JM-10_动作说明书 - 第62页
动作说明书 3-52 3-12-4 OCC ( Offset Correction Camera )的说明 3-12-4-1 OCC 配件的构成 照相机 镜头 照明装置

动作说明书
3-51
2点的BOC标记时(与区域指定标记相同)
如上图所示,2点的BOC标记的理论坐标为M1、M2,各标记检测的坐标为M1’、M2’。
此时,把M1点设为中心,把M2点转动90°后的坐标作为Mv,在 M1’点为中心,把M2点转动90°后
的坐标作为Mv’。把Mv、Mv’分别作为设想的第 3 点的BOC标记的理论坐标、物理坐标,与M1,M2,
M1’、M2’一起把第 3 点作为BOC标记时同样,用P点的坐标计算出P’点坐标,进行坐标修正。

动作说明书
3-52
3-12-4 OCC(Offset Correction Camera)的说明
3-12-4-1 OCC 配件的构成
照相机
镜头
照明装置

动作说明书
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3-12-4-2 照明种类
照明种类 颜色 功能 特点
垂直照明 红 照射基板标记周围
角度照明 红 照射基板标记中央
朝上方的 LED 照射光用棱镜管反射,对光轴取一
定的角度,使挠性基板上的标记对比度变得良
好。
3-12-4-3 照明图案
亮灯照明 对象基板
垂直 + 角度 硬基板
角度 挠性基板
3-12-4-4 电流调整值
照明种类
标准值 偏差值
调整范围
(标准值+偏差值)
最大值
TAP
(调整量)
最大值
TAP
(调整量)
最小值 最大值
垂直照明 90 0.35 30 0.12 0 120
角度照明 345 1.35 115 0.45 0 460