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NPM-W2 2018.0416 - 150 - (単位: mm) ■ 交换台车连接时（包括堆叠杆 状供料器） ※ 为了取出和设置供料器 ，需要以下空间。 ・ 从尾端顺序取出或设置的情况， 如上图所示，需要 400 mm 的空间。 ・ 若要从两侧都邻接供料器的位置 取出中间的供料器，需要供料器全长的 距离，因此需要最多 1 600mm 的空间 。 单轨传送带规格 双轨传送带规格 前 侧 前 侧 堆叠杆状供料器 堆叠杆状供料器 交换台车 …
NPM-W2 2018.0416
- 149 -
(单位: mm)
■ 单式托盘供料器连接时
■ 双式托盘供料器连接时
1 616 954
1 095.5
820.5 1 511.5
2 570
1 616 954
1 095.5
820.5 1 511.5
单式托盘供料器13 站供料器座
双式托盘供料器
交换台车
2 570
前 侧
交换台车
前 侧
前 侧
前 侧
1 055.5 943.5
2 570
571
810 951 571 810 951 571
1 055.5 943.5 571
2 570
单轨传送带规格 双轨传送带规格
单轨传送带规格 双轨传送带规格
基板传送基准
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
基板传送基准
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
NPM-W2 2018.0416
- 150 -
(単位: mm)
■ 交换台车连接时（包括堆叠杆状供料器）
※ 为了取出和设置供料器，需要以下空间。
・从尾端顺序取出或设置的情况，如上图所示，需要 400 mm 的空间。
・若要从两侧都邻接供料器的位置取出中间的供料器，需要供料器全长的距离，因此需要最多 1 600mm 的空间。
单轨传送带规格
双轨传送带规格
前 侧
前 侧
堆叠杆状供料器
堆叠杆状供料器
交换台车
交换台车
基板传送基准
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
NPM-W2 2018.0416
- 151 -
(
単位
: mm)
■ 单式托盘供料器连接时（包括堆叠杆状供料器）
※ 为了取出和设置供料器，需要以下空间。
・从尾端顺序取出或设置的情况，如上图所示，需要 400 mm 的空间。
・若要从两侧都邻接供料器的位置取出中间的供料器，需要供料器全长的距离，因此需要最多 1 600mm 的空间。
双轨传送带规格 单轨传送带规格
前 侧
前 侧
堆叠杆状供料器
堆叠杆状供料器
交换台车
基板传送基准
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
13 站供料器座
单式托盘供料器