维修手册_RX-7R_SVC.pdf - 第205页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 131 以目视确认 OCC 图像正确地出现在 AT C 圆孔位置的中央，。 2 触摸 / 可调整摄像机 照明 的 亮度 。 触摸 可使槽号 提升 1 位。槽号到 20 时，吸嘴盒编号变为 2 。 用 OCC 图像确认１、 2 号吸嘴盒之全部 #1 ～ #20 槽的圆孔位置。 3 触摸［确认 OK ］。 4
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
130
2-3-6. ATC
调整
从画面左侧的子菜单中触摸［
ATC
调整］。
1
显示［进度列表］画面。
触摸［个别显示］。
2
吸嘴的交換位置确认
Stage5
的处理完成后，显示如下画面。首先进行
ATC
的位置确认。
触摸［确认开始］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，［
ATC
号码］和［插槽号码］内显示
“1”
。
读取
1
号和
2
号吸嘴盒的标记，使
OCC
中心向
1
号吸嘴盒
1
号槽的圆孔位置移动。然后进行左
右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
OCC
图像在画面右下方显示，
OCC
照明亮灯。
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
131
以目视确认
OCC
图像正确地出现在
ATC
圆孔位置的中央，。
2
触摸
/
可调整摄像机照明的亮度。
触摸 可使槽号提升
1
位。槽号到
20
时，吸嘴盒编号变为
2
。
用
OCC
图像确认１、
2
号吸嘴盒之全部
#1
～
#20
槽的圆孔位置。
3
触摸［确认
OK
］。
4
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
132
吸嘴的交換确认
吸嘴的状态确认完成后，显示如下画面。为了确认吸嘴的更换，把吸嘴安装到吸嘴盒内。
触摸［装置内作业开始］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，装在贴装头上的全部吸嘴收存至吸嘴盒，
所有的基板传送轨道向身前靠近。然后进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
打开前面护罩，用手拆下装置内的左右吸嘴盒。
2
在装置内左右吸嘴盒之槽号
#1
～
#8
和
#11
～
#18
的位置上安装吸嘴（合计
32
个）。
3
请将吸嘴的半缺部对准销子。
把吸嘴盒装在原来的位置上。
4
关闭前面护罩，触摸［装置内作业完成］。
5
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。