JM-10_动作说明书 - 第15页
动作说明书 3-5 3-2-2 基板传送同步时间图 1 ） 基板装入 基板进给速度 : 高速 ON OFF ON OFF ON OFF ON OFF ON OFF ON OFF ON OFF ON OFF WAIT 传感器 STOP 传感器 IN 电动机 中央电动机 支撑台 UP 传感器 DOWN 传感器 IN 传感器
动作说明书
3-4
异常种类 内容
IN 缓冲异常 (1) IN 马达 ON 后，IN 传感器 3 秒以上 ON
｡
(2) IN 马达转动时，IN 传感器和 WAIT 传感器同时变为 ON
｡
(3) IN 传感器 ON，从 IN 马达开始转动起 6 秒钟之后，WAIT 传感器也不 ON
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
(4) 从 IN 缓冲向中心站过度经 6 秒之后也不结束
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
中心缓冲异常 (1) 中心马达连续转动 6 秒钟以上
｡
(2) C･OUT 传感器 ON，入口侧 STOP 传感器 OFF->ON
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
OUT 缓冲异常 (1) OUT 马达连续 6 秒钟以上连续转动
｡
(2) C･OUT 传感器和 OUT 传感器通知变为 ON
｡
(3) 从 ReadyIN(ON)信号检测向后续工程过度经 6 秒之后也不结束
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
重夹错误 (1) 未能测出基板的前端。：重夹的 STOP 传感器 OFF 检测动作中，OFF 未
被测出。
(2) 未能测出基板的前端。：重夹的 STOP 传感器 ON 测出动作中，ON 未被
测出。
其他 (1) 步进电动机错误
3-2-1 传送电动机
电动机旋转方向 右→左方向传送 左→右方向传送
正转（CCW） ○
逆转（CW） ○
速度控制方式是三角形驱动（梯形驱动）。
速度档次有高速·中速·低速 3 级以及基板夹紧·重新夹紧时使用的预备进给 1·预备进给 2。并且，通过参数
设定，高速可以切换到 400mm/s 或 300mm/s。
252μm/脉冲，各速度分类值如下表所示。
最高速度 最高加速度 最高减速度
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
) ( mm/s
2
) (pps
2
)
高速 400 1,587 1008.0 4,000 1008.0 4,000
高速 300 1,190 1008.0 4,000 1008.0 4,000
中速 230 913 1008.0 4,000 1008.0 4,000
低速 130 515 1008.0 4,000 1008.0 4,000
预备进给1 56 222 1008.0 4,000 1008.0 4,000
预备进给2 14 55 1008.0 4,000 1008.0 4,000
动作说明书
3-5
3-2-2 基板传送同步时间图
1） 基板装入 基板进给速度:高速
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
支撑台
UP 传感器
DOWN 传感器
IN 传感器
动作说明书
3-6
2） 基板传出
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
STOP 传感器
C.OUT 传感器
OUT 传感器
中央电动机
OUT 电动机
支撑台
UP 传感器
DOWN 传感器