NXTIIIC电路图 - 第131页

NAME TYPE 接続図 NFVc T I T L E ベース リモートI/O接続 DRAWING No. 4 8 FUJI SECRET 2R GZB B00 010 3 ベース制 御盤 B A S E C O NT R O L B O X ベース制 御I/F基板1 ベースリ モートI/O基板1( メイン) B A S E C O N T R O L I / F P C B 1 B A S E R E M O T E I / O P…

100%1 / 178
NAME TYPE
接続図
NFVc
制御盤・基板搬送I/F接続
DRAWING No.
FUJI SECRET
2RGZBB000103
8
8
2
ベース制御盤
18
2EGZBB0100**
ベース制御I/F基板1
F B 
パーツ真空ポンプ制御BKT
MPON
パーツ真空ポンプ
AGB0070*
EGB0024*
エアー圧力正常
CK
パーツバキューム圧力正常
AC
1P
1P
2RGTBB0029**
2RGTBB0030**
1FN1
EGB0089* GZBB0099**
冷却ファン(ベース背面1)
1FN2
2RGZBB0100**
冷却ファン(ベース背面2)
N27A
EGB0026*
前工程基板搬送I/F基板
EGZBB0088*
レーン1
レーン2
EGZBB0020*
EGZBB0036*
ベース増設制御盤
ベース制御I/F基板2
F B 
N28A
EGB0027*
後工程基板搬送I/F基板
レーン1
レーン2
EGZBB0022*
EGZBB0110*
4MⅢc ベース
4MⅢc BASE UNIT
2EGZBB0054**
2EGZBB0084**
19
1
19
19
19
RH5733
ース
24
01
00
19
1
19
19
19
RH5734
ース
24
01
00
EGB0094*
1FN5
2RGTBB0035**
冷却ファン(トランス後)
1FN6
2RGTBB0036**
冷却ファン(トランス上)
盤内配線
モジュール1
接続コネクタCN2へ
モジュール4
接続コネクタCN2へ
EGB0080*
or
周辺装置
EGB0080*
or
周辺装置
1FN3
2RGZBB0101**
冷却ファン(ベース背面3)
1FN4
2RGZBB0102**
冷却ファン(ベース背面4)
EGB0016*
EGZBB07*
前工程基板搬送I/F基板 BKT
TRSF P
2EGTBA00
後工程基板搬送I/F基板BKT
 B
EGA0051*
CN27 N27B
H55*
側面カバー左
H53*
CN28
連結コネクタ
(2EGZBB0027*
(前工程のCN28A
CN28 N28B
H56*
側面カバー右
H54*
CN27
連結コネクタ
(2EGZBB0026*
(後工程のCN27A
FG
IO
MEAR
MEPE
VE
BAIT
BAIT
側面カバー左
DEL)
側面カバー右
DER)
4M流用
4M流用
FG
アースBKTへ
4M
4M
Zt2h816k
Zt2h816k
Downloaded at 2017/12/05 11:12:329 by 397B3171 DL#IK62Kg0n
NAME TYPE
接続図
NFVc
ベース リモートI/O接続
DRAWING No.
FUJI SECRET
2RGZBB000103
ベース制御盤
NT
ベース制御I/F基板1
ベースリモートI/O基板1(メイン)
EGB0030*
ベースリモートI/O基板1(中継)
 PER
EGB0090*
EGB0101*
NBR1
RGB0093*
モジュール1着座確
モジュール2着座確
モジュール3着座確
モジュール4着座確
ベース増設制御盤
BAOX
ベースリモートI/O基板2(メイン)
ベース制御I/F基板2
EGB0033*
ベースリモートI/O基板2(中継)
 PER
EGB0034*
EGB0032*
タイムカウンタ
1LS1
RGTBB0148*
残テープBOX1有りセンサ
1LS3
EGB0035* RGTBB0149*
残テープBOX2有りセンサ
4MⅢc ベース
4MⅢc BASE UNIT
1L
モジュール1引込み確認安全SW
HE SET
EGB0048*
1L
EGB0065*
EGB0066*
1L
1L
EGB0067*
EGB0068*
NBR2
RGB0095*
EGB0104*
モジュール2引込み確認安全SW
HE SET
モジュール3引込み確認安全SW
HE SET
モジュール4引込み確認安全SW
HE SET
4M
4M
Zt2h816k
Zt2h816k
Downloaded at 2017/12/05 11:12:329 by 397B3171 DL#IK62Kg0n
NAME TYPE
接続図
NFVc
ベース リモートI/O1接続
DRAWING No.
FUJI SECRET
2RGZBB000103
ベースリモートI/O基板1(中継)
MO(APT
ベースリモートI/O基板1(中継)
 P 1
モジュール1クランプ
モジュール1アンクランプ
モジュール1フロント・リア クランプ
7E
モジュール1フロント・リア アンクランプ
8E
2EGZBB00
モジュール1アンクランプ確認
モジュール1クランプ位置確認
モジュール2クランプ
モジュール2アンクランプ
2EGZBB00
モジュール2フロント・リア クランプ
7E
モジュール2フロント・リア アンクランプ
8E
モジュール2アンクランプ確認
モジュール2クランプ位置確認
モジュール1リア アンクランプ(左
モジュール1リア アンクランプ(右
2EGZBB00
モジュール2リア アンクランプ(左
モジュール2リア アンクランプ(右
モジュール1フロント アンクランプ(左)
モジュール1フロント アンクランプ(右)
2EGZBB00
モジュール2フロント アンクランプ(左)
モジュール2フロント アンクランプ(右)
−M
RGB0027*
−M12
RGB0059*
4MⅢc ベース
4MⅢc BASE UNIT
RGB0065*
RGB0097*
−M
NR
NR
RGB0044*
RE
RE
1 
1 
RE
RE
2 
2 
(L
(R
P(
P(
(L
(R
P(
P(
EGB0102*
EGB0103*
RGB0049*
RGB0050*
Zt2h816k
Zt2h816k
Downloaded at 2017/12/05 11:12:329 by 397B3171 DL#IK62Kg0n