NXTIIIC电路图 - 第79页

NAME T I T L E DRAWING No. 部品配置図 PARTS ARRANGEMENT 2 RG TB B0 13 90 1 バキュームポンプコントロールボックス VACUUM PUMP CONTROL BOX TYPE NXTⅢ 1 1 FUJI SECRET BKT(2AGTBB0018**) For 4 M,4Mc 部 品 名 記 号 No. P A R T S N A M E S Y M B O L インバータ M…

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NAME
DRAWING No.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB013800
ベースコントロールボックス2
BASE CONTROL BOX 2
TYPE
NXTⅢ
FUJI SECRET
    I/F BOARD1
     
     
     
 
 
 
CN21 CN22 CNA:I/F基板1
CNB
Zt2h816k
Zt2h816k
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NAME
DRAWING No.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB013901
バキュームポンプコントロールボックス
VACUUM PUMP CONTROL BOX
TYPE
NXTⅢ
FUJI SECRET
BKT(2AGTBB0018**) For 4M,4Mc
部 品 名 記 号
No.
 
インバータ
MS1/2/3 CN3
MS1/2/3 CN2
MS1/2/3 CN1
BASE CONTROL BOX 1
MS1/2/3 CN1
R101
S101
T101
PARTS VACUUM PUMP
MS1/2/3 CN2
M1U1
M1V1
M1W1
HIELD
INTERFACE BOARD
MS1/2/3 CN3
24VM1
X008(X00B
Y006(Y007
GM
10 HIELD
ベースコントロールボックス1より
パーツバキュームポンプへ
インターフェース基板より
BKT(2AGTBA0008**) For 2M,2Mc
Zt2h816k
Zt2h816k
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NAME
DRAWING No.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB014001
ベースCPUボックス
BASE CPU BOX
TYPE
NXTⅢ
FUJI SECRET
BOXコントロール(2AGTBA0010**)
BOX CONTROL(2AGTBA0010**)
部 品 名 記 号 品 目
No.
 
ITEM
筐体
2EGTBA0076**
DC電源
2EGTBC0118**
   
2EGTBC0302**
 
2EGTBA0083**
 
4M:X64~、2M:X30~
4Mc:X19~、2Mc:X16
Zt2h816k
Zt2h816k
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