KE2040取扱説明書Ver.2.01和文Rev.04 - 第259页
4 - 154 (1) 操作 操作 操作 操作 ① 搬送動作 基板を搬入するか，搬出するかをリストから選択します。 ② BOC アライメント 基板搬入直後にＢＯＣアラ イメントを実施するか を選択します。「 操作オプションに従う」 を 選択した場合は，操作オプション設定のティーチング項目の設定が適用されます。 (2) 状態 状態 状態 状態 現在の基板搬送の内容および動作状況が逐次表示されます。 搬送を実行するには < ス…
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4-12-1. 搬送
搬送搬送
搬送
4-12-1-1. 基板ロード
基板ロード基板ロード
基板ロード/基板搬出
基板搬出基板搬出
基板搬出
基板の搬入および搬出を行うことができます。
メニュー選択後、安全カバーが開いていると軸を安全位置に待避するため以下のダイアログが表示さ
れます。
安全を確認して＜スタート
スタートスタート
スタート＞ボタンを押してください。
図
図図
図 4-12-1-1-1
安全確認ダイアロ
安全確認ダイアロ安全確認ダイアロ
安全確認ダイアログ
ググ
グ
◇ 軸を安全位置に待避後，以下の基板搬送ダイアログが表示されます。
図
図図
図 4-12-1-1-2
基板搬送ダイアログ
基板搬送ダイアログ基板搬送ダイアログ
基板搬送ダイアログ
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(1) 操作
操作操作
操作
① 搬送動作
基板を搬入するか，搬出するかをリストから選択します。
② BOC アライメント
基板搬入直後にＢＯＣアライメントを実施するかを選択します。「操作オプションに従う」を
選択した場合は，操作オプション設定のティーチング項目の設定が適用されます。
(2) 状態
状態状態
状態
現在の基板搬送の内容および動作状況が逐次表示されます。
搬送を実行するには<スタート>ボタン（または<実行>）を押します。
操作を終了する時は、<閉じる>を押します。
搬送途中で，なんらかの理由で動作を取りやめたいときは，<ストップ>ボタンで停止できます。
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4-12-1-2. 自動基板調整
自動基板調整自動基板調整
自動基板調整
基板搬送幅の調整を行うことができます。
メニューを選択後，以下のダイアログが表示されます。
図
図図
図 4-12-1-2-1
自動基板幅調整ダイアログ
自動基板幅調整ダイアログ自動基板幅調整ダイアログ
自動基板幅調整ダイアログ
(1) 基板幅の移動
基板幅の移動基板幅の移動
基板幅の移動
基板外形寸法＋余裕幅を合わせた幅長に搬送幅を移動させます。実行時の搬送幅の値は以下項目
の設定値が適用されます。
(2) 基板外形寸法
基板外形寸法基板外形寸法
基板外形寸法
基板外形寸法をスピンボタンまたは数値入力で設定します。デフォルトは基板データの基板外形
寸法（Ｙ）が代入されています。