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QA表 NO. 1 (1/2) NO. 1 (2/2) 机 种 向CAL 块 上移 动 坏 标记传 感器, 拧 松螺 丝 cap(2 处 ), 让 坏 标记传 感器下面和CAL 块 上面的距离 变为规 格 值 移 动 BM 镜头 架,然后用螺 丝 cap固定。 ・坏 标记传 感器和CAL部上面的距离 → 28 mm ・坏 标记 的 检测错误 NO ① ② NO. 担当人 ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ 【3】-1 内容 '07…

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QA表 NO. 3 NO. 3 (2/2)
行MS参数的OCC像机补偿,确是否符合以下格。
OCC像机补偿(角度)=-1.2~0.4°
OCC像机补偿(角度)=-1.2~0.4° (注)如果不符合格,再次取,使像机具在监视器上,确和窗口没有接触。
错误值的情况下,监视器所示的部品框等会斜或偏移。
标记识别精度
标记识别异常
监视器所示的部品框斜或偏移。
NO
NO. 担当人
【2】-3
量特性()
功能作用(的意
方法及整方法(故障理方法)
KD-2077 装置名称 OCC装配
功能名称
OCC机补偿调整(角度) 制日期
2007/11/29
量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
想故障(应规不良而生的故障)
象元件
40069558 CAMERA 2077 ASM
更履
品名
关质量特性
内容
'07.11.29
E2106998000
像机
日期
QA表 NO. 1 (1/2) NO. 1 (2/2)
向CAL上移标记传感器,松螺cap(2),
标记传感器下面和CAL上面的距离变为规
BM镜头架,然后用螺cap固定。
・坏标记传感器和CAL部上面的距离 →
28
mm
・坏标记检测错误
NO
NO. 担当人
【3】-1
内容
'07.11.29
日期
更履
品名
关质量特性
象元件
想故障(应规不良而生的故障)
功能作用(的意
方法及整方法(故障理方法)
功能名称
BMR感器高度 制日期
2007/11/29
KD-2077 装置名称
标记传感器
量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
量特性()
+0.5
 0
基板上面
HEAD BODY
螺丝cap
QA表 NO. 1 (1/2) NO. 1 (2/2)
方法
以平台基准用直角尺量。
左、右、各个垂直 :±30μm以下
左右的差 :10μm以下
NO
NO. 担当人
【4】-1
KD-2077 装置名称 XY装置
方法及整方法(故障理方法)
功能名称
点胶板的垂直 制日期
2007/12/20
量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
量特性()
功能作用(的意
想故障(应规不良而生的故障)
象元件
更履
品名
关质量特性
内容
'07.12.20
日期