KE-2050_2060_Troubleshooting - 第109页

3-92 [ 解决 ] 请打 开 MTC 电源 。 E29 1 030 没有连接 MTC 。 [ 原因 ] 要 运 行 MTC 时, MTC 不是联机 状态 。 [ 解决 ] 请用 MTC 的 HOD 连接 MTC (联机)。 E29 1 03 1 MTC 未初始化。 [ 原因 ] 要 运 行 MTC 时,没 执 行 MTC 初始化。 [ 解决 ] 请用 MTC 的 HOD , 执 行 MTC 的初始化。 E29 1 032 MTC 处…

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E291018 字符串错误。
[原因]
因输入字符有错,以不能跟踪操作
[解决]
请输入正确字符。
E291019 范围错误。
[原因]
因输入数值范围以不能跟踪操作
[解决]
请重新输入。
E291020 检查跟踪的送器。
[原因]
没有选定要跟踪的送器。
[解决]
请选跟踪的送器。
E291021 不存在已经完成的片数据。
[原因]
因为不存在已经完成的片数据,不能进行处理。
[解决]
请输入片数据。
E291022 因为没有被定的基板,以不能BOC 准。
[原因]
在传送通上没有被定的基板的情况下,要 BOC 准时显示。
[解决]
BOC 准基板。
E291023 在设置中,调整基板幅宽没有被选用。
[原因]
在设置中,没有选用调整基板宽
[解决]
请在机器设置中进行调整
E291024 BOC信息发送失败 [ ID : ]
[原因]
BOC 数据不能发送到 VCS ? : BOC ID
[解决]
请重新示数据。
E291025 服被关闭, 不能行。
[原因]
释放状态
[解决]
请解除释放状态后,行返回原点并再次执行。
E291026 请取下传送上的基板。
[原因]
因为传送上有基板,不能[调整基板宽]
[解决]
下传送上的基板后,再次执行。
E291027 因为定基板操作结束以不能BOC准。
[原因]
定基板操作结束状态下,要 BOC 准。
[解决]
请重新行基板操作后, BOC 准。
E291028 有错误。
[原因]
的设和发生标错误的站台设不同时显示。
[解决]
请用其站台设备再试
E291029 MTC电源未打
[原因]
MTC 时,没有打 MTC 电源
3-92
[解决]
请打 MTC 电源
E291030 没有连接MTC
[原因]
MTC 时, MTC 不是联机状态
[解决]
请用 MTC HOD 连接 MTC(联机)。
E291031 MTC未初始化。
[原因]
MTC 时,没 MTC 初始化。
[解决]
请用 MTC HOD MTC 的初始化。
E291032 MTC补充状态
[原因]
MTC 时,MTC 补充状态
[解决]
请按一下 MTC 补充,解除 MTC 补充状态
E291033 MTC传送没有进行初始化。
[原因]
MTC 调整时,发现没有 MTC 的传送初始化。
[解决]
请用 MTC HOD行传送初始化。
E291034 MTC于紧急停止状态
[原因]
MTC 时,MTC 于紧急停止状态
[解决]
请解除 MTC 紧急停止状态
E291035 未输入基板数据。
[原因]
因基板数据不完以不能 BOC 准。
[解决]
请完成基板数据。
E291036 在设置中,共面检测器没有被选用。
[原因]
在机器设置中,没有选用共面检测
[解决]
在机器设置中,请选共面检测
Q291500 BOC失败。 继续,请按[]停止,请按[]
[原因]
图像处理设(VCS)中,不能 BOC
[解决]
BOC 记可能没有被正确示
Q291501 被用 继续,请按[]停止,请按[]
[原因]
因按下STOP以停止行。
[解决]
要继续,请[]要停止,请[]
Q291502 BOC 准,请注安全 行,请按[]停止,请按[]
[原因]
,提安全
[解决]
要继续,请[]要停止,请[]
Q291505 位置动,请注安全 行,请按[]停止,请按[]
[原因]
,提安全
[解决]
要继续,请[]要停止,请[]
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Q291506 动基板宽,请取下基板和把之行。
[原因]
进行调整传送宽,询问是否已除传送上的基板和、是否已进行安全时显示。
[解决]
行,请[]要停止,请[]
Q291507 没有完成调整基板宽的返回原点,是否行返回原点并继续行?
[原因]
没有完成调整基板宽的返回原点操作时,显示是否行返回原点的询问。
[解决]
行,请[]要停止,请[]
Q291508 是否也MTC置的基板幅宽?行,请按[]停止,请按[]
[原因]
询问是否 MTC 的基板传送宽
[解决]
动请按 [],否请按 []
I291509 请联机MTC
[原因]
MTC 时,MTC 不是联机状态
[解决]
请用 MTC HOD,连接 MTC(联机)。
Q291510 虽然真空器已被安装,是否也动基板幅宽?行,请按[]停止,请按[]
[原因]
真空台已被安装状态下,询问是否要调整基板宽时显示。
[解决]
如果运行请按 [],否,请按 []
数据
数据数据
数据
E292000 没有注册数据。
[原因]
数据上的注册数据为 0 件时,一下操作
1. 数据管理画面中,[重新命名(C)][删除(D)]
2. 数据注册画面中,[覆盖注册(A)]
3. 图像画面中,[(C)]
[解决]
数据上的注册数据为 0 件时,不能行以上 13 操作
E292001 请选
[原因]
1. 在标数据管理画面上,尽管[重新命名(C)][删除(D)]没有选择目标标
2. 图像画面上,尽管[(C)]没有选择目标标
[解决]
请选择目标标
E292002 注册数已,不能注册。
[原因]
因为标数据的注册数据已(限制为100 )以不能注册新的数据。
[解决]
请在标数据管理画面上,删除用的标
E292003 已经存在同注册的标
[原因]
已经存在同注册的标
1. 在标数据管理画面中,[重新命名(C)]显示标数据更改画面。在此画面上,输入的“更
改后的在数据中已存在。
2.数据注册画面中,[新建(N)][覆盖注册(A)]时,输入的“新在数据中已存在。
[解决]
请输入标数据中没有的
E292004 请输入注册
[原因]
请输入注册