NXTIII PartList - 第263页
2M III-BASE 9/ 2M III-ベース 9/ 2UGTBA000100 No. Dr g .No. & Code No. QTY Descri p tion Ratin g Materials Remarks 番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規 格材 質 備 考 1 2MGKBA005601 1 PUMP, VACUUM ポン プ バキューム OT 2 2MGTBB008200 2 PLATE プ …
A
A
DETAIL B
B
DETAIL A
A
ＯＮ
ＯＮ
ＯＦＦ
ＯＦＦ
ＢＡＬＬ ＶＡＬＶＥ
ＢＡＬＬ ＶＡＬＶＥ
B
B
E
E
F
F
DETAIL E
E
DETAIL F
F
C
C
C
C
2
12
8
1
3
4
9
10
11
13
14
15
43
51
80
80
81
81
82
82
83
84
85
86
87
88
89
90
91
92
93
94
95
96
97
98
99
100
101
30
31
32
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
0,,,࣮࣋ࢫ
0,,,%$6(
2UGTBA000100
262
PTS-NXT3-02JE
2M III-BASE 9/
2M III-ベース 9/
2UGTBA000100
No. Dr
g
.No. & Code No. QTY Descri
p
tion Ratin
g
Materials Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名
規
格材質 備考
1 2MGKBA005601 1 PUMP, VACUUM ポン
プ
バキューム OT
2 2MGTBB008200 2 PLATE
プ
レート FE
3 H54272 4 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M06X020(3ｶｼﾛ) FE
4 W1106F 4 WASHER, LOCK ワッシャ ス
プ
リン
グ
6M
/
M(3ｶｼﾛ) FE
8 2MGTBA008300 1 BKT ＢＫＴ FE
9 H5426M 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M04X012(3ｶ ｼﾛ) FE
10 W1106D 2 WASHER, LOCK ワッシャ ス
プ
リン
グ
4M
/
M(3ｶ ｼﾛ) FE
11 W1043C 2 WASHER, FLAT ワッシャ 平 4W- 4(3ｶｼﾛ) FE
12 H3022Z 1 FILTER フィルタ VFR20-16-16 OT
13 H54269 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M05X010(3ｶｼﾛ) FE
14 W1106E 2 WASHER, LOCK ワッシャ ス
プ
リン
グ
5M
/
M(3ｶ ｼﾛ) FE
15 H3022Z 2 FILTER フィルタ VFR20-16-16 FE
30 2MGKBB002700 1 BKT ＢＫＴ FE
31 H54269 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M05X010(3ｶｼﾛ) FE
32 W1106E 2 WASHER, LOCK ワッシャ ス
プ
リン
グ
5M
/
M(3ｶ ｼﾛ) FE
33 2MGKBB002600 1 FILTER REGULATOR フィルタレギュレータ M06X010(3ｶｼﾛ) OT
34 H5425B 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M06X010(3ｶｼﾛ) FE
35 W1106F 2 WASHER, LOCK ワッシャ ス
プ
リン
グ
6M
/
M(3ｶｼﾛ) FE
36 Y60261 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2V16-03AS OT
37 A61139 1 ELBOW エルボ KQ2L16-99A OT
38 H1282A 1 PIPE, DOUBLE ENDED パイ
プ
両口 3
/
8X 25 FE
39 A60055 1 ELBOW エルボ L-3
/
8 (ｼﾛ) FE
40 H1282A 1 PIPE, DOUBLE ENDED パイ
プ
両口 3
/
8X 25 FE
41 XB02501 1 VALVE, BALL バル
ブ
ボール OT
42 K61738 1 COUPLER カ
プ
ラ KK130P-03MS FE
43 S61265 1 SOCKET ソケット KK130S-11B OT
51 A61139 1 ELBOW エルボ KQ2L16-99A OT
80 2MGTBA005201 2 BKT, PIPING ＢＫＴ 配管 FE
81 H54269 4 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M05X010(3ｶｼﾛ) FE
82 W1106E 4 WASHER, LOCK ワッシャ ス
プ
リン
グ
5M
/
M(3ｶ ｼﾛ) FE
83 Y60260 1 UNION ユニオン KQ2U12-04AS OT
84 Y3128B 1 UNION ユニオン SGPPT15A OT
85 H3327B 1 BUSHING
ブ
シュ SUTPB14 OT
86 Y60239 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H04-01AS OT
87 Y60254 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2S16-04AS OT
88 Y60240 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H10-03AS OT
89 Y3128C 1 UNION ユニオン SGPPT10A OT
90 Y60258 1 UNION ユニオン KQ2U08-03AS OT
91 Y60251 1 UNION ユニオン KQ2R04-08A OT
92 Y60253 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2S16-03AS OT
93 Y60260 1 UNION ユニオン KQ2U12-04AS OT
94 Y3128B 1 UNION ユニオン SGPPT15A OT
95 Y60249 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L16-04AS OT
96 Y60254 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2S16-04AS OT
97 Y60240 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H10-03AS OT
98 Y3128C 1 UNION ユニオン SGPPT10A OT
99 Y60263 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2VF08-03AS OT
100 Y60248 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L16-03AS OT
101 Y60253 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2S16-03AS OT
263
PTS-NXT3-02JE
φ１２
φ１２
φ６
φ６
φ１６
φ４
φ４
吸着ノズル用真空ポンプ
φ１６
Ｍ５Ｍ５
−５９ｋＰａ
０．４ＭＰａ
正圧
POS PRESS NEG PRESS
負圧
３／８
３／８
３／８
３／８
φ１６
０．５ＭＰａ
φ１６
Ｂ
Ａ
ベース手前から見て左からのＭ３モジュールの番号
Ｍ３ MODULE NUMBER FROM THE LEFT SIDE OF THE FRONT SIDE
モジュールＺクランプ
MODULE Z CLAMP MODULE Y CLAMP
MODULE Z CLAMP MODULE Y CLAMP
（φ３２ｘ２５ ４ヶ）
モジュールＹクランプ
［２］
［１］
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
モジュールＹクランプ
後側
前側
FRONT SLIDE
REAR SLIDE
REAR SLIDE
前側
FRONT SLIDE
（φ３２ｘ２５ ４ヶ）
モジュールＺクランプ
φ８
Ａ
Ｂ
φ６ φ６
φ６
φ６
φ６ φ６
φ６
φ６
φ６ φ６
φ６φ６
φ６
φ６
φ６φ６
Ｇ
Ｅ
Ｋ
Ｌ
Ｃ
Ａ
Ｂ
Ｄ
Ｆ
Ｇ
ＨＨ ＨＨ
Ｉ Ｉ
ＪＪＪ
Ｉ
Ｊ
Ｉ
Ｋ
ＫＫ
Ｂ
Ａ
後側
φ８
Ａ
Ｂ
φ６
φ６
メータ アウト
METER OUT METER OUT
METER OUT METER OUT
メータ アウト
メータ アウト
METER OUT METER OUT
メータ アウト メータ アウト
METER OUT METER OUT
メータ アウト
φ６
φ６
φ６ φ６
φ６
φ６
φ６ φ６
φ６φ６
メータ アウトメータ アウト
φ６
φ６
φ６φ６
Ｇ
Ｋ
Ｌ
Ｇ
ＨＨ ＨＨ
Ｉ Ｉ
ＪＪＪ
Ｉ
Ｊ
Ｉ
Ｋ
ＫＫ
モジュール側
MODULE SIDE
モジュール側
MODULE SIDE
Ｍ
φ８
φ１０
Ｍ
φ８
φ１０
φ１６
φ６
φ６
φ１０φ１０
（φ６３ｘ８１）
（φ６３ｘ８１）
φ６
Ｍ１ＬＳ１５Ａ
Ｍ１ＬＳ１５Ｂ
Ｍ１ＬＳ１４Ｂ
Ｍ１ＬＳ１４Ａ
Ｍ１ＬＳ２５Ａ
Ｍ１ＬＳ２５Ｂ
Ｍ１ＬＳ２４Ｂ
Ｍ１ＬＳ２４Ａ
２ヶ２ヶ
φ１２ｘ２φ１２ｘ２
２ヶ
VACUUM PUMP FOR NOZZLES
202
203
201201202
203
128
129
122
126125
132
119
123
133
134
134
134
134
104108
109
106
107
109
106
105
105
102
101
104
103
111
110
114
114
115115116106
118 117
134
134
133
134
134
120
132
124
125126
130 131
127
127
129
135
135
135
135
112
113
107
106
30
30
292932323232
31
31
25
28 28
26
32323232
16
10
35
11
17 1912
24
23 22
33
35
34
21
12 343 56
66
79 9
8
16 18 13
10
35
19 17 14 15
11
121
20
20
24
23 22
34
33
35
21
25
28
26
28
106
30
30
32 32 3232 29 29
31
31
3232 32 32
0,,,࣮࣋ࢫ
0,,,%$6(
2UGTBA000100
264
PTS-NXT3-02JE