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SIPLACE D1 / D2 7 4 個月保養 2008 年 8 月中文版 7.1 C&P 6 / 12 取置頭保養 47 一定要遵循 ESD 之規定。 7 7 7 O 蓋上送料器區，以保護送 料器模組和取置頭的前端部件。 7 (1) 打開應變消除裝置。 (2) 打開排線上方的扣件。 (3) 拉出兩條排線。 7 (4) 取下取置頭前面的 4 顆螺絲 ( 使用 3 mm 內六角扳手 ) ，移除前端部件。 擰下螺絲時，需要緊握住取…
7 4 個月保養 SIPLACE D1 / D2
7.1 C&P 6 / 12 取置頭保養 2008 年 8 月中文版
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SIPLACE D1 / D2 7 4 個月保養
2008 年 8 月中文版 7.1 C&P 6 / 12 取置頭保養
47
一定要遵循 ESD 之規定。
7
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O 蓋上送料器區，以保護送料器模組和取置頭的前端部件。
7
(1) 打開應變消除裝置。
(2) 打開排線上方的扣件。
(3) 拉出兩條排線。
7
(4) 取下取置頭前面的 4 顆螺絲 ( 使用 3 mm 內六角扳手 )，移除前端部件。
擰下螺絲時，需要緊握住取置頭的前端部件。 7
注意觀察真空分配器。 7
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星形軸轉半圈，以免損毀閥門推桿的驅動裝置。 7
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O 將取置頭的前端放在柔軟的 ESD 表面上 （使用下側的閥門推桿）或將其放置在適當的取置頭
支架上。
O 移除光柵盤，並放置在提供的容器中。
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