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NPM-W2 2018.0416 - 152 - ( 単位 : mm) ■ 双 式托盘供料器连接时（包括堆叠杆 状供料器） ※ 为了取出和设置供料器 ，需要以下空间。 ・ 从尾端顺序取出或设置的情况， 如上图所示，需要 400 mm 的空间。 ・ 若要从两侧都邻接供料器的位置 取出中间的供料器，需要供料器全长的 距离，因此需要最多 1 600mm 的空间。 单轨传送带规格 双轨传送带规格 前 侧 前 侧 堆叠杆状供料器 交换台车 基板传…
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(
単位
: mm)
■ 单式托盘供料器连接时（包括堆叠杆状供料器）
※ 为了取出和设置供料器，需要以下空间。
・从尾端顺序取出或设置的情况，如上图所示，需要 400 mm 的空间。
・若要从两侧都邻接供料器的位置取出中间的供料器，需要供料器全长的距离，因此需要最多 1 600mm 的空间。
双轨传送带规格 单轨传送带规格
前 侧
前 侧
堆叠杆状供料器
堆叠杆状供料器
交换台车
基板传送基准
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
13 站供料器座
单式托盘供料器
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(
単位
: mm)
■ 双式托盘供料器连接时（包括堆叠杆状供料器）
※ 为了取出和设置供料器，需要以下空间。
・从尾端顺序取出或设置的情况，如上图所示，需要
400 mm
的空间。
・若要从两侧都邻接供料器的位置取出中间的供料器，需要供料器全长的距离，因此需要最多
1 600mm
的空间。
单轨传送带规格 双轨传送带规格
前 侧
前 侧
堆叠杆状供料器
交换台车
基板传送基准
基板传送基准
(后侧轨道)
基板传送基准
(前侧轨道
双式托盘供料器
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(
单位
: mm)
■ 调整螺栓的配置图
单轨传送带规格
双轨传送带规格
75 75 1 113
Air
475
246 454.5 1 165.5 246
1 001 636
1 411.5
2 112
700.5
993 120 150
1 263
电源
基板传送基准
前 侧
75 75 1 113
Air
475
246 444 605 246
1 001 636
851
2 112
690
993 120 150
1 263
电源
基板传送基准
(
前侧轨道
)
前 侧
基板传送基准
(
后侧轨道
)
571
571