操作手册 - 第153页
CM602-L 操作手册 4.7 基板弯曲计测示教 (12 吸嘴用、 8 吸嘴用选购件 ) Pa ge 4- 47 15. 按下操作面板上的 + [ 计测检 验 ] 。 • 计测计测点，以及其周 围的 4 个点 ( 离计测点 约 1mm 的点 ) 。 • 将会自动计测包括计测 点的周围 4 个点后，并 在画面 c ∼ g 显示计测值。 ∗ 请确认以下的点。 5 个点的最大值和最小 值之间的差在 0.1 mm 以 下。 ∗ 不能得到稳定的…
CM602-L
操作手册
4.7
基板弯曲计测示教
(12
吸嘴用、
8
吸嘴用选购件
)
Page 4-46
10.
将基板设置在基板搬入口。
11.
按操作面板上的
+
[
示教开始
]
。
12.
按
[
数据选择
]
。
•
显示选择计测点的画面。
•
从第一个点依次按照顺序进行识别时，使用
[
次
识别位置
]
。
13.
选择要确认的计测点。
14.
按操作面板上的
+
[
数据选择
]
。
•
基板识别照相机将会移至计测点。
∗
在画面上显示的面之中央即为计测位置。
∗
请用目试确认该基板面符合基板表面的条件。
请参照参考手册
“
基板弯曲传感器
”
的基板
计测点的条件。
下一页
EJM8A-C-OMC04-A02-01
EJM8A-Dm-0058
11
EJM8A-Dm-0021
13
14
EJM8A-Dm-0019
12
CM602-L
操作手册
4.7
基板弯曲计测示教
(12
吸嘴用、
8
吸嘴用选购件
)
Page 4-47
15.
按下操作面板上的
+
[
计测检
验
]
。
•
计测计测点，以及其周围的
4
个点
(
离计测点
约
1mm
的点
)
。
•
将会自动计测包括计测点的周围
4
个点后，并
在画面
c
∼
g
显示计测值。
∗
请确认以下的点。
5
个点的最大值和最小值之间的差在
0.1 mm
以
下。
∗
不能得到稳定的计测结果时，请用微调等方法
调整到适合计测的位置后，再次进行计测检验。
16.
按
[
完成
]
。
•
位置将被登录。
•
若按下操作面板的
+
[
次识别位置
]
，则
基板识别照相机将移至下一个计测点位置，同
样能够进行示教。
17.
按功能键的
。
18.
按操作面板上的
+
[
计测检验
]
。
•
测定全部点。
下一页
EJM8A-C-OMC04-A02-01
EJM8A-Dm-0019
15
MEDI-078C
EJM8A-Dm-0019
16
17
EJM8A-Dm-0058
18
CM602-L
操作手册
4.7
基板弯曲计测示教
(12
吸嘴用、
8
吸嘴用选购件
)
Page 4-48
•
在
<
基板弯曲计测数据
>
画面中选择
[
基板弯曲
]
时
(
参照步骤
8.
的画面
)
，将会显示基板弯曲情
况
(3D
图表
) c
。
•
请确认是否正确设置曲面。
∗
计测点的结果和近似曲面间的差异大于警告值
时，将会显示错误信息。
此时，请再次用
PT
编制数据，基板弯曲模式请
选择
‘
区块弯曲
’
。
∗
警告值可在机器参数的动作参数设定中变更。
19.
按
[
计测值
]
。
20.
确认计测值。
•
如果差异大于警告值，则用黄色显示。
差异
=
计测值
−
补正值
(
近似曲线
)
∗
请确认是否有黄色的显示。
∗
请重新确认基板弯曲坐标和计测点的数值。
21.
按
[ESC]
。
下一页
MEDI-079C
EJM8A-C-OMC04-A02-01
EJM8A-Dm-0060
21
20
EJM8A-Dm-0059
19
1