Rehm Maintenance Schedule SOP VXP Vac 20161116 - 第54页
Page 54 Rehm VXP+ V ac 维护 保养过 程 维护 保养过 程 维护 保养过 程 维护 保养过 程 • 检查清洁真空腔抽气过滤装置，清洁所有内部部件，纸质过滤 每季 度检查，每半年更换
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
• 检查清洁真空腔出入口光纤 Senser 头，检查光纤放大器，如红色实
际值接近绿色设定值需要清洁光纤头，使用 CF1 浸泡后，使用无尘
纸清洁，使实际值大于设定值 1000 以上 ，每周检查数值
• 清洁保养预热区入口 Stopper 光纤 Senser ，清洁后检查红色实际数
值小于设定绿色数值，每周检查数值。
光纤
光纤光纤
光纤 Senser 端头透镜清洁
端头透镜清洁端头透镜清洁
端头透镜清洁
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
• 检查清洁真空腔抽气过滤装置，清洁所有内部部件，纸质过滤每季
度检查，每半年更换
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
• 检查真空泵液位，每周检查 B 位置液位，如液位在 Min 跟 Max 之间
则正常，如低于 Min 则需要打开 C 位置盖子关闭真空泵，添加
Fomblin 润滑液，
清洁真空腔腔体
• 使用吸尘器清洁腔体内部，清楚杂质碳化物