操作手册 - 第113页
CM602-L 操作手册 4.2 基板识别示教 Page 4-7 10. 按操作面板的 + [ 次识别位置 ] 。 • 移向下一基板识别标记 位置，自动进行识别动 作。 11. 按 [ 完成 ] 。 • 自动保存数据。 ∗ 在基板识别上选择 [ABC 点 ] 、 [ABCD 点 ] 时， 请 重复步骤 10. ~ 11. ，同时对 C 点· D 点进行示 教。 12. 按操作面板的 + [ 识别测试 ] 。 • 确认识别动作是否正常 。…
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操作手册
4.2
基板识别示教
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5.
按
[
基板识别
]
。
•
<
基板识别
>
画面将被显示。
6.
将基板设置在基板搬入口。
7.
选择工作台
1,2
。
•
在工作台
1,2
上设定的结果也会反映到工作台
3,4
中。
8.
按操作面板的
+ [
示教开始
]
。
•
搬入基板。
•
自动进行识别动作。
•
自动保存数据。
9.
按
[
完成
]
。
•
自动保存数据。
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4.2
基板识别示教
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10.
按操作面板的
+ [
次识别位置
]
。
•
移向下一基板识别标记位置，自动进行识别动
作。
11.
按
[
完成
]
。
•
自动保存数据。
∗
在基板识别上选择
[ABC
点
]
、
[ABCD
点
]
时，请
重复步骤
10. ~ 11.
，同时对
C
点·
D
点进行示
教。
12.
按操作面板的
+ [
识别测试
]
。
•
确认识别动作是否正常。
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13.
按功能键的
。
14.
按
[
是
]
。
•
排出基板，示教结束。
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