NXTIII PartList - 第297页
モジ ュール側 MODULE SIDE モジ ュール側 MODULE SIDE モジ ュール側 MODULE SIDE モジ ュール側 MODULE SIDE （オプシ ョ ン） バキ ュ ーム バッ ク ア ッ プ用真空ポン プ 工場出荷オ プシ ョ ン バキ ュ ーム バッ ク ア ッ プ仕様時取付け FACTORY-OPTION BEFORE SHIPMENT SET WHEN VACUUM BACK-UP PIN IS USED…
MODULE Z CLAMP MODULE Y CLAMP MODULE Z CLAMP MODULE Y CLAMP MODULE Z CLAMP MODULE Y CLAMP MODULE Z CLAMP MODULE Y CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｍ３ MODULE NUMBER FROM THE LEFT SIDE OF THE FRONT
FRONT SLIDE
REAR SLIDE
FRONT SLIDE
REAR SLIDE
FRONT SLIDE
REAR SLIDE
FRONT SLIDE
REAR SLIDE
METER OUT
METER OUT METER OUT METER OUT METER OUT METER OUTMETER OUT METER OUT
METER OUT
METER OUT
METER OUT METER OUT
METER OUT METER OUT
METER OUT
METER OUT
࢚࣮㓄⟶ᅗ
31(80$7,&&,5&8,7',$*5$0
ձ
A
A
Ref.ղ
ベース手前から見て左からのＭ３モジュールの番号
モジュールＺクランプ
（φ３２ｘ２５ ４ヶ）
モジュールＹクランプ
［４］ ［３］ ［２］
［１］
モジュールＹクランプ
（φ３２ｘ２５ ４ヶ）
モジュールＺクランプ モジュールＹクランプ
（φ３２ｘ２５ ４ヶ）
モジュールＺクランプ モジュールＹクランプ
（φ３２ｘ２５）
モジュールＺクランプ
（φ６３ｘ８１）（φ６３ｘ８１）（φ６３ｘ８１）（φ６３ｘ８１）
後側後側後側 後側
Ｍ１ＬＳ１５Ａ
Ｍ１ＬＳ１５Ｂ
Ｍ１ＬＳ２５Ａ
Ｍ１ＬＳ２５Ｂ
Ｍ１ＬＳ３５Ａ
Ｍ１ＬＳ３５Ｂ
Ｍ１ＬＳ４５Ａ
Ｍ１ＬＳ４５Ｂ
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６ φ６φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
Ｍ１ＬＳ１４Ｂ
Ｍ１ＬＳ１４Ａ
Ｍ１ＬＳ２４Ｂ
Ｍ１ＬＳ２４Ａ
Ｍ１ＬＳ３４Ｂ
Ｍ１ＬＳ３４ＡＭ１ＬＳ４４Ａ
Ｍ１ＬＳ４４Ｂ
前側
φ６
φ６
φ６ φ６
φ６φ６φ６ φ６
φ６φ６
φ６
φ６
前側前側
φ６
φ６
φ６ φ６
φ６φ６ φ６ φ６
φ６φ６
φ６
φ６
前側
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６ φ６
メータ アウト
メータ アウト メータ アウト メータ アウト メータ アウト メータ アウトメータ アウト メータ アウト
メータ アウト
メータ アウト
メータ アウト メータ アウト
メータ アウト メータ アウト
メータ アウト
メータ アウト
φ６ φ６
φ６
φ６φ６
φ６
φ６φ６
φ６ φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ６
φ８
φ６φ６
φ６ φ６
φ８φ８
φ６
φ６
φ６ φ６
φ８
ＨＨ ＨＨ
B
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B
G
K
L
G
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B
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AA
B
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G
I I
JJJ
I
J
I
K
KK KK
K
I
J
I
JJJ
II
G
L
K
G
B
AA
B
133
124
123
132
131
115
121 121
130
127
124
129
128
125
122
121
121
124
115
107
106
104
126
101
103
104
106
101
103
115
117
120
119
118
116
113
106
102
111
109
108
108
107
112
110
110
105
102
101
105
104
103
110
123
116
2120
23
23
20
23
23
21
23
20
23
21
23
20 21
23
27 27 27 27
26
26
27 27 2727 24 24
25
25
27 27 27 27
26
26
27 27 27 27 24 24
25
25
27 27 27 27
26
26
27 27 27 27 24 24
25
25
27 27 27 27
26
26
27 27 27 27 2424
155
156
156
156
156 156
156 156
156
155
156
156
156 156
156
155
156
156
156
25
25
158
155
158
158
158
158
158
158
158
HH HHHHHHHHHH
2UGTBB000100
0,,,࣮࣋ࢫ
0,,,%$6(
296
PTS-NXT3-02JE
モジュール側
MODULE SIDE
モジュール側
MODULE SIDE
モジュール側
MODULE SIDE
モジュール側
MODULE SIDE
（オプション）
バキュームバックアップ用真空ポンプ
工場出荷オプション
バキュームバックアップ仕様時取付け
FACTORY-OPTION
BEFORE SHIPMENT
SET WHEN VACUUM BACK-UP PIN IS USED
PUMP FOR VACUUM BACK-UP PIN
(OPTION)
VACUUM PUMP FOR NOZZLES
POS PRESS NEG PRESS
A
A
Ref.
ձ
φ８ φ８
φ８
φ８
φ１２
φ１２
φ１２ φ１２
φ１０ φ１０φ１０
φ１２ｘ２ φ１２ｘ２ φ１２ｘ２
−５９ｋＰａ
０．４ＭＰａ
正圧
負圧
φ６
φ６
φ１２
φ１６
φ１６
φ１２
φ６
φ６
φ１６
φ４
φ４
３／８
１／２
１／２
１／４
１／４ １／４
１／４
１／４ １／４ １／４ １／４
１／８
１／２
φ１６
吸着ノズル用真空ポンプ
φ１６
φ１６
１／２
１／２
１／８
φ１６
φ１６
φ１０ φ１０
φ１６
０．５ＭＰａ
３／８
３／８
３／８
３／８
１／２
Ｍ５Ｍ５
φ１２ｘ２
φ１０
φ16
࢚࣮㓄⟶ᅗ
31(80$7,&&,5&8,7',$*5$0
ղ
E
A
B
F
D
D
C
12 343 56
10
32
11 8 8 11 10
32
10
32
11 8 8 11 10
32
29
7
13
9
15 15
32
323232
604
604
603
601
501501
605
503
504
504
602
504
504
502
604
604
202
203
201
702
701
505
151
505
201 701
702
202
203
151
203
202
151
505
201 701
702
202
203
201
702
701
505
151
28
150
149
3131
29 29
30
29
28
121718
19
1616
12
28
1718
19
16
12
28
1718
19
16
12
28
1718
19
154
153
145
146
157 152
148
148
147
143
140
137
134
138
141
135
136
144
140
139
142
M
M
M
14
M
2UGTBB000100
0,,,࣮࣋ࢫ
0,,,%$6(
297
PTS-NXT3-02JE
4M III-BASE 10/
4M III-ベース 10/
2UGTBB000100
No. Dr
g
.No. & Code No. QTY Descri
p
tion Ratin
g
Materials Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名
規
格材質 備考
1 S61265 1 SOCKET ソケット KK130S-11B OT
2 K61738 1 COUPLER カ
プ
ラ KK130P-03MS OT
3 H1282A 2 PIPE, DOUBLE ENDED パイ
プ
両口 3
/
8X 25 FE
4 A60055 1 ELBOW エルボ L-3
/
8 (ｼﾛ) OT
5 Y60261 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2V16-03AS OT
6 A61139 1 ELBOW エルボ KQ2L16-99A OT
7 Y60264 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2VS04-01AS OT
8 Y60225 4 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H08-02AS OT
9 Y60253 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2S16-03AS OT
10 Y60250 4 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2LU12-04AS OT
11 Y60194 4 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2VS10-02AS OT
12 A61009 4 ELBOW エルボ KQ2L12-99A OT
13 2MGTBB003400 1 MANIFOLD, AIR マニホールド エアー AL
14 Y60239 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H04-01AS OT
15 Y60181 2 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L04-M5A OT
16 S5026T 4 SOCKET ソケット KK4S-10L-X42 OT
17 Y60246 4 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L12-04AS OT
18 PM09MY1 4 ADAPTER アダ
プ
タFE
19 S5026B 4 SOCKET ソケット K4-04SH OT
20 Y60288 4 UNION ユニオン KQ2T08-00A OT
21 Y60191 4 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L08-00A OT
23 Y60252 8 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2S08-01AS OT
24 Y60244 8 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L06-02AS OT
25 Y60257 8 UNION ユニオン KQ2TW06-00A OT
26 Y60222 8 UNION ユニオン KQ2U06-00A OT
27 Y60243 32 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L06-01NS OT
28 Y60259 4 UNION ユニオン KQ2U12-00A OT
29 Y60249 4 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L16-04AS OT
30 A61139 1 ELBOW エルボ KQ2L16-99A OT
31 Y60242 2 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H16-04AS OT
32 S3081M 16 SLEEVE スリー
ブ
TJ-1208 OT
101 2MGTBB003702 3 TUBE チュー
ブ
OT
102 2MGTBB003802 2 TUBE チュー
ブ
OT
103 2MGTBB003902 3 TUBE チュー
ブ
OT
104 2MGTBB004002 3 TUBE チュー
ブ
OT
105 2MGTBA003101 2 TUBE チュー
ブ
OT
106 2MGTBB004102 4 TUBE チュー
ブ
OT
107 2MGTBA002301 2 TUBE チュー
ブ
OT
108 2MGTBB004202 2 TUBE チュー
ブ
OT
109 2MGTBB004302 1 TUBE チュー
ブ
OT
110 2MGTBB004402 3 TUBE チュー
ブ
OT
111 2MGTBB004502 1 TUBE チュー
ブ
OT
112 2MGTBB004602 1 TUBE チュー
ブ
OT
113 2MGTBB004702 1 TUBE チュー
ブ
OT
115 2MGTBB004802 3 TUBE チュー
ブ
OT
116 2MGTBB004902 2 TUBE チュー
ブ
OT
117 2MGTBB005002 1 TUBE チュー
ブ
OT
118 2MGTBB005102 1 TUBE チュー
ブ
OT
119 2MGTBB005202 1 TUBE チュー
ブ
OT
120 2MGTBB005302 1 TUBE チュー
ブ
OT
121 2MGTBB005402 4 TUBE チュー
ブ
OT
298
PTS-NXT3-02JE