KE-3010A_20VA_20VRA_使用说明书 - 第391页
第 1 部 基 本篇 第 3 章 维护 3-51 3-9 管道系统图 （ 1 ）管道系统图（主机） a- （正气压） <M 、 L 、 L-Wide 基板规格 > 工場エア ﾌﾟﾗｸﾞ ﾌｨﾝｶﾞﾊﾞﾙﾌ ﾞ ｴｱｺﾝﾋﾞﾈｰｼｮ ﾏﾆﾎｰﾙﾄﾞ ﾚﾃﾞｭｰｻ ﾚﾃﾞｭｰｻ ﾚﾃﾞｭｰｻ ﾌﾟﾗｸﾞφ8 ATC 正圧計 ﾕﾆｵﾝ Y ﾍｯﾄﾞｱｯﾌﾟｼﾘﾝ ｲｹｲﾕﾆｵﾝ ﾚｷﾞｭﾚｰﾀ ｲｹｲﾕﾆｵﾝ HEAD 正圧 搬送…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-50
●真空泵分解图
No.
名称
No.
名称
1 内六角螺栓（M6×95）8 根 10 气缸密封圈
2 泵头盖 1 11 气缸
3 连接管 12 内六角螺栓（M8×20）
4 Ｏ环 P-10 13 碗型密封圈压板
5 泵头盖 2 14 碗型密封圈
6 密封圈 15 连杆
7 阀挡板
8 吸排气阀
9 气缸板
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-51
3-9 管道系统图
（1）管道系统图（主机）
a-（正气压） <M、L、L-Wide 基板规格>
工場エア
ﾌﾟﾗｸﾞ
ﾌｨﾝｶﾞﾊﾞﾙﾌﾞ
ｴｱｺﾝﾋﾞﾈｰｼｮ
ﾏﾆﾎｰﾙﾄﾞ
ﾚﾃﾞｭｰｻ
ﾚﾃﾞｭｰｻ
ﾚﾃﾞｭｰｻ
ﾌﾟﾗｸﾞφ8
ATC
正圧計
ﾕﾆｵﾝY
ﾍｯﾄﾞｱｯﾌﾟｼﾘﾝ
ｲｹｲﾕﾆｵﾝ
ﾚｷﾞｭﾚｰﾀ
ｲｹｲﾕﾆｵﾝ
HEAD 正圧
搬送電磁弁
MTC_IFﾊﾟﾈﾙ
ﾚﾃﾞｭｰｻｴﾙﾎﾞ
ﾚﾃﾞｭｰｻｴﾙﾎﾞ
ﾚﾃﾞｭｰｻｴﾙﾎﾞ
ﾌﾟﾗｸﾞφ8
ﾌﾟﾗｸﾞφ8
ﾕﾆｵﾝY
MTS_IFﾊﾟﾈﾙ
ﾄﾞﾗｲﾌﾞｼﾘﾝﾀﾞ
ﾄﾞﾗｲﾌﾞｼﾘﾝﾀﾞ
ﾕﾆｵﾝY
ﾕﾆｵﾝY
ﾊﾞﾝｸﾘﾌﾀｰ
ﾃｰﾌﾟｶｯﾀｰ
ﾕﾆｵﾝY
ﾕﾆｵﾝY
ﾌﾛｱﾄﾛﾘｰｴｱ
ﾌﾛｱﾄﾛﾘｰｴｱ
【
OUT
】
【IN】
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰﾄ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰﾄ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰﾄ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰﾄ
Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ
Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ
Yﾌﾟﾗﾚｰﾙ
Yﾌﾟﾗﾚｰﾙ
正压
直接接头
插头
歧管
气源处理联件
指状阀
正压计
减压器
减压器
减压器
插头
减压弯头
Y 形三通接头
插头
插头
Y Plarail
减压弯头
调压器
传送电磁阀
直接接头
减压弯头
直接接头
直接接头
台架升降机（OP）
异形接头
切带器（OP）
Y 形三通接头
Y 形三通接头
Y 形三通接头
Y 形三通接头
面板
Y 形三通接头
面板
驱动气缸
车间推车气压
后侧
车间推车气压
前侧
驱动气缸
前侧
工场气压
Y Plarail
贴片头上升气缸
X Plarail
X Plarail
异形接头
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-52
b-负压 <M、L、L-Wide 基板规格>
Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ
真空ポン
ｴﾙﾎﾞ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰ ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰ
Yﾌﾟﾗﾚｰﾙ Yﾌﾟﾗﾚｰﾙ
Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ
ｴﾙﾎﾞ
L側 HEAD R側
Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ出口 Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ出口
ｴﾙﾎﾞ
ｴﾙﾎﾞ
チェックバル
サイレンサ
レデューサ
レデューサ
ハーフユニオン
負圧計
電磁弁
フィルタ
CAL
ユニオンワ
ユニオンワ
ユニオンワ
ｴﾙﾎﾞ
プラグ
弯头
减压器
X Plarail 出口
弯头
Y 形三通接头
真空泵
Y 形三通接头
Y 形三通接头
弯头
减压器
插头
弯头
弯头
直通接头
直通接头
直通接头
负压计
过滤器
电磁阀
检查阀
直通接头
左侧 HEAD 右侧
消音器
Y Plarail
X Plarail
X Plarail
Y Plarail
X Plarail 出口
活接头