SP18 机械Parts List - 第145页
Ref No. Remarks R 1 Q't y 7 Mサイズ 枠 対応 分 割ク ラ ンパー (L) M-size Mask Capable Separate Clamper(L) ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit No . キット品 番 Kit Name キット名称 N610012857AA Part N ame 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Sect…
7
Mサイズ
枠
対応
分
割ク
ラ
ンパー (L)
M-size Mask Capable Separate Clamper(L)
パーツレイアウト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610012857AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
S15
Ref
No.
Remarks
R
1
Q't
y
7
Mサイズ
枠
対応
分
割ク
ラ
ンパー (L)
M-size Mask Capable Separate Clamper(L)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610012857AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
CLAMPER
1
1 N210043440AC
CLAMPER
1
2 N210043441AC
PLATE
1
3 N210043442AB
PLATE
1
4 N210043443AB
PLATE
1
5 N210043444AB
PLATE
1
6 N210043445AB
PLATE
1
7 N210025725AB
PLATE
2
8 N210025726AC
PIN
8
9 N510020795AA 87CJPSPB4-4
BOLT
12
10 N510017333AA
Hexagon socket head cap screw M3X5-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
11 N510017341AA
Hexagon socket head cap screw M3X8-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
12
12 N510017344AA
Hexagon socket head cap screw M4X10-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
6
13 N510017351AA
Hexagon socket head cap screw M4X16-10.9 A2J (Trivalent)
PLATE
1
14 N210062986AA
Fixed side Separate Clamper
1
15 N610056610AA
Movable side Separate Clamper
1
16 N610056611AA
S16
8
雰囲気
温
調
チャンバー
Atmospheric Temperature Control Chamber
パーツレイアウト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610012862AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
S17