NXTIIIC电路图 - 第148页
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ 接続図 ＮＦＶｃ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ リモートＩ／Ｏ接続 ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. ３ １ １ FUJI SECRET 2R GZB E00 010 3 ＣＮ −Ｐ ＬＴ ２ ＲＧ Ｚ Ｐ Ｂ０ ００ １＊ ＊ モジュー ルリモートＩＯ基板（ 中継） モジュール制御Ｉ／Ｆ基板 モジュールリモ ートＩＯ基板（ 中継） フィーダパレッ ト密着確認（右 ） Ｍ Ｏ Ｄ Ｕ Ｌ Ｅ ＲＥ Ｍ Ｏ Ｔ Ｅ Ｉ Ｏ Ｐ Ｃ Ｂ （…
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
モジュール制御盤接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
１１
FUJI SECRET
2RGZBE000103
モジュール制御盤
ＭＯＤＵＬＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
モジュール制御Ｉ／Ｆ基板
ＭＯＤＵＬＥ ＣＯＮＴＲＯＬ Ｉ／Ｆ ＰＣＢ
コネクタ基板
ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ ＰＣＢ
サーボＢＯＸ
ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ
Ｙ軸モータ固定子
Ｙ ＡＸＩＳ ＭＯＴＯＲ ＳＴＡＴＯＲ
２ＥＧＺＢＥ００１０＊＊
ＭＣＢＣＮ１７
Ｊ１
（ＣＯＮＴＲＯＬ）
２ＥＧＺＢＥ００４１＊＊
２ＥＧＺＢＥ００１１＊＊
ＭＣＢＣＮ１５
Ｊ２
（ＰＯＷＥＲ）
２ＥＧＺＢＥ０００６＊＊
ＣＮ１１
ＣＯＮＮＥＣＴ
ＣＮ７
リモートＩＯ基板（メイン）
ＴＯ ＲＥＭＯＴＥ ＩＯ ＰＣＢ（ＭＡＩＮ）
リモートＩＯ基板（中継）
ＴＯ ＲＥＭＯＴＥ ＩＯ ＰＣＢ
（ＡＤＡＰＴＥＲ）
操作パネル
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
ＥＸＣＮ−３
ＣＯＮＮＥＣＴ
ＣＮ５
２ＥＧＺＳＢ００１４＊＊
ＤＣ−Ｉ／Ｏ
（ＰＯＷＥＲ＆ＥＭＧ）
１１・・＋２４ＶＭ４Ａ
１２・・Ｅ９
ＥＸＣＮ−１ ２１・・Ｍ２２６
２ＥＧＺＳＢ００１５＊＊
２２・・Ｍ２２５
ＣＮ３
フロント安全扉ロック
ＦＲＯＮＴ ＳＡＦＥＴＹ ＤＯＯＲ ＬＯＣＫ
３１・・Ｋ３１０８
３２・・Ｘ００３
Ｅ１・・Ｙ００４Ａ
Ｅ２・・ＧＡ
Ｍ２ＦＡＮ１
２ＲＧＺＢＥ００３２＊＊
冷却ファン（下部１）（左）
ＣＯＮＮＥＣＴ
ＣＮ１０
Ｍ２
ＦＡＮ１
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＵＮＤＥＲ １）（Ｌ）
Ｍ２ＦＡＮ４
２ＲＧＺＢＥ００２３＊＊
冷却ファン（上部１）（左）
ＣＯＮＮＥＣＴ
ＣＮ９
Ｍ２
ＦＡＮ４
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＵＰＰＥＲ１）（Ｌ）
画像処理基板
ＶＩＳＩＯＮ ＰＣＢ
ＰＡＲＴＳ ＬＩＧＨＴ
ＴＲＩＧ ＯＵＴ
ＣＮ１６
ＣＮ２０
ＣＮ２１
ＣＮ２２
ＣＮ２４ ＣＮ５
ＣＮ２５ ＣＮ６
ＣＮ４
（ＰＯＷＥＲ）
ＡＤＤＲＥＳＳ
１０
ＣＮ１９
モジュールＣＰＵ−ＢＯＸ
ＭＯＤＵＬＥ ＣＰＵ−ＢＯＸ
バックプレーン
ＢＡＣＫＰＬＡＮＥ
２ＥＧＴＢＣ０１４４＊＊ ２ＥＧＺＢＥ０００９＊＊
ＢＡＣＫＰＬＡＮＥ ＭＣＢＣＮ１６
２ＥＧＴＢＣ０１４５＊＊
冷却ファン（下部）
ＦＡＮ
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＵＮＤＥＲ）
２ＥＧＺＢＥ００２４＊＊
２ＥＧＺＢＥ００３６＊＊
２ＥＧＺＢＥ００４９＊＊
ＡＣ／ＤＣ電源
ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＣＮ２０１ ＣＮ１
ＣＮ２０２
Ｍ２ＦＡＮ２
２ＲＧＺＢＥ００３３＊＊
冷却ファン（下部２）（右）
Ｍ２
ＦＡＮ２
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＵＮＤＥＲ ２）（Ｒ）
Ｍ２ＦＡＮ５
２ＲＧＺＢＥ００２４＊＊
冷却ファン（上部２）（右）
Ｍ２
ＦＡＮ５
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＵＰＰＥＲ２）（Ｒ）
Ｍ６Ⅲｃ モジュール
Ｍ６Ⅲｃ ＭＯＤＵＬＥ ＵＮＩＴ
パーツカメラ光源ユニット（標準）
ＰＡＲＴＳ ＣＡＭＥＲＡ ＬＩＧＨＴ ＵＮＩＴ（ＳＴＡＮＤＡＲＤ）
ＬＥＤ
ＣＮ５
ＣＮ３
ＰＡＲＴＳ ＬＩＧＨＴ
ＣＮ１
光源昇圧電源基板
ＦＨ１６１１＊＊＊
ＣＮ２
ＣＮ４
ＣＮ１
ＣＮ１０
光源落射ＬＥＤドライブ基板
ＦＨ１６１２＊＊＊
ＣＮ２
光源側射ＬＥＤドライブ基板
ＦＨ１６１３＊＊＊
ＣＮ４
ＣＮ１ ＣＮ２
光源制御基板
ＦＨ１６１０＊＊＊
ＣＮ９
ＣＮ５ ＣＮ３
パーツカメラ光源ユニット（ワイド，サイドライト，２５Ｍ）
ＰＡＲＴＳ ＣＡＭＥＲＡ ＬＩＧＨＴ ＵＮＩＴ （ＷＩＤＥ，ＳＩＤＥＬＩＧＨＴ，２５Ｍ）
ＰＡＲＴＳ ＬＩＧＨＴ
パーツカメラ光源基板
ＰＡＲＴＳ ＣＡＭＥＲＡ ＬＩＧＨＴ ＰＣＢ
２ＥＧＴＧＡ００１２＊＊
Ｉ／Ｏ
ＰＷＲ
２ＥＧＴＧＡ００１７＊＊
２ＥＧＴＧＡ００３８＊＊
２ＥＧＴＧＡ００３３＊＊
Ｈ６６５７１
Ｈ６６３１４
Ｈ６６３１３
２ＥＧＴＧＡ００１６＊＊
ＣＯＮＮＥＣＴ
ＣＮ１１
Zt2h816k
Zt2h816k
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ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
リモートＩ／Ｏ接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
３
１１
FUJI SECRET
2RGZBE000103
ＣＮ−ＰＬＴ
２ＲＧＺＰＢ０００１＊＊
モジュールリモートＩＯ基板（中継） モジュール制御Ｉ／Ｆ基板 モジュールリモートＩＯ基板（中継） フィーダパレット密着確認（右）
ＭＯＤＵＬＥ ＲＥＭＯＴＥ ＩＯ ＰＣＢ（ＡＤＡＰＴＥＲ） ＭＯＤＵＬＥ ＣＯＮＴＲＯＬ Ｉ／Ｆ ＰＣＢ ＭＯＤＵＬＥ ＲＥＭＯＴＥ ＩＯ ＰＣＢ（ＡＤＡＰＴＥＲ）
３１ＬＳ１
フィーダパレット密着確認（左）
３１ＬＳ２
１ ＋２４ＶＡＲ
２ ＲＸ０１８
フィーダパレット確認
３ ＧＡ ３１ＬＳ３
４ ＋２４ＶＡＲ
５ ＲＸ０１９
６ ＧＡ
フィーダパレットクランプ確認
７ ＋２４ＶＡＲ ３１ＬＳ６
８ ＲＸ０１Ａ
９ ＧＡ
２ＥＧＺＢＥ００１６＊＊
１０ ＋２４ＶＡＲ
ＣＮ５
フィーダパレットアンクランプ確認
１１ ＲＸ０１Ｂ ３１ＬＳ７
ＣＮ４
１２ ＋２４ＶＡＲ
ＣＮ１
１３ ＲＸ０１Ｃ
１４ ＲＹ０１８
フィーダパレットクランプ
１５ ＧＢ ３１ＳＯＬ１
１６ ＲＹ０１９
１７ ＧＢ
１８ ＦＡＮ３ＡＬ
フィーダパレットアンクランプ
１９ ＋２４ＶＢ１ ３１ＳＯＬ２
２０ ＧＢ
パレット台ファン
Ｍ２
ＦＡＮ３
シグナルタワー
１ ＋２４ＶＡＲ
パーツバキューム圧確認
１ ＋２４ＶＢ３Ｒ
ＳＩＧＮＡＬ ＴＯＷＥＲ
Ｍ２ＰＳ２
２ ＲＸ０１０ ２ ＧＢ
３ ＧＡ ３ ＲＹ０１０
ＣＮ２ ＰＬ１−ＣＮ１
４ ＋２４ＶＡＲ ４ ＲＹ０１１
２ＥＧＺＳＢ００１６＊＊ ２ＥＧＺＫＢ０００２＊＊
５ ＲＸ０１１
エアー圧力確認
５ ＲＹ０１２
Ｍ２ＰＳ１ ＰＬ１
６ ＧＡ ６ ＲＹ０１４＋
ＣＮ６
７ ＲＹ０１４−
８ ＲＹ０１５＋
９ ＲＹ０１５−
１０ ＲＹ０１６＋
１１ ＲＹ０１６−
１ ＋２４ＶＡＲ
ＪＯＦ ＰＳ
２ ＲＸ００７
２ＥＧＺＢＥ００１７＊＊ ２ＲＧＺＣＦ０００２＊＊（ダブル）
３ ＧＡ
ハイブリッドキャリブ吸着確認
ＪＯＦ ＰＳ
ＣＮ７ ４ ＲＹ００６
５ ＧＢ
６ ＲＹ００７
７ ＧＢ
ＪＯＦ ＳＯＬ
２ＲＧＺＣＦ００１０＊＊（ダブル）
１ ＋２４ＶＡＲ
ハイブリッドキャリブ吸着バキュームＯＮ
ＪＯＦ ＳＯＬ１
２ ＧＡ
３ ＲＸ０００
４ ＲＸ００１
５ ＲＸ００２
ハイブリッドキャリブ吸着バキュームＯＦＦ
ＪＯＦ ＳＯＬ２
６ ＲＸ００３
７ ＲＸ００４
８ ＲＸ００５
９ ＋２４ＶＡＲ
１０ ＲＸ００６
１１ ＲＹ０００
１２ ＧＢ
ＣＮ３
１３ ＲＹ００１
１４ ＧＢ
１５ ＲＹ００２
１６ ＧＢ
１７ ＲＹ００３
１８ ＧＢ
１９ ＲＹ００４ １ ＋２４ＶＡＲ
２０ ＧＢ ２ ＲＸ００８
（ＯＰＴＩＯＮ）レーン１基板バキューム圧確認
２１ ＲＹ００５ ３ ＧＡ
２２ ＧＢ ４ ＋２４ＶＡＲ
（ＯＰＴＩＯＮ）レーン２基板バキューム圧確認
２３ ＋２４ＶＡ１ ５ ＲＸ００９
２４ Ｘ００Ｄ ６ ＧＡ
７ ＲＹ００８
（ＯＰＴＩＯＮ）レーン１側基板吸着バキュームＯＮ
８ ＧＢ
ＣＮ８
９ ＲＹ００９
（ＯＰＴＩＯＮ）レーン１側基板吸着バキュームＯＦＦ
１０ ＧＢ
１１ ＲＹ００Ａ
（ＯＰＴＩＯＮ）レーン２側基板吸着バキュームＯＮ
１２ ＧＢ
１３ ＲＹ００Ｂ
（ＯＰＴＩＯＮ）レーン２側基板吸着バキュームＯＦＦ
１４ ＧＢ
ＴＡＰＥ ＣＵＴＴＥＲ
２ＲＧＴＰＬ０００１＊＊
残テープカッター動作端確認
３１ＬＳ１０
１ ＋２４ＶＡＲ
２ ＲＸ００Ａ
２ＥＧＺＢＥ００１８＊＊
３ ＧＡ １ ＋２４ＶＡＲ
部品廃棄ＢＯＸ着座確認
２ＥＧＺＢＥ００１５＊＊ Ｍ２ＬＳ７
４ ＋２４ＶＡ１Ｃ
残テープカッター原位置確認
ＣＮ９ ２ ＲＸ０１４
ＣＮ４ ３１ＬＳ１１
５ ＲＸ００Ｂ ３ ＧＡ
６ ＧＡ
７ Ｙ００８Ｂ
８ ＧＢ
残テープカッター動作指示
３１ＳＯＬ３
１ ＋２４ＶＡＲ
２ ＲＸ００Ｃ
３ ＲＸ００Ｄ
４ ＲＸ００Ｅ
５ ＲＸ０１２
６ ＲＸ０１３
７ Ｙ００８Ｂ
８ ＋２４ＶＡ１Ｃ
９ ＦＡＮ３ＡＬ
１０ ＋２４ＶＢ１
１１ ＋２４ＶＢ６Ｂ
１２ ＋２４ＶＡ１
１３ Ｘ００Ｄ
１４ ＲＸ０１６
１５ ＲＸ０１７
１６ ＲＸ０１Ｄ
１７ ＲＸ０１Ｅ
１８ ＲＸ０１Ｆ
１９ ＮＣ
２０ ＮＣ
２ＥＧＺＢＥ００１３＊＊
Ｍ６Ⅲｃ モジュール
Ｍ６Ⅲｃ ＭＯＤＵＬＥ ＵＮＩＴ
イオナイザー（カバーテープ）（IIIＣのみ）
ＩＮＺ ＴＡＰＥ
ＡＤＤＲＥＳＳ
４
２ＥＧＺＰＢ０００３＊＊
２ＲＧＴＢＥ００４２＊＊
ＮＺＣＨＮ
２ＥＧＺＢＥ００５５＊＊
ノズルチェンジャーユニット（標準）
ノズルチェンジャー上昇端１センサ
ノズルチェンジャー上昇端２センサ
ＮＺＣＮ１
ノズルチェンジャー下降端センサ
ノズルチェンジャーテーブルシャッター閉確認センサ
ノズルチェンジャーテーブルシャッター開確認センサ
ノズルチェンジャー接続確認
ＣＮ２
ＲＨ０３０２＊
ノズルチェンジャー着座確認
２５ＬＳ６
ノズルチェンジャー上昇１
３Ａ ２５ＳＯＬ１
ノズルチェンジャー下降１
３Ｂ ２５ＳＯＬ２
ノズルチェンジャー上昇２
２Ａ ２５ＳＯＬ３
ノズルチェンジャー下降２
２Ｂ ２５ＳＯＬ４
ノズルチェンジャーテーブルシャッター開
１Ａ ２５ＳＯＬ５
ノズルチェンジャーテーブルシャッター閉
１Ｂ ２５ＳＯＬ６
ノズルチェンジャーユニット（トレイＬＴ，ＬＴＣ）
ノズルチェンジャー上昇端１センサ
ノズルチェンジャー上昇端２センサ
ＮＺＣＮ１
ノズルチェンジャー下降端センサ
ノズルチェンジャーテーブルシャッター閉確認センサ
ノズルチェンジャーテーブルシャッター開確認センサ
ノズルチェンジャー接続確認
ノズルチェンジャー着座確認
２５ＬＳ６
ノズルチェンジャー上昇１
３Ａ ２５ＳＯＬ１
ノズルチェンジャー下降１
３Ｂ ２５ＳＯＬ２
ノズルチェンジャー上昇２
２Ａ ２５ＳＯＬ３
ノズルチェンジャー下降２
２Ｂ ２５ＳＯＬ４
ノズルチェンジャーテーブルシャッター開
１Ａ ２５ＳＯＬ５
ノズルチェンジャーテーブルシャッター閉
１Ｂ ２５ＳＯＬ６
２ＥＧＴＢＥ０１２３＊＊（標準）
２ＥＧＸＭＹ０００１＊＊（トレイＬＴ，ＬＴＣ）
２ＲＧＺＣＥ０００８＊＊（シングル）
２ＲＧＺＣＥ０００９＊＊（シングル）
オートツールステーション（標準）
（２ＥＧＹＢＡ０３７９＊＊）
部品廃棄ＢＯＸ着座確認
Ｍ２ＬＳ７
(ＮＧ ＥＪＥＣＴ ＢＯＸ）
Zt2h816k
Zt2h816k
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ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
リモートＩ／Ｏ接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
４
１１
FUJI SECRET
2RGZBE000103
モジュールリモートＩＯ基板（中継） モジュールリモートＩＯ基板（中継）
ＭＯＤＵＬＥ ＲＥＭＯＴＥ ＩＯ ＰＣＢ（ＡＤＡＰＴＥＲ） ＭＯＤＵＬＥ ＲＥＭＯＴＥ ＩＯ ＰＣＢ（ＡＤＡＰＴＥＲ）
１ ＋２４ＶＡＲ
フィーダ誤挿入検知センサ（左）
３２ＬＳ１
２ ＲＸ０１５Ａ
２ＥＧＺＢＥ００４５＊＊
３ ＧＡ
ＣＮ１０
４ ＋２４ＶＡＲ
５ ＲＸ０１５Ｂ
フィーダ誤挿入検知センサ（右）
３２ＬＳ２
６ ＧＡ
１ ＋２４ＶＡＲ
２ ＲＸ０２８
３ ＋２４ＶＡＲ
４ ＲＸ０２９
５ ＋２４ＶＡＲ
６ ＲＸ０２Ａ
ＣＮ１１ ７ ＋２４ＶＡＲ
８ ＲＸ０２Ｂ
９ ＲＹ０１Ａ
１０ ＧＢ
１１ ＲＹ０１Ｂ
１２ ＧＢ
２ＥＧＺＢＥ００２１＊＊
ＤＵＳＴＳＯＬ
ＲＥＳＥＲＶＥ（集塵エアブローＯＮ）
イオナイザーＯＮ（カバーテープ）（IIIＣのみ）
ＩＮＺＳＯＬ
２ＥＧＺＢＥ００１６＊＊
イオナイザー（カバーテープ）（IIIＣのみ）
（ＯＰＴＩＯＮ）イオナイザー（フィーダ１）
ＩＮＺＴＯＰ１
２ＥＧＴＢＥ００６８＊＊
２ＥＧＴＹＡ０００２＊＊
Ｍ２ＳＯＬ３
ブラッシングユニットＯＮ
２ＥＧＴＢＥ００００＊＊
？？ＢＺ１
ブザーＯＮ
トヨタ自動車特殊対応
予備電源
予備入力
１ ＲＹ０１Ｃ
ＣＮ１２
２ ＧＢ
１ ＲＹ０１Ｅ
２ ＧＢ
３ ＋２４ＶＢ６Ｂ
ＣＮ１３
４ ＧＢ
５ ＲＹ０１Ｅ
６ ＲＸ０２ＣＡ
１ ＋２４ＶＢ６Ｂ
２ ＧＢ
３ ＲＹ０１Ｃ
４ ＲＸ０２ＤＡ
ＣＮ１４
５ ＋２４ＶＢ６Ｂ
６ ＧＢ
７ ＲＹ０１Ｃ
８ ＲＸ０２ＥＡ
１ ＲＹ０１Ｄ
ＣＮ１５
２ ＧＢ
１ ＋２４ＶＢ３Ｒ
ＣＮ１６ ２ ＲＹ０１３
３ ＧＢ
１ ＋２４ＶＡＲ
ＣＮ１７
２ ＲＸ０２Ｆ
１ ＋２４ＶＡＲ
２ ＧＡ
３ ＋２４ＶＡＲ
ＣＮ１８
４ ＧＡ
５ ＋２４ＶＡＲ
６ ＧＡ
１ ＋２４ＶＡＲ
ＣＮ１９ ２ ＲＸ００Ｆ
３ ＧＡ
（ＯＰＴＩＯＮ）イオナイザー（フィーダ２）
ＩＮＺＴＯＰ２
１ ＋２４ＶＡＲ
２ ＲＸ０２０
３ ＧＡ
４ ＋２４ＶＡＲ
５ ＲＸ０２１
６ ＧＡ
７ ＋２４ＶＡＲ
８ ＲＸ０２２
９ ＧＡ
１０ ＋２４ＶＡＲ
１１ ＲＸ０２３
１２ ＧＡ
ＣＮ２０
１３ ＋２４ＶＡＲ
１４ ＲＸ０２４
１５ ＧＡ
１６ ＋２４ＶＡＲ
１７ ＲＸ０２５
１８ ＧＡ
１９ ＋２４ＶＡＲ
２０ ＲＸ０２６
２１ ＧＡ
２２ ＋２４ＶＡＲ
２３ ＲＸ０２７
２４ ＧＡ
１ ＋２４ＶＢ３Ｒ
２ ＲＹ０２０
３ ＧＢ
４ ＋２４ＶＢ３Ｒ
５ ＲＹ０２１
６ ＧＡ
７ ＋２４ＶＢ３Ｒ
８ ＲＹ０２２
９ ＧＡ
１０ ＋２４ＶＢ３Ｒ
１１ ＲＹ０２３
１２ ＧＡ
ＣＮ２１
１３ ＋２４ＶＢ３Ｒ
１４ ＲＹ０２４
１５ ＧＡ
１６ ＋２４ＶＢ３Ｒ
１７ ＲＹ０２５
１８ ＧＡ
１９ ＋２４ＶＢ３Ｒ
２０ ＲＹ０２６
２１ ＧＡ
２２ ＋２４ＶＢ３Ｒ
２３ ＲＹ０２７
２４ ＧＡ
１ ＋２４ＶＡＲ
２ ＲＸ０３０
３ ＧＡ
４ ＋２４ＶＡＲ
５ ＲＸ０３１
６ ＧＡ
７ ＋２４ＶＡＲ
８ ＲＸ０３２
９ ＧＡ
１０ ＋２４ＶＡＲ
１１ ＲＸ０３３
１２ ＧＡ
ＣＮ２２
１３ ＋２４ＶＡＲ
１４ ＲＸ０３４
１５ ＧＡ
１６ ＋２４ＶＡＲ
１７ ＲＸ０３５
１８ ＧＡ
１９ ＋２４ＶＡＲ
２０ ＲＸ０３６
２１ ＧＡ
２２ ＋２４ＶＡＲ
２３ ＲＸ０３７
２４ ＧＡ
１ ＋２４ＶＢ３Ｒ
２ ＲＹ００Ｃ
３ ＧＢ
４ ＋２４ＶＢ３Ｒ
５ ＲＹ００Ｄ
６ ＧＢ
７ ＋２４ＶＢ３Ｒ
８ ＲＹ００Ｅ
９ ＧＢ
１０ ＋２４ＶＢ３Ｒ
１１ ＲＹ００Ｆ
１２ ＧＢ
ＣＮ２３
１３ ＋２４ＶＢ３Ｒ
１４ ＲＹ０１７＋
１５ ＲＹ０１７−
１６ ＧＢ
１７ ＋２４ＶＢ３Ｒ
１８ ＲＹ０１Ｆ
１９ ＧＢ
２０
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
（ＯＰＴＩＯＮ）
（ＯＰＴＩＯＮ）
３２ＬＳ１
２ＲＧＺＢＥ００１５＊＊
Ｍ６Ⅲｃ モジュール
Ｍ６Ⅲｃ ＭＯＤＵＬＥ ＵＮＩＴ
３２ＬＳ２
２ＲＧＺＢＥ００１６＊＊
ＡＤＤＲＥＳＳ
３
ＮＺＳＴ２−１
２ＲＧＴＭＲ０００１＊＊
２６ＬＳ１
ノズルチェンジャー２テーブルシャッター閉確認
２６ＬＳ２
ノズルチェンジャー２テーブルシャッター開確認
２６ＬＳ３
ノズルチェンジャー２上昇端確認
２６ＬＳ４
ノズルチェンジャー２下降端確認
２ＥＧＴＭＲ０００１＊＊
２６ＬＳ５
ノズルチェンジャー２着座確認
２ＥＧＺＢＥ００５３＊＊
ＮＺＳＴ２−２
２ＲＧＴＭＲ０００７＊＊
２６ＬＳ６
ノズルチェンジャー２前進端確認
２６ＬＳ７
ノズルチェンジャー２後退端確認
ノズルチェンジャー２接続確認
２６ＳＯＬ１
ノズルチェンジャー２テーブルシャッター閉
２６ＳＯＬ２
ノズルチェンジャー２テーブルシャッター開
２６ＳＯＬ３
ノズルチェンジャー２上昇
２６ＳＯＬ４
ノズルチェンジャー２下降
２６ＳＯＬ５
ノズルチェンジャー２前進
２６ＳＯＬ６
ノズルチェンジャー２後退
２ＡＧＹＢＡ００５３＊＊（標準）
ＡＵＴＯ ＴＯＯＬ ＳＴ．ＣＮ１
２ＡＧＸＭＹ０００１＊＊（トレイＬＴ，ＬＴＣ）
２８ＬＳ１
オートツールステーション上昇端確認
２８ＬＳ２
オートツールステーション下降端確認
２８ＬＳ３
オートツールステーションシャッター閉確認
２８ＬＳ４
オートツールステーションシャッター開確認
２ＥＧＺＢＥ００５４＊＊
２ＡＧＹＢＡ００８７＊＊（標準）
ＡＵＴＯ ＴＯＯＬ ＳＴ．ＣＮ３
２ＡＧＸＭＹ０００２＊＊（トレイＬＴ，ＬＴＣ）
２８ＳＯＬ１
オートツールステーション上昇
２８ＳＯＬ２
オートツールステーション下降
２８ＳＯＬ３
オートツールステーションシャッター閉
２８ＳＯＬ４
オートツールステーションシャッター開
オートツールステーション有確認
Zt2h816k
Zt2h816k
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