NXTIIIC电路图 - 第130页

NAME TYPE 接続図 NFVc T I T L E 制御盤・基板搬送I/F接続 DRAWING No. 3 8 FUJI SECRET 2R GZB B00 010 3 A D D R E S S 8 A D D R E S S 8 A D D R E S S 2 ベース制御盤 B A S E C O N T R O L B O X B C B C N 18 C N 6 C N 5 2E GZ BB 01 00 ** ベース制 御…

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NAME TYPE
接続図
NFVc
アース接続
DRAWING No.
FUJI SECRET
2RGZBB000103
3
一次電源
PE
2EBB0003**
アースターミナル1
アースターミナル2
メインスイッチ
ノイズフィルター
M1NF1
サーキットブレーカBKT
 B
サーキットブレーカ増設BKT
BRKEBK
EGB0015*
EGB0013*
EGB0014*
アースBKT
4MⅢc ベース
4MⅢc BASE UNIT
(リストバンド中継 フロント
(リストバンド中継 リア左)
M1SW1
ハンドルBKT
サージキラー
IL
M1SK1
EGB0011*
EGB0111*
トランス
トラン
M1T
EGB0076*
EGB0070*
アースターミナル3 リストバンド中継 リア右)
2EBB0071**
2EGZBB0100**
ベース制御I/F基板1 CN6へ
Zt2h816k
Zt2h816k
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NAME TYPE
接続図
NFVc
制御盤・基板搬送I/F接続
DRAWING No.
FUJI SECRET
2RGZBB000103
8
8
2
ベース制御盤
18
2EGZBB0100**
ベース制御I/F基板1
F B 
パーツ真空ポンプ制御BKT
MPON
パーツ真空ポンプ
AGB0070*
EGB0024*
エアー圧力正常
CK
パーツバキューム圧力正常
AC
1P
1P
2RGTBB0029**
2RGTBB0030**
1FN1
EGB0089* GZBB0099**
冷却ファン(ベース背面1)
1FN2
2RGZBB0100**
冷却ファン(ベース背面2)
N27A
EGB0026*
前工程基板搬送I/F基板
EGZBB0088*
レーン1
レーン2
EGZBB0020*
EGZBB0036*
ベース増設制御盤
ベース制御I/F基板2
F B 
N28A
EGB0027*
後工程基板搬送I/F基板
レーン1
レーン2
EGZBB0022*
EGZBB0110*
4MⅢc ベース
4MⅢc BASE UNIT
2EGZBB0054**
2EGZBB0084**
19
1
19
19
19
RH5733
ース
24
01
00
19
1
19
19
19
RH5734
ース
24
01
00
EGB0094*
1FN5
2RGTBB0035**
冷却ファン(トランス後)
1FN6
2RGTBB0036**
冷却ファン(トランス上)
盤内配線
モジュール1
接続コネクタCN2へ
モジュール4
接続コネクタCN2へ
EGB0080*
or
周辺装置
EGB0080*
or
周辺装置
1FN3
2RGZBB0101**
冷却ファン(ベース背面3)
1FN4
2RGZBB0102**
冷却ファン(ベース背面4)
EGB0016*
EGZBB07*
前工程基板搬送I/F基板 BKT
TRSF P
2EGTBA00
後工程基板搬送I/F基板BKT
 B
EGA0051*
CN27 N27B
H55*
側面カバー左
H53*
CN28
連結コネクタ
(2EGZBB0027*
(前工程のCN28A
CN28 N28B
H56*
側面カバー右
H54*
CN27
連結コネクタ
(2EGZBB0026*
(後工程のCN27A
FG
IO
MEAR
MEPE
VE
BAIT
BAIT
側面カバー左
DEL)
側面カバー右
DER)
4M流用
4M流用
FG
アースBKTへ
4M
4M
Zt2h816k
Zt2h816k
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NAME TYPE
接続図
NFVc
ベース リモートI/O接続
DRAWING No.
FUJI SECRET
2RGZBB000103
ベース制御盤
NT
ベース制御I/F基板1
ベースリモートI/O基板1(メイン)
EGB0030*
ベースリモートI/O基板1(中継)
 PER
EGB0090*
EGB0101*
NBR1
RGB0093*
モジュール1着座確
モジュール2着座確
モジュール3着座確
モジュール4着座確
ベース増設制御盤
BAOX
ベースリモートI/O基板2(メイン)
ベース制御I/F基板2
EGB0033*
ベースリモートI/O基板2(中継)
 PER
EGB0034*
EGB0032*
タイムカウンタ
1LS1
RGTBB0148*
残テープBOX1有りセンサ
1LS3
EGB0035* RGTBB0149*
残テープBOX2有りセンサ
4MⅢc ベース
4MⅢc BASE UNIT
1L
モジュール1引込み確認安全SW
HE SET
EGB0048*
1L
EGB0065*
EGB0066*
1L
1L
EGB0067*
EGB0068*
NBR2
RGB0095*
EGB0104*
モジュール2引込み確認安全SW
HE SET
モジュール3引込み確認安全SW
HE SET
モジュール4引込み確認安全SW
HE SET
4M
4M
Zt2h816k
Zt2h816k
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