3)
CN1BCN1A
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(LR)
SERVO AMP
Z
(LF-2)
CN1A
CN1B
CN1B
CN1A
Z
(LF -1)
SERVO AMP
CNP3
CN2
LINE AR
SERVO
MOTOR
YL(LF)
CN804CN803
YL-LF
LM-Y
CN154
LM-G
CN151
FG-TAP
(LF)
LINEAR SERVO
AMP YR(LF)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CNP3
CN2
YR-LF
CN801
FG-TAP
(LF)
CN151 CN152 LM-G
LM-Y
CN802
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(LF)
LINEAR SERVO
AMP YL(LR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CNP3
CN2
YL-LR
CN805
CN151
FG-TAP
(LR)
CN152
CN154
CN806 LM-Y
LM-G
LINEAR
SERVO
MOTOR
YL(LR)
LINEAR SERVO
AMP YR(LR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
Cable B ear
CNP3
CN2
CN807
YR-LR
FG-TAP
(LR)
CN151
CN154
LM-G
LM-Y
CN808
SERVO AMP
Z
(LR-1)
CN1A
CN1B
SERVO A MP
Z
(LR-2)
CN1A
CN1B
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(LR)
SSCNET
1CH
POSITION
BOARD(2)
SSCNET
2CH
DI
1CH
DI
2CH
POS2
2CH
XY
CN8
CN13
XY
POS2
1CH
XY-RELAY PCB
CN13
CN8
CN2
CNP3
CN1BCN1A
AMP YL(RF)
LINE AR SERVO
CN2L
CN2
CNP3
CN1B
CN1A
AMP X(R F)
LINEAR SERVO
CNP3
CN2
CN2L
CN175(X)
CN176(X)
X-RF
X
LM GCN247
FG-TAP
(RF)
LM-X
CN812
CN811
XRF
SCALE
HEAD
X(RF)
LM G
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(RF)
LINEAR SERVO
AMP X(RR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
Cable Bear
X
RRCNP3
XRR
CN811
CN812
LM X
LM G
FG-TAP
(RR)
CN247
RR-X
CN2L
CN2L
X-RR
X
CN176(X)
CN175(X)
SCALE
HEAD
X(RR)
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(RR)
SERVO AMP
Z
(RF-1)
SERVO AMP
Z (RF-2)
SERVO AMP
Z
(RF-3 )
CN1A
CN1B
CN1A
CN1B
CN1A
CN1B
LINE AR
SERVO
MOTOR
YL(RF)
CN806
LM-Y
LM-G
CN152
CN151
FG-TAP
(RF)
CN805
YL-RF
CNP3
CN2
LINEAR SERVO
AMP YR( RF)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CNP3
CN2
YR-RF
CN807
CN808
LM-Y
CN154
FG-TAP
(RF)
CN151
LINEAR SERVO
AMP YL(RR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CNP3
CN2
YL-RR
CN803
CN804
LM-Y
CN154
LM-G
FG-TAP
(RR)
CN151
LINEAR
SERVO
MOTOR
YL(RR)
LINEAR SE RVO
AMP YR(RR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
Cable Bear
CNP3
CN2
YR-RR
CN80 1
FG-TAP
CN151
(RR)
CN15 2 LM-G
LM-Y
CN802
SERVO AMP
Z
(RR-1)
CN1A
CN1B
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(RR)
SERVO AMP
Z
(RR-2)
CN1A CN1B
SERVO AMP
Z
(RR-3)
CN1A
CN1B
1
1
22 2234 56
9
9
43
35
36
16
33
42
17
15
23
11
11
39
40
41
22
35
7
8
19
22
21
20
11
23
15
17
18
8
19
26
24
25
11
16
7
14
14
14
11
11
11
11
14
14
14
8
14
11
11
14
14
8
14
14
14
11
11
11
11
8
7
11
12
27
28
23
17
29
30
22
X-LR
CN247
15
8
34
35
36
16
33
34
16
37
35
34
12
38
33
26
19
32
25
31
11
16
15
45
13
19
23
17
46
47
22
44
37
33
35
43
16
8
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(RF)
LM-G
16
49
19
25
37
48
25
49
19
12
32
16
10
37
8
7
- 138 -
NOTE( 注記 ) #01....WHEN REPLACE FROM OLD PWB 40047514 TO NEW PWB 40047558,
PLEASE CHANGE WITH ETHER-SLAVE PCB ASM 40047557.
旧40047514から40047558に交換するときは、
ETHER LAVE PCB ASM 40047557を
一緒に交換してください。
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-44540 16AXIS 2CH SERVO CONTROLLER
16軸 2 CH ポジションボード
2
2 400-48069 OPTICAL FIBER CABLE 1.2M
光ファイバケーブル1.2
4
3 400-47930 POS BOARD1 1CH CABLE ASM
ポジションボード1 1 CH ケーブル組
1
4 400-47931 POS BOARD1 2CH CABLE ASM
ポジションボード1 2 CH ケーブル組
1
5 400-47932 POS BOARD2 1CH CABLE ASM
ポジションボード2 1 CH ケーブル組
1
6 400-47933 POS BOARD2 2CH CABLE ASM
ポジションボード2 2 CH ケーブル組
1
7 400-48019 SERVO AMP 2KW
AMP
4
8 400-48020 SERVO AMP 3.5KW
AMP
8
9
#01
400-47558 XY-RELAY PCB ASM
XY RELAY 基板組
2
10 400-47728 YR RR MTR CABLE ASM
YR RR モータケーブル組
1
11 400-44541 OPTICAL FIBER CABLE 0.15M
光ファイバケーブル0.15
16
12 400-48070 OPTICAL FIBER CABLE 7M
光ファイバケーブル7
3
13 400-48071 OPTICAL FIBER CABLE 8M
光ファイバケーブル8
1
14 400-44535 4AXIS SERVO AMP
4軸一体型サーボアンプ
12
15 400-47983 X LINEAR MOTOR ASM
リニアモータ組
4
16 400-47984 Y LINEAR MOTOR ASM
リニアモータ組
8
17 400-44531 MAGNETIC SCALE X SENSOR UNIT
マグネチックスケール センサユニット
4
18 400-47717 X LF MTR CABLE ASM
X LF モータケーブル組
1
19 400-47810 Y BEAR A CABLES ASM
ベア ーブル組
6
20 400-48267 X-LF THERMISTOR CABLE ASM
X LF サーミスタケーブル組
1
21 400-47705 X LF LINEAR SENSOR CABLE ASM
X LF リニアセンサケーブル組
1
22 400-47500 XY BEAR CABLES D ASM
XY ベアケーブル
4
23 400-65181 X THERMISTOR RELAY CABLE ASM
X サーミスタ中継ケーブル
4
24 400-47721 YL LF MTR CABLE ASM
YL LF モータケーブル組
1
25 400-47813 Y LINER BEAR A CABLES ASM
リニアベア ケーブル組
4
26 400-47988 Y-LF THERMISTOR CABLE ASM
LF サーミスタケーブル組
2
27 400-47718 X LR MTR CABLE ASM
X LR モータケーブル組
1
28 400-47811 Y BEAR B CABLES ASM
ベア ーブル組
1
29 400-48268 X-LR THERMISTOR CABLE ASM
LR サーミスタケーブル組
1
30 400-47706 X LR LINEAR SENSOR CABLE ASM
X LR リニアセンサケーブル組
1
31 400-47725 YR LF MTR CABLE ASM
YR LF モータケーブル組
1
32 400-48242 X PLUS LIMIT RELAY CABLE ASM
プラスリミット中継ケーブル組
2
33 400-47814 Y LINER BEAR B CABLES ASM
リニアベア ケーブル組
4
34 400-47989 Y-LR THERMISTOR CABLE ASM
LR サーミスタケーブル組
2
35 400-47811 Y BEAR B CABLES ASM
ベア ーブル組
5
36 400-47881 X POS LIMIT RELAY CABLE ASM
プラスリミット中継ケーブル組
2
37 400-65200 RF(YR) THERMISTOR RELAY CABLE ASM
RF(YR)サーミスタ中継ケーブル組
4
38 400-47726 YR LR MTR CABLE ASM
YR LR モータケーブル組
1
39 400-47719 X RF MTR CABLE ASM
X RF モータケーブル組
1
40 400-48269 X-RF THERMISTOR CABLE ASM
RF サーミスタケーブル組
1
41 400-47707 X RF LINEAR SENSOR CABLE ASM
X RF リニアセンサケーブル組
1
42 400-47723 YL RF MTR CABLE ASM
YL RF モータケーブル組
1
43 400-47990 Y-RF THERMISTOR CABLE ASM
RF サーミスタケーブル組
2
44 400-47727 YR RF MTR CABLE ASM
YR RF モータケーブル組
1
45 400-47720 X RR MTR CABLE ASM
X RR モータケーブル組
1
46 400-48270 X-RR THERMISTOR CABLE ASM
RR サーミスタケーブル組
1
47 400-47708 X RR LINEAR SENSOR CABLE ASM
X RR リニアセンサケーブル組
1
48 400-47724 YL RR MTR CABLE ASM
YL RR モータケーブル組
1
49 400-47991 Y-RR THERMISTOR CABLE ASM
RR サーミスタケーブル組
2