KE-3010_KE-3020V_KE-3020VR-Rev06PDFA - 第19页
- 10 - NOTE( 注記 ) #01....UNTIL M/C REV.D マシン ＲＥ Ｖ．Ｄ まで #02....AFTER M/C REV.E マシン ＲＥ Ｖ．Ｅ 以降 REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 401-14538 VACUUM PUMP ASM 真空ポンプ組 1 2 400-99547 VACUUM_PUMP_ASM 真空ポンプ組 (1) 3 …
- 9 -
5. BASE FRAME ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS(1)
ベースフレーム電装関係（１）
7
20
19
1
15
15
17
18
14
13
8
6
5
4
16
3
2
12
11
10
9
21
22
31
26
29
30
27
28
23
25
- 10 -
NOTE( 注記 ) #01....UNTIL M/C REV.D マシン ＲＥＶ．Ｄ まで
#02....AFTER M/C REV.E マシン ＲＥＶ．Ｅ 以降
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-14538 VACUUM PUMP ASM
真空ポンプ組
1
2 400-99547 VACUUM_PUMP_ASM
真空ポンプ組
(1)
3 PJ-3090852-02 DOUBLE BRANCH UNIVERSAL ELBOW
ダブルブランチユニバーサルエルボ
(1)
4 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
(1)
5 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
(1)
6 401-14034 VAC PUMP PLATE
真空ポンププレート
(1)
7 401-14035 VAC PUMP BR
真空ポンプブラケット
(1)
8 400-71571 HANDLE
ハンドル
(1)
9 400-54839 SOFT NYLON 8
ソフトナイロン８
(13)
10 PJ-3040800-02 ELBOW UNION
エルボ
(9)
11 PJ-3030800-01 UNION STRAIGHT
ユニオンストレート
(2)
12 BT-0600400-EC TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
(2)
13 SM-1040852-TP DISH SCREW
皿ねじ Ｍ４ Ｌ＝８
(2)
14 SM-1051052-TN PLATE SCREW M5 L=10
皿ねじ Ｍ５ Ｌ＝１０
(4)
15 SL-6061492-TN SCREW M6 L=14
座金付き六角穴ボルト Ｍ６ Ｌ＝１４
(4)
16 PX-0552010-00 MUFFLER (PLASTIC)
マフラ （樹脂製）
(1)
17 400-99551 VAC PUMP RUBBER
真空ポンプラバー
(1)
18 CM-3003000-02 HIGH TEMPARATURE CAUTION LABEL 2 (25)
高温注意シール２（２５）
(1)
19 400-94471 BASE SUPPORT
ベースサポート
3
20 SL-6061492-TN SCREW M6 L=14
座金付き六角穴ボルト Ｍ６ Ｌ＝１４
4
21
#01
401-14539 BREAKER ASSY
ブレーカ組
1
22
#02
401-35776 BREAKER_ASM
ブレーカー_組
1
23 HA-0063300-00 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
24 HA-0064400-00 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
25 HA-0063400-10 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
26 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ４ Ｌ＝８
(4)
27
#01
401-14041 BREAKER BASE
ブレーカベース
(1)
28
#02
401-35993 BREAKER_BASE
ブレーカーベース
(1)
29
#01
401-14027 BREAKER BR
ブレーカブラケット
(1)
30
#02
401-35992 BREAKER_BR
ブレーカーＢＲ
(1)
31 SL-6061492-TN SCREW M6 L=14
座金付き六角穴ボルト Ｍ６ Ｌ＝１４
2
- 11 -
6. BASE FRAME ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS(2)
ベースフレーム電装関係（２）
1 4
45 46
47
48
12
18
19
17
51
7
5
6
50
49
42
43 44
52
53
15 16
10
13
14
11
35
41
22
23
8
9
75 77
57
59
58
61
60
73
74
78
79
66
67
67
68 55
56
64
65
64
65
56
56 69
7071 72
62
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54
28
34
22
25
20
21
26
27
14 15