JX-300LED-Rev02 - 第85页
- 80 - REF .NO N OTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Q ty 1 400-9 954 7 VACUUM PU MP ASM 真空ポンプ組 1 2 400-99550 VAC PUM P PLATE 真空ポンププレート 1 3 400-99551 VAC PUM P RUBBER 真空ポンプラバー 1 4 400-99549 VAC PUM P BASE 真空ポンプベース 1 5 …
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40.VACCUM PUMP UNIT
真空ポンプユニット
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52 53
- 80 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-99547 VACUUM PUMP ASM
真空ポンプ組
1
2 400-99550 VAC PUMP PLATE
真空ポンププレート
1
3 400-99551 VAC PUMP RUBBER
真空ポンプラバー
1
4 400-99549 VAC PUMP BASE
真空ポンプベース
1
5 PJ-3090852-02 DOUBLE BRANCH UNIVERSAL ELBOW
ダブルブランチユニバーサルエルボ
1
6 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
1
7 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
1
8 PX-0552010-00 MUFFLER (PLASTIC)
マフラ（樹脂製）
1
9 SM-1051052-TN SCREW
皿ねじ Ｍ ５ Ｌ ＝１０
4
10 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
1
11 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
4
12 CM-3003000-02 LABEL2 (25)
高温注意シール２（２５）
1
13 400-99552 VAC PUMP FAN_BR
真空ポンプファンブラケット
1
14 400-54705 VAC FAN CABLE ASM
真空ポンプファンケーブル
1
15 HM-0003300-30 FAN GUARD
ファンガード
1
16 SL-4033091-SC SCREW M3 L=30
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝３０
4
17 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
2
18 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
1
19 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝６
1
20 400-61126 VACUUM CABLE ASM 70
バキュームケーブル組７０
1
21 PJ-3010405-05 HALF UNION
ハーフユニオン
6
22 400-77357 VALVE BRACKET
バルブブラケット
1
23 400-94360 HEAD_COVER
ヘッドカバー
1
24 E3858-715-000 SEAL
手触れ禁止シール
1
25 SL-6030692-TN SCREW M3 L=6
座金付き六角穴ボルト Ｍ ３ Ｌ ＝６
4
26 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
4
27 SL-6030692-TN SCREW M3 L=6
座金付き六角穴ボルト Ｍ ３ Ｌ ＝６
4
28 400-64231 FILTER BOX U70 ASM
フィルタボックス Ｕ ７０組
1
29 400-62187 FILTER BOX L 70
フィルタボックス Ｌ ７０
1
30 400-46646 FILTER
フィルタ
6
31 400-46059 O RING F2
Ｏ リング Ｆ ２
6
32 400-46058 O RING F1
Ｏ リング Ｆ １
6
33 SL-6031092-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
2
34 SM-6033002-TN SCREW M3 L=30
六角穴ボルト Ｍ ３ Ｌ ＝３０
2
35 400-60222 AIR UNIT BRACKET
エアユニットブラケット
1
36 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｌ ＝８
1
37 E1038-871-000 PLATEN LOCK CAM SCREW
プラテン ロックカム スクリュウ
1
38 PF-0200040-00 REGULATOR
レギュレータ
1
39 SM-4033001-SC SCREW M3 L=30
なべ小ねじ Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝３０
2
40 PJ-3030600-03 UNION
違径ユニオン
2
41 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
3
42 SL-4030691-SC SCREW M3 L=6
座金付きなべ小ねじ Ｍ ３ Ｌ ＝６
3
43 400-46540 VACUUM METER
バキュームメータ
1
44 BT-0400251-EA TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
0.03
45 BT-0600400-EC TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
16.95
46 400-56768 FACE PLATE B
フェイスプレート Ｂ
1
47 HX-0029200-00 BAND
バンド
3
48 HX-0066900-00 GROMMET
グロメット
0.05
49 HX-0067100-00 GROMMET
グロメット
0.06
50 PJ-3040405-05 ELBOW
エルボユニオン
1
51 HX-0067100-0A GROMMET
グロメット
0.38
52 PJ-3030600-01 STRAIGHT UNION
ストレートユニオン
1
53 PJ-3080600-03 Y UNION
ユニオンワイ
1
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41.LONG BOARD OPTION (TYPE 1500MM) COMPONENTS
長尺基板対応（１５００ ｍｍ 仕様）関係
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