KE2040取扱説明書Ver.2.01和文Rev.04 - 第719页
11 - 17 (1) 設定項目 No 項目 設定する内容 1 到達真空圧 ヘッド側、 バキュームキャリブレーション側それぞれの圧力センサで とらえた最高真空到達値 2 真空到達時間 ヘッド側、 バキュームキャリブレーション側それぞれの圧力センサで とらえた真空到達時間 3 真空開始時間 ヘッド側、 バキュームキャリブレーション側それぞれの圧力センサと らえた真空開始時間 4 自然破壊開始時間 ヘッド側、バキ ュームキャリブレー…
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11-8. バキュームキャリブレーション
バキュームキャリブレーションバキュームキャリブレーション
バキュームキャリブレーション
設定グループ（G）] [バキュームキャリブレーション（A）...]を選択すると、下記のバキュームキャリ
ブレーションのダイアログが表示されます。
図
図図
図 11-8 バキュームキャリブレーションダイアログ
バキュームキャリブレーションダイアログバキュームキャリブレーションダイアログ
バキュームキャリブレーションダイアログ
● 設定ヘッド
設定対象ヘッドをコンボボックスにより選択します。
マシンセットアップの“使用ユニット”設定でチェックされていない（使用しない）ユニットは
選択できません。
◆ Alt + ↓キーで、下記の一覧表が表示されます。
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(1) 設定項目
No 項目 設定する内容
1 到達真空圧 ヘッド側、バキュームキャリブレーション側それぞれの圧力センサで
とらえた最高真空到達値
2 真空到達時間 ヘッド側、バキュームキャリブレーション側それぞれの圧力センサで
とらえた真空到達時間
3 真空開始時間 ヘッド側、バキュームキャリブレーション側それぞれの圧力センサと
らえた真空開始時間
4 自然破壊開始時間 ヘッド側、バキュームキャリブレーション側それぞれの圧力センサ
で、バキューム電磁弁 OFF から、真空値が吸着真空圧下限値に達す
るまでの時間
5 自然破壊時間 ヘッド側、バキュームキャリブレーション側それぞれの圧力センサ
で、バキューム電磁弁 OFF から、真空値が吸着真空圧限界値に達す
るまでの時間
6 正圧突入時間 ヘッド側の圧力センサで、ブロー電磁弁 OFF から、真空値が大気圧
を割って正圧に転換するまでの時間
(2) 設定方法
・設定ヘッド選択のコンボボックスで選択したヘッドについて操作内の指示に従い設定して下さい。
＜ＯＫ＞を選択すると、設定値は有効になります。（この時点ではデータベースへ保存されません。）
＜キャンセル＞を選択すると、設定値は無効になります。
● 操作方法
指示通り操作を行うことにより自動的に値が取得されます。
設定ヘッドで選択したヘッドを設定します。
＜確認＞を選択して下さい。
＜確認＞を選択すると、真空到達状況を自動で計測します。
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◆ 計測内容
① 設定ヘッドがバキュームキャリブレーション上に移動し、真空到達状況を 3 回計測します。
・2 回目と 3 回目の平均値が表示されます。
・計測後に表示される圧力値のグラフは、3 回目のデータです。
設定ヘッドで選択したヘッドを設定します。
＜確認＞を選択して下さい。
＜確認＞を選択すると、自然破壊状況を自動で計測します。