JM-10_动作说明书 - 第75页
动作说明书 5-11 ⑤ 真空值的换算 Ａ／Ｄ 变换的值换算成真空值的方法如下。 ５（ ２５５） １（ ５１） － １０１． ３ ０ ※Ａ／Ｄ 値Ｄｐ及び電圧値Ｖｐ に対する 真空圧値Ｐｖｐ は、 真空圧［ｋ Ｐａ］ Ｐ ｖ ｐ ＝ －１０１． ３／ ２０４ｘ Ｄｐ ＋ １０１． ３／４ ［ｋ Ｐａ ］ Ｐ ｖ ｐ ＝ －１０１． ３／４ｘ Ｖｐ ＋ １０１． ３／ ４ ［ｋ Ｐａ ］ 最小分解能 ＝ １０１． ３／２０４ ≒ ５ ［ｋ…
动作说明书
5-10
③
Ａ／Ｄ变换关闭时间
点传感器和真空传感器的值的数据变换→数据寄存器的计时如下所示。
① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ①
1.6384ms
192μs
12.8μs
① ②
ｱﾅﾛｸﾞSWの切替
ｱﾅﾛｸﾞSWの切替
A/D変換開始
78.4μs 1.6μs
A/Dﾃﾞｰﾀ読込
105.6μs 4μs
1.6μs 0.8μs
A/Dﾃﾞｰﾀﾗｯﾁ
注1) ①～⑧为各模拟数据的变换时间(因此各锁定数据每1.6384mS更新。)
注
2) 各计时中所标的时间是标准值。
注3) 上述同步是自动生成，主控电脑可以自由地读取数据。
④ＤＩＰ ＳＷ的说明
各
DIP SW 的意义如下。
1
O
N
2
3
4
5
6
7
8
SW3
パターン及び機能ＲＥＶ．設定用
Ｂｉｔ１～Ｂｉｔ４：パターンＲＥＶ．
Ｂｉｔ２～Ｂｉｔ４：機能ＲＥＶ．
設定は、ＨＥＡＤ ＭＡＩＮ ＰＣＢ ＡＳＭ ＲＥＶＩＳＩＯＮ ＮＯＴＥ
を参照のこと。
1
O
N
2
3
4
5
6
7
8
SW2
各Ｚ軸近点センサ無効化設定用
Ｂｉｔ１：ＯＮ時Ｚ１センサ無効
Ｂｉｔ２：ＯＮ時Ｚ２センサ無効
Ｂｉｔ３：ＯＮ時Ｚ３センサ無効
Ｂｉｔ４：ＯＮ時Ｚ４センサ無効
Ｂｉｔ５：ＯＮ時Ｚ５センサ無効
Ｂｉｔ６：ＯＮ時Ｚ６センサ無効
Ｂｉｔ７；ＯＦＦ固定（予備）
Ｂｉｔ８；ＯＦＦ固定（予備）
通常時はすべてＯＦＦに設定すること。
A/D 变换开始
模拟 SW 的变换
模拟 SW 的变换
A/D 数据读取
A/D 数据锁定
用于设定各 Z 轴近点传感器的无效化
Bit1：ON 时 Z1 传感器无效
Bit2：ON 时 Z2 传感器无效
Bit3：ON 时 Z3 传感器无效
Bit4：ON 时 Z4 传感器无效
Bit5：ON 时 Z5 传感器无效
Bit6：ON 时 Z6 传感器无效
Bit7：OFF 固定（备用）
Bit8：OFF 固定（备用）
平时要全部设置为 OFF。
用于设定图形及功能版本
Bit1～Bit4: 功能版本
Bit5～Bit8: 图形版本
设定要参照 HEAD PCB ASM REVISION NOTE。
动作说明书
5-11
⑤
真空值的换算
Ａ／Ｄ变换的值换算成真空值的方法如下。
５（２５５）
１（５１）
－１０１．３０
※Ａ／Ｄ値Ｄｐ及び電圧値Ｖｐに対する真空圧値Ｐｖｐは、
真空圧［ｋＰａ］
Ｐｖｐ ＝ －１０１．３／２０４ｘＤｐ＋１０１．３／４ ［ｋＰａ］
Ｐｖｐ ＝ －１０１．３／４ｘＶｐ＋１０１．３／４ ［ｋＰａ］
最小分解能 ＝ １０１．３／２０４ ≒ ５ ［ｋＰａ］
電圧［Ｖ］（Ａ／Ｄ値）
⑥ＬＥＤ显示灯的意义如下。
LD1
（红）：L1-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD2
（红）：L2-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD3
（红）：L3-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD4
（红）：L4-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD5
（红）：L5-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD6
（红）：L6-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD7
（红）：全部 Z 轴减速传感器启动则熄灯。（XY 轴可动作）
LD8
（红）：DC24V 电源接通则亮灯。
电压[V]（A/D 值）
真空压力[kPa]
※ 对 A/D 值 Dp 及电压值 Vp 的真空压力值为
Pvp =
101.3/4Vp+101.3/4 [kPa]
Pvp =
101.3/204Dp+101.3/4 [kPa]
最小分辨率 = 101.3/204 ≒ 5 [kPa]
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5-12
5-1-7 IP-X5 基板
本基板是处理
ＯＣＣ摄像机拍摄的基板标记、ＩＣ标记等图像数据，计算基板的位置修正、元件位置修正需
要的数值的图像基板。以下是基板方块图。
／ 32bit
I/Fﾒﾓﾘ
CPCI bus
Localbus
SH4
PCI bus-Localbus CPUbus-Localbus
Bridge (FPGA)
／ 32bit
SDRAM
／
CPUbus
画像処理、
画像入出力
ﾕﾆｯﾄ
(FPGA)
D/A
画像ﾓﾆﾀへ
A/D
ﾋﾞﾃﾞｵﾒﾓﾘ0 (1画面)
ﾋﾟﾗﾐｯﾄﾞ
SIO
Timer
SIO(ch1)
SIO(ch2)
Flash ﾒﾓﾘ
32bit
64bit
32bit
32bit
DipSW,LED
etc.
1Mbyte
16Mbyte
ﾋﾞﾃﾞｵﾒﾓﾘ1 (1画面)
ﾋﾟﾗﾐｯﾄﾞ
32bit
32bit
／ 32bit
DMA
Request
表示用ﾋﾞﾃﾞｵﾒﾓﾘ（2画面)
ｵｰﾊﾞｰﾚｲﾒﾓﾘ (2画面)
32bit
16bit
DMA
64Mbyte or 128Mbyte
Interrupt
Request
120MHz
240MHz
3.3V
2.5V
1.8V
PCI bridge
／ 32bit
ｶﾒﾗより
ｶﾒﾗより
D/A
画像ﾓﾆﾀへ
ﾃﾝﾌﾟﾚｰﾄﾒﾓﾘ0 (1画面)
ﾋﾟﾗﾐｯﾄﾞ
32bit
A/D
ｶﾒﾗより
ｶﾒﾗより
／ 32bit
33MHz
66MHz
ﾃﾝﾌﾟﾚｰﾄﾒﾓﾘ1 (1画面)
ﾋﾟﾗﾐｯﾄﾞ
32bit
1.5V
1.2V
512Kbyte
512Kbyte
512Kbyte
512Kbyte
1Mbyte
ＩＰ－Ｘ５基板方块图
Flash 存储器
I/F 存储器
录像存储器 0 (1 画面)
录像存储器 1 (1 画面)
锥型
锥型
锥型
锥型
样品存储器 0 (1 画面)
样品存储器 1 (1 画面)
图像处理、
图像输出入
装置
(FPGA)
往图像监控器
往图像监控器
来自照相机
来自照相机
来自照相机
来自照相机
显示用的录像存储器（2画面）
覆盖存储器（2画面）