NXTIII PartList - 第97页
M3 III-BED 7/ M3 III-ベッド 7/ 2UGTBC000100 No. Dr g .No. & Code No. QTY Descri p tion Ratin g Materials Remarks 番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規 格材 質 備 考 1 Y60194 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2VS10-02AS OT 2 Y60195 2 UNION, ELB…
φ６
φ６
MODULE CLAMP
（PAIR MODULE）
モジュールクランプ
（ペアモジュール）
ノズ ル チェン ジ
NOZZLE CHANGE
WASTE TAPE
PROCESSING UNIT
残テープカッター
デバイスベース
DEVICE BASE
φ４
φ４
バ キュー ム バ ックアップ ピン
バキューム
VACUUM BACK UP PINS
VACUUM BACK UP PINS
バ ックアップ ピン
オプション
OPTION
φ８
φ６
負圧φ１２×２
Neg press
Neg press
Neg press
Pos press
Pos press
Neg press
Pos press
Pos press
正圧φ１０
CONVEYOR
コンベア
正
正
負
Neg press
負
φ８
φ１２
φ１２
φ４
φ８
MANUHOLD
マニホールド
正圧
０．４ＭＰａ
負圧
−５９ｋＰａ
BASE
（AIR SOURCE）
ベース
（エア源）
φ６
DUST COUNTERMEASURE
埃対策
φ６
Ｍ５
Ｍ５
１／４ １／４ １／４ １／８
１／８１／８１／８１／８
Ｍ５
Ｍ５
ＡＮ１２０−Ｍ５
ＣＤＭ２Ｌ２０−２５
−ＤＣＬ７８２８Ｌ
ダクト
DUCT
標準仕様
ＡＳ２２１１Ｆ-０１−０６ＳＡ
ＡＳ１２０１Ｆ−Ｍ５−０６ＳＡ
φ６
ＸSLIDE
Y-AXIS FLEXIBLE TRACK
Ｘスライド
１／８ １／４
負圧φ６
φ８ φ８
１／４
１／８
Ｙ軸ケーブルベア
DUST COLLECT AIR BLOW ＯＮ
集塵エアブローＯＮ
隣接モジュール
ロック確認
隣接モジュール
アンロック確認
隣接モジュール
ロック指示
NEIGHBORING MODULES
LOCK INDICATE
NEIGHBORING
MODULES
UNLOCK CHECK
NEIGHBORING
MODULES
LOCK CHECK
φ４φ４
ＩＳＥ３０Ａ
−Ｃ４Ｌ−Ｐ−ＭＬ
ＺＳＥ３０Ａ
−Ｃ４Ｌ−Ｐ−ＭＬ
１／８
φ１０
φ６
φ６
φ４
φ６
φ１０
φ１０
φ６
１／８ １／８
フィーダＯＰ用
FOR FEEDER OPTION
ＳＹＪ５１２Ｔ
−５ＭＯＺ−Ｍ５−Ｆ−Ｑ
ＳＹＪ５１２Ｔ
−５ＭＯＺ−Ｍ５−Ｆ−Ｑ
132
104
115
44
102
103
101
3223
331
6
7
2219
28 28
23 23 2329
105
4
4
26
18
108
151
4
25
19
27
161
97
98
71
143
141
142
144
8
43 42 41
91
92
93
94
95
96
107
109
113
20 21
10
10 13 12
11 17 159
111
112
131
110
114
1416
106
24
30
516
2UGTBC000100
0,,,%('
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96
PTS-NXT3-02JE
M3 III-BED 7/
M3 III-ベッド 7/
2UGTBC000100
No. Dr
g
.No. & Code No. QTY Descri
p
tion Ratin
g
Materials Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名
規
格材質 備考
1 Y60194 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2VS10-02AS OT
2 Y60195 2 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L04-01AS OT
3 Y60192 4 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L06-01AS OT
4 Y60199 3 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L06-M5A OT
5 Y60440 1 UNION ユニオン KQ2T10-08A OT
6 Y60329 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L06-00A OT
7 Y60291 1 UNION ユニオン KQ2U04-06A OT
8 Y60205 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H08-00A OT
9 Y60365 1 UNION ユニオン KQ2H10-12A OT
10 Y60206 2 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L04-06A OT
11 Y60203 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2S12-03AS OT
12 Y3023W 1 UNION ユニオン PEG12-8 OT
13 Y3027B 1 UNION ユニオン PWJ8-6 OT
14 K11578 1 COUPLER カ
プ
ラ KK4P-10E OT
15 K1158B 1 COUPLER カ
プ
ラ K4-04PM OT
16 Y60202 2 ELBOW エルボ KQ2L10-99A OT
17 2MGKBC000402 1 JOINT ジョイント OT
18 S2098W 1 CYLINDER シリンダ CDM2L20-25-DCL7828L OT
19 H66819 2 VALVE, SOL バル
ブ
ＳＯＬ SYJ512T-5MOZ-M5-F-Q OT
20 S64379 1 SW, PRESSURE ＳＷ
プ
レッシャ ISE30A-C4L-P-ML OT
21 S64380 1 SW, PRESSURE ＳＷ
プ
レッシャ ZSE30A-C4L-P-ML OT
22 S1058A 1 SILENCER サイレンサ AN120-M5 OT
23 A3033A 3 PLUG 埋栓 PT1
/
4FE
24 2MGTBC001604 1 MANIFOLD, AIR マニホールド エアー OT
25 A3042A 1 PLUG 埋栓 M-5P FE
26 K63324 1 CONTROLLER, SPEED コントローラ スピード AS2211F-01-06SA OT
27 K63433 1 CONTROLLER, SPEED コントローラ スピード AS2201F-M5-06SA OT
28 A3034A 2 PLUG 埋栓 PT1
/
8FE
29 Y60422 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H04-02AS OT
30 H3145K 1 PLUG
プ
ラ
グ
KQ2P-04 OT
41 K1161W 1 COUPLER カ
プ
ラ CPPE7-01 OT OPTION 1
42 Y3024A 1 UNION ユニオン PMF6-01 OT OPTION 1
43 Y3016B 1 UNION ユニオン PLLJ6 OT OPTION 1
44 Y60225 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H08-02AS OT OPTION 1
71 S5026S 1 SOCKET ソケット KK2S-06E OT
91 N2031A 1 NIPPLE ニッ
プ
ル M-5H-6 OT
92 XZ00010 1 JOINT, HOSE ジョイント ホース OT
93 PM78573 1 NIPPLE, VOLUTE ニッ
プ
ル 竹の子 FE
94 Y60191 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L08-00A OT
95 Y60379 1 UNION ユニオン KQ2R08-10A OT
96 A61137 1 ELBOW エルボ KQ2L10-00A OT
97 H3128Y 1 PLUG
プ
ラ
グ
KK2P-06L OT
98 Y60178 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQG2L06-M5 OT OPTION 4
101 2MGTBC017700 1 TUBE チュー
ブ
OT
102 2MGTBC017800 1 TUBE チュー
ブ
OT
103 2MGTBC022700 1 TUBE チュー
ブ
OT
104 2MGTBC018000 1 TUBE チュー
ブ
OT
105 2MGTBC018100 1 TUBE チュー
ブ
OT
106 2MGTBC018200 1 TUBE チュー
ブ
OT
107 2MGTBC018300 1 TUBE チュー
ブ
OT
108 2MGTBC018400 1 TUBE チュー
ブ
OT
97
PTS-NXT3-02JE
M3 III-BED 7/
M3 III-ベッド 7/
2UGTBC000100
No. Dr
g
.No. & Code No. QTY Descri
p
tion Ratin
g
Materials Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名
規
格材質 備考
109 2MGTBC018500 1 TUBE チュー
ブ
OT
110 2MGTBC018600 1 TUBE チュー
ブ
OT
111 2MGTBC018700 1 TUBE チュー
ブ
OT
112 2MGTBC018801 1 TUBE チュー
ブ
OT
113 2MGTBC018900 1 TUBE チュー
ブ
OT
114 2MGTBC019000 1 TUBE チュー
ブ
OT
115 2MGTBC019100 1 TUBE チュー
ブ
OT
131 PZ10401 1 TUBE チュー
ブ
OT OPTION 1
132 PZ15841 1 TUBE チュー
ブ
OT OPTION 1
141 2MGTSA009802 1 TUBE チュー
ブ
OT
142 2MGTSA009903 1 TUBE チュー
ブ
OT
143 2MGTSF005902 1 TUBE チュー
ブ
OT
144 PZ07201 1 TUBE チュー
ブ
OT
151 2MGTBC019200 1 TUBE チュー
ブ
OT
161 2MGTPK002800 1 TUBE チュー
ブ
OT
OPTION 1：OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS/ﾊﾞｷｭｰﾑﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ仕様
OPTION 4：OPTION PARTS FOR DUCT WHEN IONIZER IS USED/ダクト手配品 イオナイザ仕様
98
PTS-NXT3-02JE