SP18 机械Parts List - 第144页

7 Mサイズ 枠 対応 分 割ク ラ ンパー (L) M-size Mask Capable Separate Clamper(L) パーツレイアウト Kit No. キット品 番 Kit Name キット名称 N610012857AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No.   S15 

100%1 / 206
Ref
No.
Remarks
R
1
Q't
y
6-B
真
空ポンプユニット
Vacuum Pump Unit
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610012858AA
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
5 N210029993AA
BRACKET
1
6 N210029994AA
BRACKET
1
7 N210075617AA
SENSOR
1
10 N610026796AA Sensor:-B1001
Valve
1
11 N610026797AA Valve:-F4003
JOINT
1
17 KXF0DWRNA00 KQ2L12-02S
JOINT
1
18 N431KQ2Z-355 KQ2ZD08-02S
JOINT
1
19 KXF0E39DA00 KQ2R04-08
SILENCER
1
20 KXF00WEAA00 AN203-02
JOINT
1
21 KXF0D2ZAA00 KQ2L04-M5
JOINT
3
22 KXF0977AA00 CPS15M-8B
JOINT
3
23 KXF09Y3AA00 CPP15-8B
JOINT
3
24 KXF0DZKRA00 KQ2P-08
BOLT
2
25 N510017341AA
Hexagon socket head cap screw M3X8-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
2
27 N510017381AA
Hexagon socket head cap screw M4X8-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
2
28 N510017344AA
Hexagon socket head cap screw M4X10-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
2
29 N510017351AA
Hexagon socket head cap screw M4X16-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
2
32 N510017395AA
Hexagon socket head cap screw M5X16-10.9 A2J (Trivalent)
WASHER
4
34 N510018497AA
Round finish plain washer 4 10H A2J (Trivalent)
WASHER
2
35 N510018499AA
Round finish plain washer 5 10H A2J (Trivalent)
WASHER
2
37 N510018478AA
Small round-plain washer 3 10H A2J (Trivalent)
WASHER
2
38 N510018479AA
Small round-plain washer 4 10H A2J (Trivalent)
S14

7
Mサイズ
枠
対応
分
割ク
ラ
ンパー (L)
M-size Mask Capable Separate Clamper(L)
パーツレイアウト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610012857AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
S15

Ref
No.
Remarks
R
1
Q't
y
7
Mサイズ
枠
対応
分
割ク
ラ
ンパー (L)
M-size Mask Capable Separate Clamper(L)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610012857AA
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
CLAMPER
1
1 N210043440AC
CLAMPER
1
2 N210043441AC
PLATE
1
3 N210043442AB
PLATE
1
4 N210043443AB
PLATE
1
5 N210043444AB
PLATE
1
6 N210043445AB
PLATE
1
7 N210025725AB
PLATE
2
8 N210025726AC
PIN
8
9 N510020795AA 87CJPSPB4-4
BOLT
12
10 N510017333AA
Hexagon socket head cap screw M3X5-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
11 N510017341AA
Hexagon socket head cap screw M3X8-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
12
12 N510017344AA
Hexagon socket head cap screw M4X10-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
6
13 N510017351AA
Hexagon socket head cap screw M4X16-10.9 A2J (Trivalent)
PLATE
1
14 N210062986AA
Fixed side Separate Clamper
1
15 N610056610AA
Movable side Separate Clamper
1
16 N610056611AA
S16
