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第 1 章 作 业顺 序书 1-1. 系统软件的安 装 8. 触摸[触控屏]的[调整完成],结束触控屏的调整。 [调整完成]按 钮变为蓝色显 示。 1-1- 3 . 基板流动方向的选择 在[制造菜单] 画面上选择 传送 方向以及后 侧传送的基 准轨道。 初始设置如下所 示。 基板流动方向: 从 右向左 后侧传送基准轨 :第 3 轨道 5

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