SM421 Maintenance Reference(Chi Ver1)_866B5 - 第25页

1-3 Set up by default at 3 phases and 220V  3 相 AC 220 ± 20V ( 购买公司没有提前订货的情况下， 设备销售基准。 ) <TRANS SPECIFICA TION> 1. Capacity: 5.0 KV A 2. Frequancy: 50/60Hz 3. Phase: 3 φ 4. Connection: Y -Y 5. Rated primary volta…

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1.2.
1.2.1. 对压缩气的要求事项
主 气压: 0.45 ~ 0.7 MPa
副气压: 0.45 ~ 0.55 MPa
压缩气用量: 最大 260 NL/min
压力空压条件
 Main 配管：外径 20mm 以上
 输入软管外径 12mm 以上
 输入软管长 5m 以内
干燥空气: 大气露点 -17℃ 或 以下
1.2.2. 对电源的要求事项
电压
 AC 200±18V / 208±19V / 220±20V / 240±22V / 380±25V / 415±28V (变
更变压器的接线方式时) 适用于6种电压值。
OFF
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Set up by default at 3 phases and 220V
 3相 AC 220±20V (购买公司没有提前订货的情况下，设备销售基准。)
<TRANS SPECIFICATION>
1. Capacity: 5.0 KVA
2. Frequancy: 50/60Hz
3. Phase: 3φ
4. Connection: Y-Y
5. Rated primary voltage: 3相 200/208/220/240/380/415 VAC
Rated primary voltage: 6.96 A
Secondary #2: 1φ 220-2KVA
Secondary #3: 3φ 220-3KVA
总消耗电力: 最大 4.7 KVA
频率: 50 / 60 Hz
如果未使用指定规格的电压或错误变更电源输入，可能导致
火灾或电击死亡。
变更电源输入操作必须由经过专门培训的维护修理管理人员
或我方授权指定的C/S人员进行。
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1.3.
1.3.1. Cleaning Kit (资材编号: J8100118A)
本设备维护时必须使用的Cleaning Kit将随机提供。这里介绍组成Cleaning Kit的内
容物及其用途。
刷子 空气喷射器
小刷子
空气喷射器
吹掉 Camera 镜片表面上的灰尘。
刷子
清除喂料器底座表面的晶片或异物。
小刷子
清除 Mirror 表面的灰尘。
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