NXTIIIC电路图 - 第30页
1 1 0 1 1 1 0 2 1 1 0 3 1 1 0 4 1 1 0 5 1 1 0 6 1 1 0 7 1 1 0 8 1 1 0 9 1 1 1 0 1 1 1 1 1 1 1 2 1 1 1 3 1 1 1 4 1 1 1 5 1 1 1 6 1 1 1 7 1 1 1 8 1 1 1 9 1 1 2 0 1 1 2 1 1 1 2 2 1 1 2 3 1 1 2 4 1 1 2 5 1 1 2 6 1 1 2 7 1 1 …

10 01
10 02
10 03
10 04
10 05
10 06
10 07
10 08
10 09
10 10
10 11
10 12
10 13
10 14
10 15
10 16
10 17
10 18
10 19
10 20
10 21
10 22
10 23
10 24
10 25
10 26
10 27
10 28
10 29
10 30
10 31
10 32
10 33
10 34
10 35
10 36
10 37
10 38
10 39
10 40
10 41
10 42
10 43
10 44
10 45
NAME PAGE
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
19
10
TITLE TYPE
機械間I/F
INTERFACE BETWEEN MACHINES
NXTⅢc
DRAWING No.
1
2
FUJI SECRET
2RGZBB008500
ADDRESS
508
レーン1基板搬送コネクタ(前工程)
L1SMM1
前工程への送れ信号(出力)
PANEL REQ1
L1SMM2
L1SMM3
前工程からの基板あり信号(入力)
PANEL REQ1
L1SMM4
UNUSED
UNUSED
L1SMM11
前工程からの基板確認信号(入力)
PANEL REQ1
L1SMM12
RESERVE
RESERVE
RESERVE
RESERVE
RESERVE
RESERVE
L1SMM9
L1SMM10
L1SMM11/13
L1SMM12/14
L1SMM15
L1SMM16
L1SMM17
L1SMM18
L1SMM19
L1SMM20
CNAL1
-1
-2
-3
-4
-5
-6
-7
-8
-9
-10
-11
-12
-13
-14
CN-CVIF-F
-1
-2
-3
-4
-5
-6
-7
-8
-9
-10
RS-485
+
-
R-
SHIELD
B3/A3
B4/A4
B3/A3
B4/A4
追従許可信号
FOLLOW PERMIT
SMM1/SMM5
SMM2/SMM6
SMM3/SMM7
SMM4/SMM8
SMM11/SMM13
SMM12/SMM14
SMM13/SMM11
SMM14/SMM12
SMM1/SMM5
SMM2/SMM6
SMM3/SMM7
SMM4/SMM8
SMM11/SMM13
SMM12/SMM14
SMM13/SMM11
SMM14/SMM12
前工程基板搬送I/F基板
RS-485
+
-
SHIELD
FG
ベースコントロールボックス1
+24VM6+24VA
BASE CONTROL BOX 1
GMGA
AD00
アドレス設定”0”電源
+24VA
POWER
X012
AD01
インターフェース基板1
X013AD02
INTERFACE BOARD
X014
AD03
レーン2基板搬送コネクタ(前工程)
L2SMM1
前工程への送れ信号(出力)
PANEL REQ1
L2SMM2
L2SMM3
前工程からの基板あり信号(入力)
PANEL REQ1
L2SMM4
UNUSED
UNUSED
L2SMM11
前工程からの基板確認信号(入力)
PANEL REQ1
L2SMM12
RESERVE
RESERVE
RESERVE
RESERVE
RESERVE
RESERVE
L2SMM9
L2SMM10
L2SMM11/13
L2SMM12/14
L2SMM15
L2SMM16
L2SMM17
L2SMM18
L2SMM19
L2SMM20
CNAL2
-1
-2
-3
-4
-5
-6
-7
-8
-9
-10
-11
-12
-13
-14
CN-CVIF-F
-11
-12
-13
-14
-15
-16
-17
-18
-19
-20
LANE2 PANEL TRANSFER CONNECTOR(IN)
LANE1 PANEL TRANSFER CONNECTOR(IN)
CN2
-1
-2
-3
-4
CN4
-1
-2
-3
-4
-5
-6
-7
CN5
-1
-2
-3
-4
-5
-6
-7
-8
-9
-10
-11
-12
-13
-14
-15
-16
-17
-18
-19
-20
-21
-22
CN1
-1
-2
-3
CN3
-1
-2
-3
-4
-5
-6
-7
-8
LANE1 PANEL TRANSFER CONNECTOR(OUT)
レーン1基板搬送コネクタ(後工程)
レーン2基板搬送コネクタ(後工程)
LANE2 PANEL TRANSFER CONNECTOR(OUT)
CN-M1
-1A
-1B
-2A
-2B
前工程インタフェース
PREVIOUS INTERFACE
-3A
-3B
-4A
-4B
-5A
-5B
-1C
-1D
-2C
-2D
-4C
-4D
-5C
-5D
PREVIOUS PANEL TRANSFER I/F BOARD
モジュール1
インタフェース
MODULE1 INTERFACE
-3D
-3C
Address setting "0"
FUJI仕様
FUJI Standard
前工程側
Previous side
レーン1 レーン2
LANE1 LANE2
ピンNo. 送れ出力 送れ出力
Pin No.
Send output Send output
1 L1SMM1 L2SMM1
2 L1SMM2 L2SMM2
コネクタ
STAK2
(Hirschmann)
STAK2
(Hirschmann)
Connector
CABLE:0.3m㎡ CABLE:0.3m㎡
注)FUJI仕様はCNAL1、CNAL2 に延長ハーネスを追加しての対応となります。
Notes)FUJI Standard serve as correspondence which adds extended harness to CNAL1 and CNAL2.
RY2,5は後工程時ONします
RY 2 and 5 is turned on at the time of a back process.
RY2 RY1
RY3
+24V
0V
RY5 RY4
RY6
+24V
0V
CN2
CN8
+24VM1
-1
INTERFACE BOARD 1
インタフェース基板1
X010
-2
A9
-3
A10
-4
A5
-5
A6
-6
M1003
-7
M1004
-8
-9
-10
-11
-12
Zt2h816k
Zt2h816k
Downloaded at 2017/12/05 11:12:329 by 397B3171 DL#IK62Kg0n

11 01
11 02
11 03
11 04
11 05
11 06
11 07
11 08
11 09
11 10
11 11
11 12
11 13
11 14
11 15
11 16
11 17
11 18
11 19
11 20
11 21
11 22
11 23
11 24
11 25
11 26
11 27
11 28
11 29
11 30
11 31
11 32
11 33
11 34
11 35
11 36
11 37
11 38
11 39
11 40
11 41
11 42
11 43
11 44
11 45
NAME PAGE
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
19
11
TITLE TYPE
機械間I/F
INTERFACE BETWEEN MACHINES
NXTⅢc
DRAWING No.
2
2
FUJI SECRET
2RGZBB008500
ADDRESS
513
レーン1基板搬送コネクタ(後工程)
CNBL1
L1SMM5
-1
後工程からの送れ信号(入力)
L1SMM6
PANEL REQ1
-2
L1SMM7
-3
後工程への基板あり信号(出力)
L1SMM8
PANEL REQ1
-4CN-CVIF-R
UNUSED
-1 -5
UNUSED
-2 -6
L1SMM13
後工程への基板確認信号(出力)
-3 -7
L1SMM14
PANEL REQ1
-4 -8
RESERVE
-5 -9
RESERVE
-6 -10
RESERVE
-7 -11
RESERVE
-8 -12
RESERVE
-9 -13
RESERVE
-10 -14
L1SMM9
L1SMM10
L1SMM11/13
L1SMM12/14
L1SMM15
L1SMM16
L1SMM17
L1SMM18
L1SMM19
L1SMM20
LANE1 PANEL TRANSFER CONNECTOR(OUT)
レーン2基板搬送コネクタ(後工程)
LANE2 PANEL TRANSFER ONNECTOR(OUT)
CNBL2
L2SMM5
後工程からの送れ信号(入力)
-1
L2SMM6
PANEL REQ1
-2
L2SMM7
後工程への基板あり信号(出力)
-3
L2SMM8
PANEL REQ1
CN-CVIF-R -4
L2SMM9
UNUSED
-11 -5
L2SMM10
UNUSED
-12 -6
L2SMM11/13 L2SMM13
後工程への基板確認信号(出力)
-13 -7
L2SMM12/14 L2SMM14
PANEL REQ1
-14 -8
L2SMM15
RESERVE
-15 -9
L2SMM16
RESERVE
-16 -10
L2SMM17
RESERVE
-17 -11
L2SMM18
RESERVE
-18 -12
L2SMM19
RESERVE
-19 -13
L2SMM20
RESERVE
-20 -14
CN-M2
-4C
-4D
-3D
-5D
後工程インタフェース
NEXT INTERFACE
-1A
-1B
-2A
-2B
-3A
-3B
-4A
-4B
-5A
-5B
-1C
-1D
-2C
-2D
後工程基板搬送I/F基板
CN2
RS-485RS-485
CN1
++
-1-1
--
-2-2
R-SHIELD
-3-3
SHIELD
-4
FG
CN4CN3
ベースコントロールボックス1
B3/A3+24VA+24VM6
-1-1
BASE CONTROL BOX 1
B4/A4GAGM
-2-2
B3/A3
-3-3
B4/A4AD00
追従許可信号
-4
電源
-4
アドレス設定”F”
FOLLOW PERMIT
+24VA
POWER
-5-5
AD01
-6-6
AD02
-7-7
AD03
-8
CN5
SMM1/SMM5
-1
SMM2/SMM6
-2
SMM3/SMM7
-3
SMM4/SMM8
-4
SMM11/SMM13
-5
SMM12/SMM14
-6
SMM13/SMM11
-7
SMM14/SMM12
-8
-9
-10
SMM1/SMM5
-11
SMM2/SMM6
-12
SMM3/SMM7
-13
SMM4/SMM8
-14
SMM11/SMM13
-15
SMM12/SMM14
-16
SMM13/SMM11
-17
SMM14/SMM12
-18
-19
-20
-21
-22
レーン1基板搬送コネクタ(前工程)
LANE1 PANEL TRANSFER CONNECTOR(IN)
レーン2基板搬送コネクタ(前工程)
LANE2 PANEL TRANSFER CONNECTOR(IN)
NEXT PANEL TRANSFER I/F BOARD
モジュールn
インタフェース
MODULEn INTERFACE
-5C
-3C
Address setting "F"
FUJI仕様
FUJI Standard
後工程側
Next side
レーン1 レーン2
LANE1 LANE2
ピンNo. 送れ入力 送れ入力
Pin No.
Send input Send input
1 L1SMM5 L2SMM5
2 L1SMM6 L2SMM6
コネクタ
STAS2
STASI2
(Hirschmann)
STAS2
STASI2
(Hirschmann)
Connector
CABLE:0.3m㎡ CABLE:0.3m㎡
注)FUJI仕様はCNBL1、CNBL2 に延長ハーネスを追加しての対応となります。
Notes)FUJI Standard serve as correspondence which adds extended harness to CNBL1 and CNBL2.
RY2,5は後工程時ONします
RY 2 and 5 is turned on at the time of a back process.
RY2RY1
RY3
+24V
0V
RY5RY4
RY6
+24V
0V
インタフェース基板1(2)
INTERFACE BOARD 1(2)
CN9
A11
-1
A12
-2
B9
-3
X011
-4
M1011
-5
M1012
-6
A7
-7
A8
-8
-9
-10
-11
-12
4Mc2Mc
Zt2h816k
Zt2h816k
Downloaded at 2017/12/05 11:12:329 by 397B3171 DL#IK62Kg0n

12 01
12 02
12 03
12 04
12 05
12 06
12 07
12 08
12 09
12 10
12 11
12 12
12 13
12 14
12 15
12 16
12 17
12 18
12 19
12 20
12 21
12 22
12 23
12 24
12 25
12 26
12 27
12 28
12 29
12 30
12 31
12 32
12 33
12 34
12 35
12 36
12 37
12 38
12 39
12 40
12 41
12 42
12 43
12 44
12 45
NAME PAGE
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
19
12
TITLE TYPE
モジュールI/F
MODULE INTERFACE
NXTⅢc
DRAWING No.
1
2
FUJI SECRET
2RGZBB008600
-A1
CN2
-A2
-A3
-A4
-A5
-A6
-A7
-A8
-A9
-A10
-B1
-B2
-B3
-B4
-B5
-B6
-B7
-B8
-B9
-B10
-C1
-C2
-D1
-D2
-C5
-C6
-C3
-C4
-D3
-D4
-D5
-D6
-E1
-E2
-E3
-E4
-E5
-E6
-E8
-E9
-D10
-E10
-E7
-C7
-C8
-D7
-C9
-C10
モジュール1
MODULE 1
前工程基板搬送I/F基板
PREVIOUS PANEL TRANSFER I/F BOARD
CN1
+
-
SHIELD
+
-
E1
E2
M256
E7
M175
X016
X017
X018
X019
+24VA1
+24VM4A
GM
E9
M271
+24VM1
M1101
X005
X006
X007
GA
M650
M272
OPTOB
+
-
SHIELD
+
-
CN2
-A1
-A2
-A3
-A4
-A5
-A6
-A7
-A8
-A9
-A10
-B1
-B2
-B3
-B4
-B5
-B6
-B7
-B8
-B9
-B10
-C1
-C2
-D1
-D2
-C5
-C6
-C3
-C4
-D3
-D4
-D5
-D6
-E1
-E2
-E3
-E4
-E5
-E6
-E8
-E9
-D10
-E10
-E7
+
-C7
-
-C8
SHIELD
-D7
モジュール3インタフェース
+
MODULE3 INTERFACE
-C9
-
CN1
-C10
E1
E2
M256
E7
M175
X016
X017
X018
X019
+24VA1
+24VM4A
GM
E9
M271
+24VM1
M1101
モジュール2
MODULE 2
X005
X006
X007
GA
M650
M272
OPTOB
+
-
SHIELD
+
-
CN10
+24VM4C
-1
M1001
-2
-3
-4
-5
-6
-7
-8
-9
-10
-11
-12
M175
-13
H1
-14
H2
-15
H3
-16
H4
-17
H5
-18
+24VM4A
-19
GM
-20
M191
-21
F33
-22
+24VM1
-23
M1101
-24
-25
-26
INTERFACE BOARD 1
インタフェース基板1
CN11
M1008
-1
M1009
-2
-3
-4
-5
-6
-7
-8
-9
-10
-11
-12
M175
-13
H6
-14
H7
-15
H8
-16
H9
-17
H10
-18
+24VM4B
-19
GM
-20
M192
-21
F34
-22
+24VM1
-23
M1102
-24
-25
-26
INTERFACE BOARD 1
インタフェース基板1
CX002 CX002
CX00A CX00A
CY002 CY002
CY007 CY007
CY002
CY007
CX002
CX00A
CY002
CY007
CX002
CX00A
RY008
RY008A
RY008
RY008A
M1234
M1235
M1238
M1239
-27
M1001
-28
M1002
-29
M1015
-30
M1016
-D8
-D9
M226
M225
M228
M221
-27
M1010
-28
M1017
-29
M1018
-30
M1009
-D8
-D9
M221
M226
M225
M228
Zt2h816k
Zt2h816k
Downloaded at 2017/12/05 11:12:329 by 397B3171 DL#IK62Kg0n