KE2040取扱説明書Ver.2.01和文Rev.04 - 第641页

9 - 26  9-3-2. 搬送 搬送 搬送 搬送系自動制御 系自動制御 系自動制御 系自動制御 [制御 ( C ) ] [搬送系 ( C ) ] [自動制御 ( A ) ... ]を選択すると、 下記の搬送系自動制御のダイア ログが表示されます。 図 図 図 図 9-3- 2 搬送系自動制御ダイアログ 搬送系自動制御ダイアログ 搬送系自動制御ダイアログ 搬送系自動制御ダイアログ(表示例. (表示例. (表示例. (表示例. KE-…

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7) 搬送モータ(センタバッファ)
搬送モータ(センタバッファ)の ONOFF を制御します。
制御項目の“搬送モータ(センタバッファ)がチェックされているときに<ONO
>ボタ
ン、OFFF
>ボタン、ONOFF/)>ボタンを選択するかまたは、F3キー、F4
キー、F5キーを押して制御します。
状態表示は、制御完了時に更新されます。
8) 搬送モータ(アウトバッファ)
搬送モータ(アウトバッファ)の ONOFF を制御します。
制御項目の“搬送モータ(アウトバッファ)がチェックされているときに<ONO
>ボタ
ン、OFFF
>ボタン、ONOFF/)>ボタンを選択するかまたは、F3キー、F4
キー、F5キーを押して制御します。
状態表示は、制御完了時に更新されます。
9) バックアッププレートストッパー
バックアッププレートストッパーの ONOFF を制御します。
制御項目の“バックアッププレートストッパー”がチェックされているときに< ONO
)>
ボタン、< OFFL)>ボタン、<ONOFF/
)>ボタンを選択するかまたは、キー
F4キー、 F5 キーを押して制御します。
状態表示は、制御完了時に更新されます。
10) 入口側シャッターシリンダ
入口側シャッターシリンダの開/閉を制御します。
制御項目の“入口側シャッターシリンダ”がチェックされているときに<開(O
)>ボタン、
<閉L>ボタン、<開/閉/
>ボタンを選択するかまたは、F3キー、Fキー F5
キーを押して制御します。
状態表示は、制御完了時に更新されます。
11) 出口側シャッターシリンダ
出口側シャッターシリンダの開/閉を制御します。
制御項目の“出口側シャッターシリンダ”がチェックされているときに<開(O
)>ボタン、
<閉L>ボタン、<開/閉/
>ボタンを選択するかまたは、F3キー、Fキー F5
キーを押して制御します。
状態表示は、制御完了時に更新されます。
12) チェックシリンダ
チェックシリンダの ON/OFF を制御します。
制御項目の“チェックシリンダ”がチェックされているときに<ONO
)>ボタン、<OFF
L)>ボタン、<ON/OFF/
)>ボタンを選択するかまたは、F3キー、F4キー、 F5
キーを押して制御します。
状態表示は、制御完了時に更新されます。
(3) 状態表示
各センサ、各ユニットの状態を制御完了時に表示します。
各センサ、各信号、各ユニットの状態を連続表示します。
注意
注意注意
注意 :
KE-2030以外の機種では設定できません。
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9-3-2. 搬送
搬送搬送
搬送系自動制御
系自動制御系自動制御
系自動制御
[制御C
[搬送系C[自動制御A...]を選択すると、下記の搬送系自動制御のダイア
ログが表示されます。
9-3-2
搬送系自動制御ダイアログ
搬送系自動制御ダイアログ搬送系自動制御ダイアログ
搬送系自動制御ダイアログ(表示例.
(表示例.(表示例.
(表示例.KE-2030
*1:“制御項目(基板移動クランプ)“基板ステーション間移動制御”“制御位置”
は、KE-2030 のみ表示されます。
(1) 制御項目
制御項目をラジオボタンにより選択します。
(2) 位置決め方式
位置決め方式をラジオボタンにより選択します。
制御項目(図 9-3-2 ダイアログ参照)“初期化”“基板搬出”“基板固定解除”“基板 WAIT/OUT
センサチェック”が選択されているときは、設定できません。
注意
注意注意
注意
:
*
*
*
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(3) 基板ステーション間移動制御
基板ステーション間移動の制御をラジオボタンにより選択します。
制御項目で[初期化][基板搬出][基板固定解除]が選択されているときには、設定できません。
KE-2030 以外の機種では、
両ステーションは設定できません。
(4) 制御位置
制御時の位置をラジオボタンにより選択します。
制御項目で“初期化”が選択されているときは,設定できません。
KE-2030 以外の機種では、
両ステーションは設定できません。
(5) 制御ボタン
制御ボタンにより制御項目を実行します。
1) 初期化
基板搬送を初期化します。
制御項目の“初期化”がチェックされているときに<実行E
>ボタンを選択するかまたは、
F3キーを押して制御します。
2) 基板ロード
位置決め方式で指定された方式により基板をロードします。
制御項目の“基板ロード”がチェックされているときに<実行(E
)>ボタンを選択するかま
たは、F3キーを押して制御します。
3) 基板搬出
基板を搬出します。
制御項目の“基板搬出”がチェックされているときに<実行(E
)>ボタンを選択するかまた
は、F3キーを押して制御します。
4) 基板固定解除
基板の固定を解除します。
制御項目の“基板固定解除”がチェックされているときに<実行(E
)>ボタンを選択するか
または、F3キーを押して制御します。
注意
注意注意
注意 :
注意
注意注意
注意 :