维修手册_RX-7R_SVC.pdf - 第138页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 64 触摸［校准执行］。 5 用传感器和摄像 机对 治具 板的孔进行测定，测定转写。 校准 正常完成后 ，贴装头移动，照射激 光到 基板标记的中心。 以目视确认激光已射到基板标记的中心。 6 触摸［完毕］。 7 停止 激光照射。保存校准结果 ，显示基板 翘曲 检测传感器转写 调整 治具板的拆卸画面 。 触摸［开始拆卸］。 8 进行 左右一次性更换台车上升 、前面护罩的锁定后， XY 轴向 退避位…
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
63
打开前面护罩，在右侧装置的前侧通道上，把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安
2
放到距轨道端
245
㎜的位置。
请把基板标记和治具标记的位置对齐。
关闭前面护罩，触摸［安装完成］。
3
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
4
显示右侧装置基板翘曲检测传感器转写调整的画面。
第 2 轨道
第 1 轨道
治具插入位置
治具标记
基板标记
基板翘曲检测传感器
转写调整治具板
装置前面
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
64
触摸［校准执行］。
5
用传感器和摄像机对治具板的孔进行测定，测定转写。校准正常完成后，贴装头移动，照射激
光到基板标记的中心。
以目视确认激光已射到基板标记的中心。
6
触摸［完毕］。
7
停止激光照射。保存校准结果，显示基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸画面。
触摸［开始拆卸］。
8
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴向退避位置移动。然后进行基板夹钳
下降、左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
拆下基板翘曲检测传感器转写调整治具板。
9
触摸［拆卸完成］。
10
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
11
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
65
基板面
基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸完成后，显示如下画面。
把右侧装置传送轨道的基板压条位
置设定为
“
手按位置
”
。
触摸［装置内作业开始］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
打开前面护罩，把右侧装置前后通道传送轨道的基板压条位置移动到
“
手按位置
” 2
( )
。
关闭前面护罩，触摸［装置内作业完成］。
3
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
4
显示右侧装置前后通道的基板面高度测定画面。
装置前面
第 3 轨道
第 1 轨道