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8.2 “検査視野” タブ 㧖 㧖 㧖 㧖 㧖 㧖 㧖 0210-001 35 AHK01JGP 8.2 8.2 8.2 8.2 8.2 “ “ “ “ “ 検 検 検 検 検 査 査 査 査 査 視 視 視 視 視 野 野 野 野 野 ” ” ” ” ” タブ タブ タブ タブ タブ • シートの表示 シートの表示 シートの表示 シートの表示 シートの表示 “印刷状態検査”タブシートで、 [検査視野]タブを押すと、以下の…
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8.1 “検査パラメータ”タブ
*7*7
*7*7
*7
““
““
“
検検
検検
検
査査
査査
査
時時
時時
時
テテ
テテ
テ
ーー
ーー
ー
ブブ
ブブ
ブ
ルル
ルル
ル
降降
降降
降
下下
下下
下
指指
指指
指
定定
定定
定
[mm][mm]
[mm][mm]
[mm]
””
””
”
検査時のテーブル降下オフセット値を設定します。
設定したオフセット分、テーブルを降下させて検査を行います。
単位： mm
データの設定範囲： 0.0 ∼ 2.5
• 初期値： 0.0
基板をクランプしたときに、基板が上反ってしまい、
画像がぼやけ正常な検査ができない場合に指定します。
0412-001 34-1 AHK01JGP
8.2 “検査視野”タブ
㧖
㧖
㧖
㧖
㧖
㧖 㧖
0210-001 35 AHK01JGP
8.28.2
8.28.2
8.2
““
““
“
検検
検検
検
査査
査査
査
視視
視視
視
野野
野野
野
””
””
”
タブタブ
タブタブ
タブ
•
シートの表示シートの表示
シートの表示シートの表示
シートの表示
“印刷状態検査”タブシートで、[検査視野]タブを押すと、以下のタ
ブシートが表示されます。
Fig.27
•
シートの構成シートの構成
シートの構成シートの構成
シートの構成
*1*1
*1*1
*1
番号番号
番号番号
番号
検査視野の番号を表示します。
（最大 100 視野）
8.2 “検査視野”タブ
0412-002 36 AHK01JGP
*2*2
*2*2
*2
““
““
“
座座
座座
座
標標
標標
標
””
””
”
XX
XX
X
、、
、、
、
YY
YY
Y
印刷状態検査パッドデータ教示によりティーチングされた、検査
視野の座標を表示します。
このデータは表示のみで編集はできません。
例例
例例
例
：：
：：
：
Fig.28 右手前基準の場合
Fig.29 左奥基準の場合
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