维修手册_RX-7R_SVC.pdf - 第139页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 65 基板面 基板 翘曲检测传感器转写调整 治具板的拆卸完成后，显示 如下画面。 把右侧装置传送轨道的 基板压条位 置设定为 “ 手按位置 ” 。 触摸［装置内作业开始］。 1 进行左右一次性 更换台车上升、前面护罩的 锁定后， XY 轴向待机位置移动 ，进行左右 一次性更 换台车下降、前 面护罩解除锁定。 打开前面护罩，把右侧装置前后通道传送轨道的基板压条位置移动到 “ 手按位置 ” 2 ( …
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
64
触摸［校准执行］。
5
用传感器和摄像机对治具板的孔进行测定，测定转写。校准正常完成后，贴装头移动，照射激
光到基板标记的中心。
以目视确认激光已射到基板标记的中心。
6
触摸［完毕］。
7
停止激光照射。保存校准结果，显示基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸画面。
触摸［开始拆卸］。
8
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴向退避位置移动。然后进行基板夹钳
下降、左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
拆下基板翘曲检测传感器转写调整治具板。
9
触摸［拆卸完成］。
10
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
11
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
65
基板面
基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸完成后，显示如下画面。
把右侧装置传送轨道的基板压条位
置设定为
“
手按位置
”
。
触摸［装置内作业开始］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
打开前面护罩，把右侧装置前后通道传送轨道的基板压条位置移动到
“
手按位置
” 2
( )
。
关闭前面护罩，触摸［装置内作业完成］。
3
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
4
显示右侧装置前后通道的基板面高度测定画面。
装置前面
第 3 轨道
第 1 轨道
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
66
触摸［校准执行］。
5
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，以传感器测定基板面高度，显示基准高度
的测定结果。
校准正常完成后，显示［校准处理正常完成。］的信息。
确认测定结果没有问题。
6
触摸［完毕］。
7