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NPM-D
上一级通信
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=
备忘录
=
NPM-D
上一级通信
EJM1DC-CT-01F-00
Page 7
目录
z
安全注意事项
.......................................................................................................... S-1
1.
概要
................................................................. 1-1
1.1
概要
......................................................................................................................1-2
1.2
画面组成
...............................................................................................................1-8
1.2.1
共通
.....................................................................................................................................................1-8
1.2.2
类型
1 (
事件
).......................................................................................................................................1-9
1.2.3
类型
2 (
其他公司元件对照
) ...............................................................................................................1-10
1.2.4
类型
3 (
元件管理信息
) ......................................................................................................................1-10
2.
基本操作
.......................................................... 2-1
2.1
上一级通信选项设定
............................................................................................2-2
2.1.1
类型
1 (
事件
)
设定
..............................................................................................................................2-2
2.1.2
类型
2 (
其他公司元件对照
)
设定
........................................................................................................2-4
2.1.3
类型
3 (
元件管理信息
)
设定
...............................................................................................................2-5
2.2
套接字通信
...........................................................................................................2-6
2.2.1
基本处理流程
......................................................................................................................................2-6
2.2.2
数据包格式
..........................................................................................................................................2-7
2.2.3
一般通信信息命令
...............................................................................................................................2-9
2.3
文本通信
/
互换模式
.............................................................................................2-14
2.3.1
基本处理流程
....................................................................................................................................2-14
2.3.2
命令文件格式
....................................................................................................................................2-14
2.4
事件
....................................................................................................................2-15
2.4.1
事件通知
...........................................................................................................................................2-15
2.5
元件核对作业
.....................................................................................................2-16
2.5.1
准备
...................................................................................................................................................2-16
2.5.2
元件供给
...........................................................................................................................................2-19
2.5.3
定期检查
...........................................................................................................................................2-28
2.5.4
定期检查发生错误时的恢复
..............................................................................................................2-30
2.5.5
发生错误恢复时的重新检查
..............................................................................................................2-32
2.5.6
元件核对取消
....................................................................................................................................2-41
2.5.7
机器联锁
...........................................................................................................................................2-42
2.6
元件管理信息
.....................................................................................................2-44
2.6.1
最新卷带消耗信息通知
......................................................................................................................2-45
2.6.2
更换卷带消耗信息通知
......................................................................................................................2-46
2.6.3
供料器配置信息通知
.........................................................................................................................2-47
2.6.4
供料器使用信息通知
.........................................................................................................................2-47
NPM-D
上一级通信
Page 8 EJM1DC-CT-01F-00
3.
事件
................................................................. 3-1
3.1
命令一览表
...........................................................................................................3-2
3.2
格式
......................................................................................................................3-3
3.2.1
机器事件通知
..................................................................................................................................... 3-3
3.2.2 LNB
事件通知
..................................................................................................................................... 3-7
3.2.3
事件过滤器设定
................................................................................................................................3-10
3.3
事件一览表
.........................................................................................................3-12
3.3.1
机器事件一览表
................................................................................................................................3-12
3.3.2
机器事件详细对应表
........................................................................................................................ 3-13
3.3.3 LNB
事件一览表
................................................................................................................................3-15
3.4
事件详细格式
.....................................................................................................3-23
3.4.1
发生场所
........................................................................................................................................... 3-23
3.4.2
轨道区分
........................................................................................................................................... 3-24
3.4.3
轴错误原因编号
................................................................................................................................3-25
3.4.4
工件用完发生
/
解除代码
.................................................................................................................... 3-26
3.4.5
发生
/
解除代码
.................................................................................................................................. 3-26
3.4.6
配线通信错误详细代码
..................................................................................................................... 3-26
3.4.7
搬运错误发生场所编号
..................................................................................................................... 3-27
3.4.8
搬运错误原因编号
............................................................................................................................ 3-27
3.4.9
真空传感器错误原因代码
................................................................................................................. 3-27
3.4.10
现在、前一基板位置编号
............................................................................................................... 3-27
3.4.11
编带接头检测事件的检测代码
........................................................................................................ 3-28
4.
元件核对作业
.................................................. 4-1
4.1
命令一览表
...........................................................................................................4-2
4.2
格式
......................................................................................................................4-4
4.2.1
元件核对要求
..................................................................................................................................... 4-4
4.2.2
元件核对应答
..................................................................................................................................... 4-8
4.2.3
生产数据配置信息要求
..................................................................................................................... 4-12
4.2.4
生产数据配置信息通知
..................................................................................................................... 4-14
4.2.5
准备完毕通知
................................................................................................................................... 4-19
4.2.6
元件关联事件通知
............................................................................................................................ 4-20
4.2.7
元件核对取消
................................................................................................................................... 4-24
4.2.8
定期检查模式转移
............................................................................................................................ 4-26
4.2.9
定期检查模式转移应答
..................................................................................................................... 4-28
4.2.10
生产开始许可
................................................................................................................................. 4-32
4.2.11
机器联锁
......................................................................................................................................... 4-33
4.2.12
机器联锁应答
................................................................................................................................. 4-35
4.2.13
机器联锁解除
................................................................................................................................. 4-37
4.2.14
机器联锁解除应答
.......................................................................................................................... 4-39
4.2.15
处理结果一览表
.............................................................................................................................. 4-41