KE2040取扱説明書Ver.2.01和文Rev.04 - 第697页

10 - 23  注意 注意 注意 注意        ・ <OK > ボタンを押 すと、 ノ ズルを戻す AT C 位置にカメラが移動し VCS モニタ ーにノズルを映 します。 ◇ 上記操作が行われると、画面上には<確認ダイアログ>が表示されます。 下記に、この<確認ダイアログ>の操作を示します。  丸い映像がある場合は AT C にノズルがある為、ヘッドのノズルが戻せません。 必ず<キャンセル>ボタ…

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ノズルを
ノズルをノズルを
ノズルを ATC に戻す操作は「半自動方式」と「手動方式」の2通りがあります。
に戻す操作は「半自動方式」と「手動方式」の2通りがあります。に戻す操作は「半自動方式」と「手動方式」の2通りがあります。
に戻す操作は「半自動方式」と「手動方式」の2通りがあります。
「半自動方式」 半自動返却ボタンを押して実行します。
手動方式 XY 移動ボタンZ 動ボタン、ATC 開ボタン、ATC 閉ボタンを操作し
お客様ご自身でノズルを手で取りやすい位置にヘッドを移動してヘッドから
ノズルを取り ATC に戻す方式です。
10-5-1-1. 「半自動方式」
「半自動方式」「半自動方式」
「半自動方式」
画面にレーザ汚れの情報がない場合は「半自動方式」を安全に実行できます。
Step1.(図 10-5-1-.2)画面で、<半自動返却>ボタンを押します。
Step2.実行するか否かの問い合わせ画面が表示されます。(図 10-5-1-1.1
Step3.ここで<Exec>ボタンを押すと[半自動方式]が開始されます。
10-5-1-1.1 半自動実行選択画面
半自動実行選択画面半自動実行選択画面
半自動実行選択画面
HMS オプションの有無により動作が変わります。
ATC にノズルが有るか否かの検出においてHMS がある場合は、HMS で検出を行います
HMS がない場合は、ノズルが装着されていないヘッドを使って ATC のノズルを1本1本
ってノズルの有無検出を行います。
HMS オプションがある場合は、ノズルの返却が自動で行われます。
一方 HMS プションがない場合は、ノズルを装着していない空きヘッドが必要であるた
め、ヘッドにノズルが装着されていると動で返却する前に1ヘッド分だけ ATC に戻
す位置を問い合せしてきます。
ここでノズルがセットされていない ATC 位置を指定してください。
10-5-1-1.2 ノズル返却位置確認画面
ノズル返却位置確認画面ノズル返却位置確認画面
ノズル返却位置確認画面
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注意
注意注意
注意

<OK>ボタンを押すと、ズルを戻す ATC 位置にカメラが移動し VCS モニターにノズルを映
します。
◇ 上記操作が行われると、画面上には<確認ダイアログ>が表示されます。
下記に、この<確認ダイアログ>の操作を示します。
丸い映像がある場合は ATC にノズルがある為、ヘッドのノズルが戻せません。
必ず<キャンセル>ボタンを押して下さい。
間違うとヘッドのノズルと ATC のノズルがぶつかり Z 軸の過負荷エラーになり、
ーボのロックが解除されます。
OK>ボタンを押すと指定された ATC 位置にノズルを返却します。1 本返却後のノズ
は全て自動で ATC に返却されます。
ただし、KE2030 の場合は左右に2つのヘッドがあるため各ヘッド毎にノズル返却動作
または問い合わせが実行されます。)
返却された各ノズルのノズル長さやバキュームレベルの情報はセットアップデータに自動
保存されます。
L
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10-5-1-2. 「手動方式」
「手動方式」「手動方式」
「手動方式」
ヘッドにレーザ汚れがある場合は「手動方式」で行ってください。
「手動方式」は前述のとおり、お客様ご自身がノズルを手で取りやすい位置にヘッドを移動してヘ
ッドからノズルを取り外し ATC に戻す方式です。
Step1.ヘッドの移動や ATC の開閉はボタンを選択して行います。
1.(図 10-5-1-.2)画、<XY 動>ボタンを押すと以下の画面が表示されます。XY 座標原
点は操作パネルがある正面左端が(0,0)の座標原点になります。
10-5-1-2.1 XY 任意座標移動画面
任意座標移動画面任意座標移動画面
任意座標移動画面
2.(図 10-5-1-.2)画、<Z 移動>ボタンを押すと以下の画面が表示されます。Z 軸の座標
原点は、基板の高さが座標原点(0)となり、“上が+下が−”表示になります。

10-5-1-2.2 Z 任意座標移動画面
任意座標移動画面任意座標移動画面
任意座標移動画面
Step2.(図 10-5-1-.2)画面で、<ATC 開>、<ATC 閉>ボタンを押すと確認ダイアログ画面
が表示されます。
10-5-1-2.3
<ATC
ATCATC
ATC 開>確認画面
開>確認画面開>確認画面
開>確認画面
10-5-1-2.4
ATC 閉>
閉>閉>
閉>確認画面
確認画面確認画面
確認画面