TR7700_SII_Hardware_ch-v2.51_20120621 - 第61页

Test Research Inc. TR 7700 SII User Guide -- Hardware 49 6 電控盤 6.1 架構及功能 6.1.1 前下門內部配置 機台前下內部的配置如下圖所示,主要包含;主機、打光控制箱、電源控制箱、電磁 干擾過濾器 (EMI Filter) 、X與Y軸動態驅動器、電源供應器以及 AC&DC BU S 。 圖 101 :前下門內部 配置

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Test Research Inc.
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5.4
配線圖
100
:外接式支撐銷配線圖
Test Research Inc.
TR7700 SII User Guide--Hardware 49
6
電控盤
6.1
架構及功能
6.1.1
前下門內部配置
機台前下內部的配置如下圖所示,主要包含;主機、打光控制箱、電源控制箱、電磁
干擾過濾器(EMI Filter)、X與Y軸動態驅動器、電源供應器以及 AC&DC BUS
101
:前下門內部配置
Test Research Inc.
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6.1.1.1 打光控制箱
102
:打光控制箱
6.1.1.2 電磁干擾過濾器(EMI Filter)
103
:電磁干擾過濾器