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SIPLACE 80 S-20 / S-23HM/ F4 / F4-6 / F5 1 Nachrüstanleitung für Option Keramiksubstrat-Zentrierung Ausgabe 04/2000 1.4 Ablauf der Nachrüs tung 27 $QVSUHFKDEV WDQGGHV1lKHUXQJVVFKDOWHUVHLQV WHOOHQ Å S t ellen Si…

1 Nachrüstanleitung für Option Keramiksubstrat-Zentrierung SIPLACE 80 S-20 / S-23HM/ F4 / F4-6 / F5
1.4 Ablauf der Nachrüstung Ausgabe 04/2000
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Abb. 1.4.7 Montage der X-Zentriereinheit auf der Hubtischplatte
1. Unterteil der Schlitteneinheit
2. Grundkörper mit Schlitteneinheit
3. Befestigung des Grundkörpers lösen (2 Innensechskantschrauben M 4)
4. 2 Zylinderstifte 3M5x10 DIN 6325 (für Montage auf der Hubtischplatte)
5. 2 Innensechskantschrauben M4 x 30 (für Montage auf der Hubtischplatte)
6. Druckluft-Flachzylinder
7. Drosselventil (Öffnungsgeschwindigkeit)

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Ausgabe 04/2000 1.4 Ablauf der Nachrüstung
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Å Stellen Sie sicher, daß die Ansprechfläche des induktiven Näherungsschalters 0,2 mm gegen-
über der Anschlagfläche der Schlitteneinheit in der Bohrung zurücksteht.
Damit wird ausgeschlossen, daß der Näherungsschalter bei der Öffnungsbewegung als An-
schlag dient und beschädigt wird.
Å Korrigieren Sie ggf. die Position des Näherungsschalters (Madenschraube, Innensechskant-
Schraubendreher Gr. 1).
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Um die 3-Punkt-Anlage des Substrats für die Zentrierung in Y-Richtung zu gewährleisten, muß die
Keramiksubstrat-Zentrierung an die anschließend zu verarbeitende Substratgröße angepaßt wer-
den.
Der Druckstückhalter und die lange Führungsleiste müssen hierfür noch ausgebaut sein (siehe
Abb. 1.4.3 -> 5, 10).
Å Passen Sie die Anordnung der Kugellager in der langen Führungsleiste und im Druckstückhal-
ter an die Substratgröße an, wie in Abb. 1.4.8 dargestellt.
Å Falls erforderlich, treiben Sie mit einem Durchschlag (2,5mm) die entsprechende Welle samt
Kugellager heraus (Preßsitz).
HINWEIS:
Bewahren Sie die entfernten Kugellager inkl. Welle sorgfältig auf, so daß diese für die Zurückän-
derung auf eine kleinere Substratgröße wieder zur Verfügung stehen.
Å Stellen Sie ggf. auch gleich den Halter an der "Schlitteneinheit X-Richtung" auf die erforderli-
che Substratgröße ein (siehe Abb. 1.4.8).

1 Nachrüstanleitung für Option Keramiksubstrat-Zentrierung SIPLACE 80 S-20 / S-23HM/ F4 / F4-6 / F5
1.4 Ablauf der Nachrüstung Ausgabe 04/2000
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Abb. 1.4.8 Einstellen der Substratgröße