Rehm Maintenance Schedule SOP VXP Vac 20161116 - 第52页
Page 52 Rehm VXP+ V ac 维护 保养过 程 维护 保养过 程 维护 保养过 程 维护 保养过 程 • 检查镜片上下表面 O-Ring 是 否老化硬化失去密封效果，如有需要更 换新品，每季度需更换 • 清洁完装回，确认光电开关信号显示正常。确认镜片是清洁的 ，如 有必要 Tech 炉膛底部光电开关，使其信号显示正常
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
• 检查清洁调宽机构丝杆
• 检查真空腔内光电开关穿透玻璃镜片，
• 每周检查如有需要拆下 Holder 使用 CF 1 及无尘纸浸泡及 清洁镜
片，去除镜片表面附着 Flux 及其他异物
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
• 检查镜片上下表面 O-Ring 是否老化硬化失去密封效果，如有需要更
换新品，每季度需更换
• 清洁完装回，确认光电开关信号显示正常。确认镜片是清洁的，如
有必要 Tech 炉膛底部光电开关，使其信号显示正常
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
• 检查清洁真空腔出入口光纤 Senser 头，检查光纤放大器，如红色实
际值接近绿色设定值需要清洁光纤头，使用 CF1 浸泡后，使用无尘
纸清洁，使实际值大于设定值 1000 以上 ，每周检查数值
• 清洁保养预热区入口 Stopper 光纤 Senser ，清洁后检查红色实际数
值小于设定绿色数值，每周检查数值。
光纤
光纤光纤
光纤 Senser 端头透镜清洁
端头透镜清洁端头透镜清洁
端头透镜清洁