NXTIIIC电路图 - 第131页
NAME TYPE 接続図 NFVc T I T L E ベース リモートI/O接続 DRAWING No. 4 8 FUJI SECRET 2R GZB B00 010 3 ベース制 御盤 B A S E C O NT R O L B O X ベース制 御I/F基板1 ベースリ モートI/O基板1( メイン) B A S E C O N T R O L I / F P C B 1 B A S E R E M O T E I / O P…

NAME TYPE
接続図
NFVc
TITLE
制御盤・基板搬送I/F接続
DRAWING No.
3
8
FUJI SECRET
2RGZBB000103
ADDRESS
8
ADDRESS
8
ADDRESS
2
ベース制御盤
BASE CONTROL BOX
BCBCN18
CN6
CN5
2EGZBB0100**
ベース制御I/F基板1
BASE CONTROL I/F PCB 1
パーツ真空ポンプ制御BKT
PARTS VACCUM PUMP CONTROL BKT
MS1CN1
MS1CN3
MS1CN2 M1M1
パーツ真空ポンプ
PARTS VACCUM PUMP
2AGTBB0070**
2EGZBB0024**
エアー圧力正常
M1PS1
AIR CHECK
パーツバキューム圧力正常
M1PS2
PARTS VACUUM OK
M1PS1
M1PS2
2RGTBB0029**
2RGTBB0030**
M1FAN1
2EGZBB0089** 2RGZBB0099**
冷却ファン(ベース背面1)
CN12
M1
FAN1
M1FAN2
2RGZBB0100**
冷却ファン(ベース背面2)
M1
FAN2
CN27A
2EGZBB0026**
CN3
CN8
前工程基板搬送I/F基板
PREVIOUS PANEL
TRANSFER PCB
2EGZBB0088**
CN−5
SMF
CN−1
SMF
CN−3
SMF
レーン1
LANE1
レーン2
LANE2
LANE1−F
LANE2−F
BCBCN7
CNB
2EGZBB0020**
2EGZBB0036**
ベース増設制御盤
EXTEND BASE CONTROL BOX
ベース制御I/F基板2
BASE CONTROL I/F PCB 2
CN28A
2EGZBB0027**
CN4
CNA
EBCBCN4
後工程基板搬送I/F基板
NEXT PANEL
TRANSFER PCB
CN−1
SMR
レーン1
CN−5
SMR
CN−3
SMR
LANE1
LANE1−R
レーン2
LANE2
LANE2−R
2EGZBB0022**
CN9
2EGZBB0110**
4MⅢc ベース
4MⅢc BASE UNIT
(2EGZBB0054**)
(2EGZBB0084**)
側面カバーOPTION
11
M191
12
M191A
21
M192
22
M192A
RH5733*
ベースより
CN27B
31
+24VM1
32
X018
E1
Y000A
E2
GM
11
M191A
12
M191B
21
M192A
22
M192B
RH5734*
ベースより
CN28B
31
+24VM1
32
X019
E1
Y001A
E2
GM
2EGZBB0094**
CN12
M1FAN5
2RGTBB0035**
冷却ファン(トランス後)
M1
FAN5
M1FAN6
2RGTBB0036**
冷却ファン(トランス上)
M1
FAN6
盤内配線
モジュール1
接続コネクタCN2へ
モジュール4
接続コネクタCN2へ
CN−M2
CN−2
SMR
2EGTBB0080**
or
周辺装置
2EGTBB0080**
or
周辺装置
CN−M1
CN−2
SMF
M1FAN3
2RGZBB0101**
冷却ファン(ベース背面3)
M1
FAN3
M1FAN4
2RGZBB0102**
冷却ファン(ベース背面4)
M1
FAN4
2EGZBB0016**
2EGZBB0017**
トランス OPTION
前工程基板搬送I/F基板 BKT
PREVIOUS PANEL TRANSFER PCB BKT
2EGTBA0050**
後工程基板搬送I/F基板BKT
NEXT PANEL TRANSFER PCB BKT
2EGTBA0051**
CN27A CN27B
RH5735*
側面カバー左
RH5733*
CN28A
連結コネクタ
(2EGZBB0027**)
(前工程のCN28A)
CN28A CN28B
RH5736*
側面カバー右
RH5734*
CN27A
連結コネクタ
(2EGZBB0026**)
(後工程のCN27A)
FG
CN16
COOLING FAN (REAR1)
COOLING FAN (REAR2)
COOLING FAN (REAR3)
COOLING FAN (REAR4)
TRANSFORMER OPTION
COOLING FAN (TRANSFORMER REAR)
COOLING FAN (TRANSFORMER UPPER)
SIDE COVER OPTION
FROM BASE UNIT
FROM BASE UNIT
側面カバー左
SIDE COVER(L)
側面カバー右
SIDE COVER(R)
(4M流用)
(4M流用)
FG
アースBKTへ
(4M流用)
(4M流用)
Zt2h816k
Zt2h816k
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NAME TYPE
接続図
NFVc
TITLE
ベース リモートI/O接続
DRAWING No.
4
8
FUJI SECRET
2RGZBB000103
ベース制御盤
BASE CONTROL BOX
ベース制御I/F基板1
ベースリモートI/O基板1(メイン)
BASE CONTROL I/F PCB 1
BASE REMOTE I/O PCB 1(MAIN)
2EGZBB0030**
BCBCN5 CN2−1
CN2−2 CN1−2
ベースリモートI/O基板1(中継)
BASE REMOTE I/O PCB 1(ADAPTER)
CN3 CNA
2EGZBB0090**
CN17 CN5
2EGZBB0101**
CN7
CNBR1
2RGZBB0093**
モジュール1着座確認
M1LS14
MODULE 1 DOCKING CHECK
モジュール2着座確認
M1LS24
MODULE 2 DOCKING CHECK
モジュール3着座確認
M1LS34
MODULE 3 DOCKING CHECK
モジュール4着座確認
M1LS44
MODULE 4 DOCKING CHECK
ベース増設制御盤
EXTEND BASE CONTROL BOX
ベースリモートI/O基板2(メイン)
ベース制御I/F基板2
BASE REMOTE I/O PCB 2(MAIN)
BASE CONTROL I/F PCB 2
2EGZBB0033**
CN1−1CN2−1EBCBCN14
CN1−2CN2−2
ベースリモートI/O基板2(中継)
BASE REMOTE I/O PCB 2(ADAPTER)
CNACN3
2EGZBB0034**
CN17
CN7
2EGZBB0032**
タイムカウンタ
CN15
TM1
TIME COUNTER
M1LS17
2RGTBB0148**
残テープBOX1有りセンサ
M1LS17
TAPE BOX 1 CHECK
M1LS37
2EGZBB0035** 2RGTBB0149**
残テープBOX2有りセンサ
CN15 M1LS37
TAPE BOX 2 CHECK
4MⅢc ベース
4MⅢc BASE UNIT
1 RX000
2 RY002
3 RY00A
4 RX008
5 RX007
6
7 RX003
8 RX00B
1 RX010
2 RY012
3 RY01A
4 RX018
CN5
5 RX017
6
7 RX013
8 RX01B
M1LS18
モジュール1引込み確認安全SW
M1LS18
MODULE 1 PULL FORWARD CHECK SAFETY SWITCH
M1LS28
M1LS38
M1LS48
2EGZBB0048**
M1LS28
2EGZBB0065**
2EGZBB0066**
M1LS38
M1LS48
2EGZBB0067**
2EGZBB0068**
CNBR2
2RGZBB0095**
2EGZBB0104**
モジュール2引込み確認安全SW
MODULE 2 PULL FORWARD CHECK SAFETY SWITCH
モジュール3引込み確認安全SW
MODULE 3 PULL FORWARD CHECK SAFETY SWITCH
モジュール4引込み確認安全SW
MODULE 4 PULL FORWARD CHECK SAFETY SWITCH
(4M流用)
(4M流用)
Zt2h816k
Zt2h816k
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NAME TYPE
接続図
NFVc
TITLE
ベース リモートI/O1接続
DRAWING No.
5
8
FUJI SECRET
2RGZBB000103
ベースリモートI/O基板1(中継)
BASE REMOTE I/O PCB 1(ADAPTER)
+24VM
RY000
GM
RY001
GM
RY002
GM
RY003
GM
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
+24VM
RX001
+24VM
RX002
GM
1
2
3
4
5
6
+24VM
RY008
GM
RY009
GM
RY00A
GM
RY00B
GM
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
+24VM
RX009
+24VM
RX00A
GM
1
2
3
4
5
6
+24VM
RX005
+24VM
RX00D
1
2
3
4
5
+24VM
RX004
+24VM
RX00C
1
2
3
4
5
ベースリモートI/O基板1(中継)
BASE REMOTE I/O PCB 1(ADAPTER)
INPUT
モジュール1クランプ
M1SOL1E
モジュール1アンクランプ
M1SOL2E
モジュール1フロント・リア クランプ
M1SOL17E
モジュール1フロント・リア アンクランプ
M1SOL18E
CN1
CN2
CN3
CN4
CN6
CN7
2EGZBB0037**
モジュール1アンクランプ確認
M1LS12
モジュール1クランプ位置確認
M1LS13
モジュール2クランプ
M1SOL3E
モジュール2アンクランプ
M1SOL4E
2EGZBB0038**
モジュール2フロント・リア クランプ
M1SOL27E
モジュール2フロント・リア アンクランプ
M1SOL28E
モジュール2アンクランプ確認
M1LS22
モジュール2クランプ位置確認
M1LS23
モジュール1リア アンクランプ(左)
M1LS15A
モジュール1リア アンクランプ(右)
M1LS15B
2EGZBB0091**
モジュール2リア アンクランプ(左)
M1LS25A
モジュール2リア アンクランプ(右)
M1LS25B
モジュール1フロント アンクランプ(左)
M1LS14A
モジュール1フロント アンクランプ(右)
M1LS14B
2EGZBB0040**
モジュール2フロント アンクランプ(左)
M1LS24A
モジュール2フロント アンクランプ(右)
M1LS24B
R−M1
2RGZBB0027**
F−M12
2RGZBB0059**
4MⅢc ベース
4MⅢc BASE UNIT
1 +24VM
2 RX006
3 GM
CN−X
b−3
(RX006)
4
1 +24VM
2 RX00E
CN−X
d−3
(RX00E)
3 GM
4
1 +24VM
2 RX00F
CN−X
d−4
(RX00F)
3 GM
4
1 +24VM
2 +24VM
CN−X
e−4
(予備)
3 GM
4 GM
OUTPUT
1 +24VM
2 RY004
CN−Y
b−1
(RY004)
3 GM
4 GM
1 +24VM
2 RY005
CN−Y
b−2
(RY005)
3 GM
4 GM
1 +24VM
2 RY006
CN−Y
b−3
(RY006)
3 GM
4 GM
1 +24VM
2 RY007
CN−Y
b−4
(RY007)
3 GM
4 GM
OUTPUT
1 +24VM
2 RY00C+
CN−Y
d−1
(RY00C)
3 RY00C−
4 GM
1 +24VM
2 RY00D+
CN−Y
d−2
(RY00D)
3 RY00D−
4 GM
1 +24VM
2 RY00E+
CN−Y
d−3
(RY00E)
3 RY00E−
4 GM
1 +24VM
2 RY00F+
CN−Y
d−4
(RY00F)
3 RY00F−
4 GM
2RGZBB0065**
2RGZBB0097**
R−M2
CNR1
CNR2
2RGZBB0044**
MODULE 1 CLAMP
MODULE 1 UNCLAMP
MODULE 1 FRONT,REAR CLAMP
MODULE 1 FRONT,REAR UNCLAMP
MODULE 1 UNCLAMP CHECK
MODULE 1 CLAMP POSTION CHECK
MODULE 2 CLAMP
MODULE 2 UNCLAMP
MODULE 2 FRONT,REAR CLAMP
MODULE 2 FRONT,REAR UNCLAMP
MODULE 2 UNCLAMP CHECK
MODULE 2 CLAMP POSTION CHECK
MODULE 1 REAR UNCLAMP(L)
MODULE 1 REAR UNCLAMP(R)
MODULE 1 FRONT UNCLAMP(L)
MODULE 1 FRONT UNCLAMP(R)
MODULE 2 REAR UNCLAMP(L)
MODULE 2 REAR UNCLAMP(R)
MODULE 2 FRONT UNCLAMP(L)
MODULE 2 FRONT UNCLAMP(R)
2EGZBB0102**
2EGZBB0103**
2RGZBB0049**
2RGZBB0050**
Zt2h816k
Zt2h816k
Downloaded at 2017/12/05 11:12:329 by 397B3171 DL#IK62Kg0n