KE2040取扱説明書Ver.2.01和文Rev.04 - 第642页
9 - 27 (3) 基板ステーション間移動制御 基板ステーション間移動の制御をラジオボタンにより選択します。 制御項目で［初期化］ ［基板搬出］ ［基板固定解除］が選択されているときには、設定できません。 KE-2030 以外の機種では、 両ステーションは設定できません。 (4) 制御位置 制御時の位置をラジオボタンにより選択します。 制御項目で“初期化”が選択されているときは，設定できません。 KE-2030 以外の機種では、 …
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9-3-2. 搬送
搬送搬送
搬送系自動制御
系自動制御系自動制御
系自動制御
［制御（C
）］［搬送系（C）］［自動制御（A）...］を選択すると、下記の搬送系自動制御のダイア
ログが表示されます。
図
図図
図 9-3-2
搬送系自動制御ダイアログ
搬送系自動制御ダイアログ搬送系自動制御ダイアログ
搬送系自動制御ダイアログ（表示例．
（表示例．（表示例．
（表示例．KE-2030）
））
）
*１：“制御項目（基板移動クランプ）”“基板ステーション間移動制御”“制御位置”
は、KE-2030 のみ表示されます。
(1) 制御項目
制御項目をラジオボタンにより選択します。
(2) 位置決め方式
位置決め方式をラジオボタンにより選択します。
◆ 制御項目（図 9-3-2 ダイアログ参照）で“初期化”“基板搬出”“基板固定解除”“基板 WAIT/OUT
センサチェック”が選択されているときは、設定できません。
注意
注意注意
注意
:
*
*
*
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(3) 基板ステーション間移動制御
基板ステーション間移動の制御をラジオボタンにより選択します。
制御項目で［初期化］［基板搬出］［基板固定解除］が選択されているときには、設定できません。
KE-2030 以外の機種では、
両ステーションは設定できません。
(4) 制御位置
制御時の位置をラジオボタンにより選択します。
制御項目で“初期化”が選択されているときは，設定できません。
KE-2030 以外の機種では、
両ステーションは設定できません。
(5) 制御ボタン
制御ボタンにより制御項目を実行します。
1) 初期化
基板搬送を初期化します。
制御項目の“初期化”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択するかまたは、
Ｆ３キーを押して制御します。
2) 基板ロード
位置決め方式で指定された方式により基板をロードします。
制御項目の“基板ロード”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択するかま
たは、Ｆ３キーを押して制御します。
3) 基板搬出
基板を搬出します。
制御項目の“基板搬出”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択するかまた
は、Ｆ３キーを押して制御します。
4) 基板固定解除
基板の固定を解除します。
制御項目の“基板固定解除”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択するか
または、Ｆ３キーを押して制御します。
注意
注意注意
注意 :
注意
注意注意
注意 :
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5） 基板再クランプ
位置決め方式で指定された方式により搬送路上にある基板を再度クランプします。
制御項目の“基板再クランプ”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択する
かまたは、F3 キーを押して制御します。
6) 基板 ＷＡＩＴ／ＯＵＴ センサチェック
インバッファのインセンサとウェイトセンサの間にある基板をウェイトセンサがＯＮする位
置まで移動します。
また、アウトバッファのアウトセンサにかからない基板をアウトセンサがＯＮする位置まで移
動します。
制御項目の“基板 ＷＡＩＴ／ＯＵＴ センサチェック”がチェックされているときに＜実
行（E
）＞ボタンを選択するかまたは、F3 キーを押して制御します。
７) 基板移動クランプ
入口ステーション上にある基板を出口ステーションさせて出口ステーションに位置決め方式
で指定された方式によりクランプします。
制御項目の“基板移動クランプ”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択す
るかまたは、F3 キーを押して制御します。
注）KE-2030 以外の機種では設定できません。
(6) 状態表示
動作、各センサ、各信号、各ユニットの状態を連続表示します。
注意
注意注意
注意 :