KE-2050_2060_Troubleshooting - 第299页
3-282 E650224 传送基板错误 : 入口 缓冲 区 搬 入基板 超 过时 间 。 [ 原因 ] 因为入口传 感 器 察觉 到基板 搬 入， 所 以 运 行基板 搬 入， 可 是 关闭 入口传 感 器后， 过一 段 时 间 也不能 开 启等 待 传 感 器。 [ 解决 ] ① 有 可 能传送宽 度 和基板宽 度 不 吻 合 ，请 再调整 传送宽 度 。 ② 要传送的基板不符机器规 格 。以下的 情况 是规 格 外 的基板 ： 基…
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操作。如果两三次反复运行也发生同样的错误的话，请与代理店或本公司技术服务部取联系。
基板传送驱动器、自动传送、空运
基板传送驱动器、自动传送、空运基板传送驱动器、自动传送、空运
基板传送驱动器、自动传送、空运转
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E650001 基板传送错误 :传送系统错误。
[原因]
[解决]
E650100 基板传送错误: 传送基板时，发生异步现象。
[原因]
[解决]
E650208 传送基板错误 : 检查中心马达停止错误。
[原因]
中心马达停止控制异常。作为原因，能考虑轴控制器基板的异常状态。
[解决]
① 关闭系统，关掉电源之后，请重新启动。
② 在①的处理上没有解决问题时，能考虑为轴控制基板的故障。
请与代理店或本公司技术服务部取得联系。
E650218 传送基板错误 : 不是Resume暂停状态， 却被接受Resume返回原点命令。
[原因]
系统内部发生了指令错误。
[解决]
请结束生产之后，在继续生产上进行再生产。
W650219 传送基板错误 : 正在传送基板。
[原因]
系统内部发生了指令错误。
[解决]
请结束生产之后，在继续生产上进行再生产。
E650221 传送基板错误 : 等待传感器OFF超时。
[原因]
基板从入口缓冲区到中心站台移动中，没有检测到等待传感器关闭。
基板因某种原因在传送道上被卡住，而停止。
[解决]
① 传送幅度和基板宽度不吻合，请再调整传送幅度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。重量超过 2 公斤的基板。
③ 等待传感器不变成 OFF(关闭)时,能考虑为等待传感器的故障。请与代理店或本公司技术服务部取得联
系。
④ 如果中心马达不运转时，请与代理店或本公司技术服务部取得联系。
E650222 传送基板错误 : 入口传感器和等待传感器同时被检测时错误。请卸下基板。
[原因]
将把入口缓冲区(在等待传感器上面)的基板搬入到中心站台时,入口传感器检测(ON)到基板。
将把入口缓冲区(在入口传感器上面)的基板搬入到中心站台时,等待传感器检测(ON)到基板。
[解决]
① 入口传感器和等待传感器的安装位置不正确。请调整传感器位置，使两个传感器不要同时启动。
② 前工序的出口传感器位置太近的话，请重新调整出口传感器位置。
③ 要传送的基板不符机器规格。各种基板的最大界限是：M 基板时 330mm，L 基板时 410mm，E 基板时 510mm。
E650223 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板出错，被强行停止。 请取下基板。
[原因]
将把入口缓冲区(在等待传感器上面)的基板搬入到中心站台时,入口传感器检测(ON)到基板。
将把入口缓冲区(在入口传感器上面)的基板搬入到中心站台时,等待传感器检测(ON)到基板。
[解决]
① 入口传感器和等待传感器的安装位置不正确。请调整传感器位置，使两个传感器不要同时启动。
② 前工序的出口传感器位置太近的话，请重新调整出口传感器位置。
③ 要传送的基板不符机器规格。各种基板的最大界限是：M 基板时 330mm，L 基板时 410mm，E 基板时 510mm。
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E650224 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板超过时间。
[原因]
因为入口传感器察觉到基板搬入，所以运行基板搬入，可是关闭入口传感器后，过一段时间也不能开启等
待传感器。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果打不开等待传感器时，就可以考虑等待传感器的故障。请与代理店或本公司技术服务部取得联系。
E650226 传送基板错误 : 基板在入口缓冲区～中心缓冲区移动时，发现入口传感器ON。 请取下基板。
[原因]
把入口缓冲区的基板往中心缓冲区移动时，入口传感器检测出ＯＮ(打开状态)。
[解决]
有可能前工序的ＯＵＴ(出口)传感器位置太靠近，请再调整一下ＯＵＴ(出口)传感器位置。
E650227 传送基板错误 : 入口传感器 OFF超时。
[原因]
因检测出入口传感器的ＯＮ,所以进行了基板搬入动作,但是过了一定时间也未能检测到入口传感器的
OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果入口传感器没有变成 OFF，就可以认为入口传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务部取
得联系。
E650232 传送基板错误 : STOP 传感器 OFF超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到ＳＴＯＰ传感器的ＯＦＦ。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为ＳＴＯＰ传感器发生故障。请与代理店或本公司技术
服务部取得联系。
E650233 传送基板错误 : C.OUT 传感器 OFF超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果Ｃ．ＯＵＴ传感器没有变成 OFF 时，就认为Ｃ．ＯＵＴ传感器发生故障。请与代理店或本公司技
术服务部取得联系。
E650234 传送基板错误 : 基板从入口区到中心区移动超过时间。
[原因]
将入口缓冲区的基板搬到中心站台时，检测到入口缓冲区的等待传感器的 OFF 后，过了一段时间也ＳＴＯ
Ｐ传感器不给变为 ON。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ传感器没有变成ＯＮ时，就认为ＳＴＯＰ传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服
务部取得联系。
E650235 传送基板错误 : C.OUT传感器ON超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的 ON
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果 C.OUT 传感器没有变成 ON 时，就认为 C.OUT 传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务部取
得联系。
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E650236 传送基板错误 : 中心STOP ON时，发现C.OUT 传感器ON错误。
[原因]
往中心缓冲区搬入基板时，中心停止传感器为ＯＮ时，检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650237 传送基板错误 : 中心STOP ON时，发现STOP 传感器ON错误。
[原因]
往中心缓冲区搬入基板时，中心停止传感器为ＯＮ时，检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650238 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器ON超时。
[原因]
在固定时的基板吸取动作中，没有检测出真空传感器的 ON。
[解决]
有可能吸取基板后的真空传感器的检测动作时机过早。请在机器设置上设置真空台。
E650239 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器OFF超时。
[原因]
在固定时的基板吸取动作中，没能检测出真空传感器ＯＦＦ。
[解决]
有可能吸取基板后的真空传感器的检测动作时机过早。请在机器设置上设置真空台。
E650240 传送基板错误 : 真空台使用设置与机器设置不同。
[原因]
在机器设置的使用单元的真空台的设置和生产程序的基板吸取控制的设置不同。
[解决]
请检查机器设置的使用单元的设置，或者生产程序的设置。
E650261 传送基板错误 :OUT缓冲区搬出基板超时。
[原因]
对下游工程做基板搬出动作时，3 秒之内没有检测到 OUT 传感器的 OFF。
[解决]
下游工程的传送速度慢(反流等)的时候，请变更传感器 ON→OFF 监视计时器(机器参数)的值。
E650262 传送基板错误 : OUT传感器OFF超时。
[原因]
对下游工程做基板搬出动作时，没有检测到 OUT 传感器的 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果 OUT 传感器没有变成 OFF 时，就认为 OUT 传感器发生故障。 请与代理店或本公司技术服务部取
得联系。
E650264 传送基板错误 : 从中心缓冲区到出口缓冲区，基板移动超时。
[原因]
将中心缓冲区取的基板移到出口侧中心缓冲区时，检测到中心缓冲区的 C-OUT 传感器 OFF 后，过了一段时
间也出口传感器不给变为 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果 OUT 传感器没有变成 ON 时，就认为 OUT 传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务部取得联
系。
E650265 传送基板错误 :出口缓冲区，基板搬出超时。
[原因]
对下游工程做基板搬出动作时，3 秒之内没有检测到 OUT 传感器的 OFF。
[解决]
下游工程的传送速度慢(反流等)的时候，请变更传感器 ON→OFF 监视计时器(机器参数)的值。
E650266 传送基板错误 : 出口快门超时。
[原因]
对下面工程的基板搬出中，出口快门一直处于关闭状态。有可能出口快门开传感器的线路断线。
[解决]
请打开快门后，运行。备注) 变为不能用快门控制。