KE2040取扱説明書Ver.2.01和文Rev.04 - 第43页

1 - 25 1-2-2. 基板搬送部の機構及び各部の名称 基板搬送部の機構及び各部の名称 基板搬送部の機構及び各部の名称 基板搬送部の機構及び各部の名称 1. ピン基準の場合 1) 基板が搬入され、 IN センサ①が基板を検出すると、 搬送モータ⑦がドライブシャフト⑧を駆動 させ、搬送ベルトによる搬送が開始されます。また、同時にストッパ⑨が ON になります。 2) 基板がストッパ⑨に達すると、 STOP センサ③が検出し、 BU プ…

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ATC ユニット ④基板搬送ユニット
②ヘッドユニット ⑤フィーダバンクユニット
X-Y ユニット ⑥VCSユニット
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1-2-2. 基板搬送部の機構及び各部の名称
基板搬送部の機構及び各部の名称基板搬送部の機構及び各部の名称
基板搬送部の機構及び各部の名称
1. ピン基準の場合
1) 基板が搬入され、IN センサ①が基板を検出すると、搬送モータ⑦がドライブシャフト⑧を駆動
させ、搬送ベルトによる搬送が開始されます。また、同時にストッパ⑨が ON になります。
2) 基板がストッパ⑨に達すると、STOP センサ③が検出し、BU プレート⑫が上昇します。ここで、
基板は BU プレート⑫に取付けられたセンタリングピン⑪、BU ピン⑭により固定されます。
3) 固定後、次の基板は同様に搬入され、ウェイトセンサ⑯の位置で待機します。
4) 生産が終了すると固定は解除され、搬出が開始されます。
5) 最初の基板が C-OUT センサ④を通過すると再びストッパ⑨が ON になり、次の基板が固定さ
れます。
2. 外形基準の場合<オプション>
搬入動作はピン基準と同じですが、固定時に基板の外形をストッパ⑨、プッシャ X⑩(X 方向)
プッシャY⑮(Y 方向)BU ピン⑭により固定します。
搬出動作はピン基準と同じです。
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IN センサ
⑨ ストッパ
OUT センサ ⑩ プッシャ X(外形基準オプション)
STOP センサ ⑪ センタリングピン
C-OUT センサ BU テーブル
BU-UP センサ ⑬ モータ制御
BU-DOWN センサ BU ピン
⑦ 搬送モータ ⑮ プッシャ Y(外形基準オプション)
⑧ ドライブシャフト
ウェイトセンサ
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