Rehm Maintenance Schedule SOP VXP Vac 20161116 - 第50页
Page 50 Rehm VXP+ V ac 维护 保养过 程 维护 保养过 程 维护 保养过 程 维护 保养过 程 真空 腔维护 保养 真空 腔维护 保养 真空 腔维护 保养 真空 腔维护 保养 • 真空腔体上盖拆卸 • 打开炉膛，把真空腔上盖升至 Service （最 高点）位置，使用推车 ( 选项 ) 拆下真空腔上盖
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
电脑
电脑电脑
电脑 / UPS 除尘
除尘除尘
除尘
• 使用吸尘器将电脑/UPS 上的灰尘清除，用抹布擦干净
UPS 负载放电
负载放电负载放电
负载放电(没有输入的情况
没有输入的情况没有输入的情况
没有输入的情况)
• 拔下输入电源插头，UPS 连续输出三十分钟
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
真空腔维护保养
真空腔维护保养真空腔维护保养
真空腔维护保养
• 真空腔体上盖拆卸
• 打开炉膛，把真空腔上盖升至 Service （最高点）位置，使用推车
(选项) 拆下真空腔上盖
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
• 检查清洁调宽机构丝杆
• 检查真空腔内光电开关穿透玻璃镜片，
• 每周检查如有需要拆下 Holder 使用 CF 1 及无尘纸浸泡及 清洁镜
片，去除镜片表面附着 Flux 及其他异物