CM602(EJM4A)20070511 - 第108页
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1 KXFX03YHA00 軽量高速ヘッド：CM402 Light Weight High-Speed Head： CM402 1
1-A 21
1-B 24
1-C 26
1-D 28
1-E 30
1-F 32
2 KXFX064EA00 高速ヘッド接続ユニット : リニア対応 High-Speed Head Connection Unit: 1
2-A 34
2-B 36
3 KXFX03YJA00 軽量多機能ヘッド：CM402 Light Weight Multi-Functional Head： 1
3-A 38
3-B 40
3-C 43
3-D 45
3-E 47
4 KXFX066RA00 多機能ヘッド接続ユニット:リニア対応 Multi-Functional Head Connection Unit: 1
4-A 49
4-B 51
6 N610002087AA 多機能ヘッド対応ユニット Multi-Functional Heads Support Unit 1 66
NO
番号
ＳＴ機番
ＳＴ名称
CM602-L:オプション
STATION NAME
PART NUMBER
品番
ユニット名 UNIT NAME
数量
Q'TY
ﾗﾝｸ
RANK
頁
PAGE
CM602-L:option
UNIT LIST
STATION NUMBER
ユニットリスト
NM-EJM4AT
1
− −2 02 0001−
（
）
基板ホルダ Board Holder
7-A
7-B
基板コンベアR Board Conveyor R
8-A
8-B
8-C
8-D
8-E
8-F
8-G
8-H
8-I
8-J
8-K
8-L
8-M
8-N
8-O
8-P
8-Q
8-R
8-S
8-T