SM421 Maintenance Reference(Chi Ver1)_866B5 - 第42页
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空气喷射器
空气喷射方向
Camera Lens
CCD Camera
第3章. 定期检验
3-1
3.1.
3.1.1. Nozzle Holder
装配部品时 ， 因应用不适当 ， 可能会发生nozzle holder的弯曲 ， 所以经常要确认
nozzle holder的弹簧力和弯曲与否。
3-1. Nozzle Holder
利用’Put All Nozzle’命令把附着在 Head Assembly 的 Spindle 上的吸嘴移动到
ANC。
操作示教盒， Head Assembly最大限度向前移动。